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[發明專利]一種用于將硅片花籃轉向的旋轉機構有效

專利信息
申請號: 201310642616.4 申請日: 2013-12-03
公開(公告)號: CN103681424A 公開(公告)日: 2014-03-26
發明(設計)人: 李廣旭;張恒峰;房婷;李補忠;徐現飛;王廣明;朱旺平 申請(專利權)人: 北京七星華創電子股份有限公司
主分類號: H01L21/677 分類號: H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 代理人: 孟憲功
地址: 100015 北京*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 硅片 花籃 轉向 旋轉 機構
【說明書】:

技術領域

發明涉及硅片生產領域,尤其涉及一種用于將硅片花籃轉向的旋轉機構。

背景技術

隨著地球溫室效應日益嚴重,石油、天然氣、煤炭的日益枯竭,環保節能已成為世界發展的主題。太陽能作為清潔、安全的可再生能源,是全球新能源的發展方向。在國家新型能源和可再生能源產業政策的指導下以及歐美太陽能市場強勁需求的帶動下,近年來國內太陽能光伏產業得到飛速發展。目前,中國已經成為太陽能電池制造大國,擁有全球最多的太陽能電池生產廠家和一半以上的產能。隨著全球太陽能光伏產業的爆炸式增長,為了使太陽能領域單位發電成本降低到與常規發電成本相當,太陽能電池片制造商會越來越迫切要求使用高集成、高度自動化的生產線。

目前,晶硅太陽能電池片生產線各個工藝單元之間的硅片傳輸以堆迭式或卡槽式兩種方式裝載硅片,然后采用小車人工搬運。這種方式效率低,不利于大規模生產。為了實現全自動化大規模生產,各工藝單元之間的硅片傳輸必須采用自動傳輸系統實現。特別地,為了滿足加工要求,在自動化生產過程中,被加工件在傳輸過程中要進行換向,尤其是,對易碎加工件要求換向準確、平穩。但現有旋轉機構換向過程的平穩性、準確性無法滿足硅片的加工。為此,急需一種用于將硅片花籃轉向的旋轉機構。

發明內容

(一)要解決的技術問題

本發明要解決的技術問題是提供一種用于將硅片花籃轉向的旋轉機構,以克服現有技術中的旋轉機構轉向過程中平衡性和準確性較差的缺陷。

(二)技術方案

為了解決上述技術問題,本發明提供了一種用于將硅片花籃轉向的旋轉機構,包括由支架支撐的旋轉單元以及由所述旋轉單元通過連接板支撐連接的傳輸單元,其中,所述旋轉單元為旋轉氣缸。

其中,所述傳輸單元包括兩個傳輸單元支撐板、頂面圓盤、一對主動輪、兩對從動輪、兩條傳送帶以及伺服電機,所述傳輸單元支撐板對稱安裝在所述連接板的兩邊,所述頂面圓盤水平安裝在所述傳輸單元支撐板的上部;所述主動輪和從動輪以對稱方式旋轉安裝在兩個所述傳輸單元支撐板上;所述從動輪水平安裝在所述傳輸單元支撐板靠近所述頂面圓盤的位置,所述從動輪的上邊緣高于所述頂面圓盤的上盤面;所述兩條傳送帶分別纏繞在位于同一個傳輸單元支撐板上的主動輪和從動輪上;所述伺服電機通過轉動軸與所述主動輪連接,以驅動主動輪轉動。

其中,所述傳輸單元還包括減速器,所述伺服電機通過減速器與所述轉動軸連接。

其中,所述頂面圓盤的上盤面設有兩條導向條,所述兩條導向條分別位于相對應的傳送帶的外側,所述兩條導向條之間的距離大于硅片花籃的寬度。

其中,所述導向條的兩端為喇叭形開口。

其中,還包括張緊調節組件,所述張緊調節組件包括張緊輪、相互平行的張緊靜板和張緊動板、里頂螺釘和外拉螺釘,所述張緊靜板橫跨固定在傳輸單元支撐板上;所述張緊動板橫跨滑動連接在傳輸單元支撐板上;所述張緊輪旋轉安裝在張緊動板的兩端;所述張緊靜板上設有通孔和螺紋孔;所述里頂螺釘安裝在張緊靜板的螺紋孔上,里頂螺釘的端部頂在張緊動板上;所述外拉螺釘上裝有調節螺母,外拉螺釘穿過張緊靜板的通孔,其端部固定在張緊動板上。

其中,所述旋轉機構還包括控制系統以及與所述控制系統連接的進料傳感器、到位傳感器和出料傳感器;所述控制系統分別與所述旋轉單元和傳輸單元連接;所述進料傳感器安裝在進料口的位置;所述出料傳感器安裝在出料口的位置;所述到位傳感器安裝在所述頂面圓盤上。

其中,所述旋轉機構還包括護罩,所述護罩包括罩在所述傳輸單元上的上護罩和設置在所述支架四周的下護罩。

其中,在兩個所述傳輸單元支撐板之間設有頂面支撐板,頂面支撐板橫跨在兩個所述傳輸單元支撐板上,位于所述頂面圓盤的下方。

其中,所述旋轉機構旋轉的角度為90度。

(三)有益效果

上述技術方案所提供的旋轉機構,由支架支撐的旋轉單元和由旋轉單元通過連接板支撐連接的傳輸單元組成。其中,旋轉單元為旋轉氣缸。由傳輸單元將硅片花籃傳送到硅片花籃需要轉向的位置,然后通過旋轉氣缸的轉動來帶動傳輸單元以及位于傳輸單元上方的硅片花籃轉動,以實現硅片花籃的轉向。該機構通過采用旋轉氣缸,有效地實現了花籃在不同工序間的換向,降低了傳輸過程中硅片的碎片率,提高了生產效率,旋轉氣缸使得花籃的轉向更加平穩、準確。此外,該機構結構簡單、使用方便。

附圖說明

圖1是旋轉機構的主視圖;

圖2是旋轉機構的俯視圖;

圖3是旋轉機構的內部結構的立體示意圖;

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