[發明專利]ITO線路線阻的測算方法

有效

• 申請號: 201310657326.7
• 申請日: 2013-12-09
• 公開（公告）號: CN103605445A
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發明（設計）人: 任夫洋;黃孝寧;劉驥;沈效龍
• 申請（專利權）人: 山東華芯富創電子科技有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 濟南泉城專利商標事務所 37218
• 代理人: 丁修亭

技術領域

本發明涉及涉及一種ITO線路線阻的測算方法，屬于觸控面板技術研究領域，其中ITO為氧化銦錫導電膜，通常是在如鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎上，利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫。

背景技術

目前觸控屏（touch?panel，又稱觸摸屏、觸控面板）行業生產的觸控面板結構一般為在玻璃基板或PET（Polyethylene?terephthalate,聚對苯二甲酸乙二脂）上濺鍍一層或多層一定厚度的ITO，經蝕刻后形成一定形狀的ITO線路，當使用者觸摸時，表面行或列的交叉處感應單元的互電容會產生變化，根據上述變化觸控IC（integrated?circuit，集成電路）最終檢測出觸摸點的具體位置，可用以取代機械式的按鈕面板，并借由液晶顯示畫面制造出生動的影音效果。

根據不同觸控IC設計，其感應能力應有不同，因此觸控面板上每條ITO線路的線阻需保持在合適的范圍內，以滿足相應觸控IC的感應要求。

目前觸控屏行業通常采用人工使用萬用表的方式量測每條ITO線路的線阻，檢查線阻是否在規定的范圍內。此種方法耗費時間，操作繁瑣，尤其是大尺寸觸控面板，ITO線路條數多，測量起來耗時長，降低了生產效率。

另一方面，由于是人工采用萬用表的方式量測，操作手法不當會對ITO線路造成損傷，造成整塊面板報廢，并且人員量測誤差造成測量結果不準確，增加了不合格產品被當做合格品繼續后續制程的可能，增加后續制程生產成本的同時降低了生產良率；更甚者，由于未及時檢出線阻不合格產品造成不合格產品流入客戶，由此帶來的損失十分嚴重。

發明內容

針對濺鍍后的ITO導電膜，本發明的目的在于提供一種僅通過少量測量便可計算出ITO線路線阻的方法，從而降低了人工使用萬用表容易損傷ITO導電膜的風險，提高生產良率。

本發明采用以下技術方案：

一種ITO線路線阻的測算方法，其包括以下步驟：

1）在基板上濺鍍一層ITO后，測量ITO的方阻R_方；

2）在ITO上制作預定形狀的單元線路；

3）通過金相顯微鏡根據單元線路的預定形狀掃描該預定形狀各個組成部分在ITO上的縱橫長度；

4）根據方阻與線阻的換算籍由所述縱橫長度直接計算出單元線路各個組成部分的電阻；

5）累積單元線路各個組成部分的電阻得出單元線路的線阻。

從上述方案可以看出，依據本發明，測量ITO的方阻，然后根據所蝕刻出的單元線路的形狀進行線阻計算，而公知的，蝕刻出的線路形狀并不是隨機蝕刻的，而是規則圖形，因此，根據規則圖形的形狀，籍由金相顯微鏡進行路徑跟蹤，可以快速的得出線路單元各個部分的長度和寬度，進而通過線阻與方阻的換算計算出各個部分的電阻值，累加電阻值就可以得出線路單元的線阻。整個過程只需要一次接觸測量，即方阻的測量，對線路單元不會有損傷，從而對ITO的整體損傷很小，提高了產品的生產良率。后續的計算由于有規律可循，可以根據設定由智能器件進行計算，從而可以提高ITO上線路單元先祖的測算效率。

上述ITO線路線阻的測算方法，單元線路劃分為各個組成部分的方法是選取單元線路中的圖形單體、連接圖形單體的連接部分作為組成部分。

上述ITO線路線阻的測算方法，所述單元線路為菱形格線路。

上述ITO線路線阻的測算方法，菱形格線線路各個組成部分的尺寸包括包括菱形單元的長度和寬度、連接菱形單元的連接頸的長度和寬度，以及針端的長度和寬度，從而菱形格線路線阻為：

；

其中：n₁為菱形單元個數，n₂為連接頸個數，L_菱形為菱形單元長度，w_菱形為菱形單元寬度，a為連接頸寬度，L_PIN為針端長度，d為ITO膜厚，L_NECK為連接頸長度，w_NECK為連接頸寬度。

附圖說明

圖1為蝕刻后的ITO菱形格線線路結構示意圖。

圖2為蝕刻后ITO菱形格線局部坐標示意圖。

具體實施方式

本發明的發明構思雖是首次提出，但本領域的技術人員在了解了本發明的基本構思后，結合本領域的公知常識比較容易理解，因此本發明依據附圖1和附圖2所示的菱形格線結構的ITO菱形格線線路結構為例進行說明，更有利于本領域技術人員的理解。