[發明專利]ITO線路線阻的測算方法

有效

• 申請號: 201310657326.7
• 申請日: 2013-12-09
• 公開（公告）號: CN103605445A
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發明（設計）人: 任夫洋;黃孝寧;劉驥;沈效龍
• 申請（專利權）人: 山東華芯富創電子科技有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 濟南泉城專利商標事務所 37218
• 代理人: 丁修亭

1.一種ITO線路線阻的測算方法，其特征在于，其包括以下步驟：

1）在基板上濺鍍一層ITO后，測量ITO的方阻R_方；

2）在ITO上制作預定形狀的單元線路；

3）通過金相顯微鏡根據單元線路的預定形狀掃描該預定形狀各個組成部分在ITO上的縱橫長度；

4）根據方阻與線阻的換算籍由所述縱橫長度直接計算出單元線路各個組成部分的電阻；

5）累積單元線路各個組成部分的電阻得出單元線路的線阻。

2.根據權利要求1所述的ITO線路線阻的測算方法，其特征在于，單元線路劃分為各個組成部分的方法是選取單元線路中的圖形單體、連接圖形單體的連接部分作為組成部分。

3.根據權利要求1或2所述的ITO線路線阻的測算方法，其特征在于，所述單元線路為菱形格線路。

4.根據權利要求3所述的ITO線路線阻的測算方法，其特征在于，菱形格線線路各個組成部分的尺寸包括包括菱形單元的長度和寬度、連接菱形單元的連接頸的長度和寬度，以及針端的長度和寬度，從而菱形格線路線阻為：

；

其中：n₁為菱形單元個數，n₂為連接頸個數，L_菱形為菱形單元長度，w_菱形為菱形單元寬度，a為連接頸寬度，L_PIN為針端長度，d為ITO膜厚，L_NECK為連接頸長度，w_NECK為連接頸寬度。