[發明專利]濕洗鋁腔室部件的方法有效

申請號：	201310653292.4	申請日：	2013-12-05
公開（公告）號：	CN103911643A	公開（公告）日：	2014-07-09
發明（設計）人：	石洪;施范章;布萊恩·麥科米林;約翰·多爾蒂;方言;杜安·奧特卡;黃拓川;斯瓦卡米·拉馬納坦	申請（專利權）人：	朗姆研究公司
主分類號：	C25D11/18	分類號：	C25D11/18;C25D11/24
代理公司：	上海勝康律師事務所 31263	代理人：	李獻忠
地址：	美國加利***	國省代碼：	美國;US
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摘要：
搜索關鍵詞：	濕洗鋁腔室部件方法
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【說明書】：

相關申請的交叉引用

本申請要求2012年12月5日提交的美國臨時申請No.61/733775的優先權。

技術領域

本公開總體上涉及清洗的方法，更具體而言，涉及濕洗具有裸鋁表面和陽極氧化的鋁表面的蝕刻腔室的鋁部件的方法。

背景技術

清洗腔室部件的方法提出了各種挑戰，因而對清洗腔室部件的方法進行改進是迫切需要的。

發明內容

本公開總體涉及清洗的方法，更具體而言，涉及濕洗具有裸鋁表面和陽極氧化的鋁表面的蝕刻腔室的鋁部件的方法。盡管本公開的方法不限于特定腔室部件成分，但為了說明的目的，本文參考鋁組件示出了方法步驟。應該理解的是本公開的方法還可以應用于濕洗由包含陶瓷在內的其他成分制成的腔室部件。

依據本公開的一個實施例，公開了濕洗具有裸鋁表面和陽極氧化的鋁表面的鋁部件的方法。該方法包含如下步驟：以約35至約45psi向鋁部件的表面噴射CO₂干冰；遮蔽鋁部件以隱藏裸鋁表面；將被噴射干冰并被遮蔽的鋁部件浸泡在約60℃或在約60℃以上的去離子水中；在完成在去離子水中的浸泡后，用研磨墊和去離子水擦洗鋁部件；以及以所列舉的順序重復浸泡并擦洗至少附加的3次。

依據本公開的另一個實施例，公開了濕洗具有裸鋁表面和陽極氧化的鋁表面的鋁部件的方法。該方法包含如下步驟：以約35至約45psi向鋁部件的表面噴射CO₂干冰約5至約10分鐘；以約30至約40psi用去離子水洗刷（flush）要清洗（clean）的被噴射干冰的鋁部件的表面，接下來將鋁部件干燥；用異丙醇擦拭（wipe）被洗刷的鋁部件的表面；用丙酮擦拭被洗刷的鋁部件的表面；用去離子水漂洗（rinse）被擦拭的鋁部件，接下來用壓縮的干燥空氣去除過量的去離子水；遮蔽鋁部件以隱藏裸鋁表面；將遮蔽的鋁部件浸泡在約30wt%的H₂O₂溶液中約30分鐘，隨后用去離子水漂洗；用#360金剛石墊和去離子水擦洗被遮蔽的鋁部件的陽極氧化的鋁表面約6分鐘，隨后用去離子水漂洗并吹除過量的去離子水；在包括NH₄OH、H₂O₂和H₂O的溶液中浸泡被遮蔽的鋁部件約15分鐘，隨后用去離子水漂洗；用#360金剛石墊和去離子水擦洗（scrub）被遮蔽的鋁部件的陽極氧化的鋁表面約8分鐘；用非編織纖維百潔墊和去離子水擦洗被遮蔽的鋁部件的邊緣和角落，隨后為去離子水漂洗；至少一次附加地重復執行：用#360金剛石墊和去離子水擦洗被遮蔽的鋁部件的陽極氧化的鋁表面約8分鐘，用非編織纖維百潔墊和去離子水擦洗鋁部件的邊緣和角落，隨后為去離子水漂洗；接下來至少二次重復執行：將鋁部件浸泡在約65℃或在約65℃以上的去離子水中約45分鐘，隨后用#360金剛石墊和去離子水擦洗鋁部件的陽極氧化的鋁表面；接下來至少二次重復執行：將鋁部件浸泡在約65℃或在約65℃以上的去離子水中約45分鐘，隨后用非編織纖維百潔墊和去離子水擦洗鋁部件的陽極氧化的鋁表面；用去離子水漂洗鋁部件；使用96℃或96℃以上的去離子水洗刷被漂洗的鋁部件的陽極氧化的鋁表面約10至約20分鐘；使用#360金剛石墊和去離子水擦洗被洗刷的鋁部件的陽極氧化的鋁表面，隨后用去離子水漂洗并將鋁部件干燥；用2wt%的HNO₃溶液擦拭被擦洗的鋁部件約2分鐘并用去離子水漂洗鋁部件約2分鐘，隨后吹除過量的去離子水；用包括約5vol%的約98wt%的H₂SO₄、約5vol%的約30wt%的H₂O₂、以及約90vol%的去離子水的稀硫酸過氧化物擦拭鋁部件約2分鐘，隨后用去離子水漂洗約2分鐘并吹除過量的水；從裸鋁表面去除遮蔽；用異丙醇擦拭未遮蔽的鋁部件的表面；用丙酮擦拭未遮蔽的鋁部件的表面；用#3000粒度的非編織纖維百潔墊和去離子水擦洗裸鋁表面；用去離子水漂洗鋁部件的表面約2分鐘，隨后吹除過量的去離子水；用超純水漂洗未遮蔽的鋁部件的表面約2分鐘，隨后以約8至約15W/in²的功率密度超聲清洗約20分鐘；以及用去離子水漂洗鋁部件約2分鐘，隨后將鋁部件干燥。