[發明專利]濕洗鋁腔室部件的方法

有效

• 申請號: 201310653292.4
• 申請日: 2013-12-05
• 公開（公告）號: CN103911643A
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 石洪;施范章;布萊恩·麥科米林;約翰·多爾蒂;方言;杜安·奧特卡;黃拓川;斯瓦卡米·拉馬納坦
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: C25D11/18
• 分類號: C25D11/18;C25D11/24
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 李獻忠

1.一種濕洗鋁部件的方法，該鋁部件包括裸鋁表面和陽極氧化的鋁表面，該方法包括：

以約35至約45psi向所述鋁部件的表面噴射CO₂干冰；

遮蔽所述鋁部件以隱藏所述裸鋁表面；

將被噴射干冰并被遮蔽的所述鋁部件浸泡在約60℃或在約60℃以上的去離子水中；

在完成在去離子水中的所述浸泡后，用研磨墊和去離子水擦洗所述鋁部件；以及

以所列舉的順序重復所述浸泡并擦洗至少附加的3次。

2.如權利要求1所述的方法，其中，所述CO₂干冰噴射持續約5至約10分鐘。

3.如權利要求1所述的方法，其中，在所述CO₂干冰噴射之后，該方法還包括以約30至約40psi用去離子水洗刷要清洗的所述鋁部件的表面，并接下來將所述鋁部件干燥。

4.如權利要求3所述的方法，其中，在所述去離子水洗刷之后，該方法還包括用異丙醇、丙酮、或者異丙醇和丙酮擦拭所述鋁部件的所有表面；以及

用去離子水漂洗所述鋁部件，接下來用壓縮的干燥空氣去除過量的去離子水。

5.如權利要求1所述的方法，其中，在所述CO₂干冰噴射之后，該方法還包括將所述鋁部件浸泡在約30wt%的H₂O₂溶液中約30分鐘，隨后用去離子水漂洗。

6.如權利要求5所述的方法，其中，所述浸泡在約30wt%的H₂O₂溶液中是在所述浸泡在約60℃或在約60℃以上的去離子水中之前。

7.如權利要求1所述的方法，其中，在所述CO₂干冰噴射之后，該方法還包括用#360金剛石墊和去離子水擦洗所述鋁部件的陽極氧化的鋁表面約6分鐘，隨后用去離子水漂洗并吹除過量的去離子水。

8.如權利要求7所述的方法，其中，所述擦洗所述鋁部件的陽極氧化的鋁表面是在所述浸泡在約60℃或在約60℃以上的去離子水中之前。

9.如權利要求7所述的方法，其中，在所述擦洗所述鋁部件的陽極氧化的鋁表面之后，該方法還包括：

將所述鋁部件浸泡在包括NH₄OH、H₂O₂和H₂O的溶液中約15分鐘，隨后用去離子水漂洗；以及

用#360金剛石墊和去離子水擦洗所述鋁部件的陽極氧化的鋁表面約附加的8分鐘。

10.如權利要求9所述的方法，其中，該方法還包括用非編織纖維百潔墊和去離子水擦洗所述鋁部件的邊緣和角落，隨后用去離子水漂洗。

11.如權利要求1所述的方法，其中，所述鋁部件被浸泡在約65℃或在約65℃以上的去離子水中。

12.如權利要求11所述的方法，其中，在每次浸泡期間，所述鋁部件被浸泡在約65℃或在約65℃以上的去離子水中約45分鐘。

13.如權利要求1所述的方法，其中，在所述重復所述浸泡并用研磨墊擦洗所述鋁部件至少3次之后，該方法還包括：

使用在約96℃或在約96℃以上的去離子水洗刷所述鋁部件的陽極氧化的鋁表面約10至約20分鐘；以及

使用#360金剛石墊和去離子水擦洗所述鋁部件的陽極氧化的鋁表面，隨后用去離子水漂洗并干燥所述鋁部件。

14.如權利要求1所述的方法，其中，在所述重復所述浸泡并用研磨墊擦洗所述鋁部件至少3次之后，該方法還包括：

用約2wt%的HNO₃溶液擦拭所述鋁部件約2分鐘；以及

用去離子水漂洗所述鋁部件約2分鐘，隨后吹除過量的去離子水。

15.如權利要求1所述的方法，其中，在所述重復所述浸泡并用研磨墊擦洗所述鋁部件至少3次之后，該方法還包括：用包括約5vol%的98wt%的H₂SO₄、約5vol%的30wt%的H₂O₂以及約90vol%的去離子水的稀硫酸過氧化物擦拭所述鋁部件約2分鐘，隨后用去離子水漂洗約2分鐘，并吹除過量的水。