[發明專利]一種用于將硅片花籃轉向的旋轉機構

有效

• 申請號: 201310642616.4
• 申請日: 2013-12-03
• 公開（公告）號: CN103681424A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 李廣旭;張恒峰;房婷;李補忠;徐現飛;王廣明;朱旺平
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 孟憲功

1.一種用于將硅片花籃轉向的旋轉機構，包括由支架支撐的旋轉單元以及由所述旋轉單元通過連接板支撐連接的傳輸單元，其特征在于，所述旋轉單元為旋轉氣缸。

2.根據權利要求1所述的旋轉機構，其特征在于，所述傳輸單元包括兩個傳輸單元支撐板、頂面圓盤、一對主動輪、兩對從動輪、兩條傳送帶以及伺服電機，所述傳輸單元支撐板對稱安裝在所述連接板的兩邊，所述頂面圓盤水平安裝在所述傳輸單元支撐板的上部；所述主動輪和從動輪以對稱方式旋轉安裝在兩個所述傳輸單元支撐板上；所述從動輪水平安裝在所述傳輸單元支撐板靠近所述頂面圓盤的位置，所述從動輪的上邊緣高于所述頂面圓盤的上盤面；所述兩條傳送帶分別纏繞在位于同一個傳輸單元支撐板上的主動輪和從動輪上；所述伺服電機通過轉動軸與所述主動輪連接，以驅動主動輪轉動。

3.根據權利要求2所述的旋轉機構，其特征在于，所述傳輸單元還包括減速器，所述伺服電機通過減速器與所述轉動軸連接。

4.根據權利要求2所述的旋轉機構，其特征在于，所述頂面圓盤的上盤面設有兩條導向條，所述兩條導向條分別位于相對應的傳送帶的外側，所述兩條導向條之間的距離大于硅片花籃的寬度。

5.根據權利要求4所述的旋轉機構，其特征在于，所述導向條的兩端為喇叭形開口。

6.根據權利要求2所述的旋轉機構，其特征在于，還包括張緊調節組件，所述張緊調節組件包括張緊輪、相互平行的張緊靜板和張緊動板、里頂螺釘和外拉螺釘，所述張緊靜板橫跨固定在傳輸單元支撐板上；所述張緊動板橫跨滑動連接在傳輸單元支撐板上；所述張緊輪旋轉安裝在張緊動板的兩端；所述張緊靜板上設有通孔和螺紋孔；所述里頂螺釘安裝在張緊靜板的螺紋孔上，里頂螺釘的端部頂在張緊動板上；所述外拉螺釘上裝有調節螺母，外拉螺釘穿過張緊靜板的通孔，其端部固定在張緊動板上。

7.根據權利要求1至7中任一項所述的旋轉機構，其特征在于，所述旋轉機構還包括控制系統以及與所述控制系統連接的進料傳感器、到位傳感器和出料傳感器；所述控制系統分別與所述旋轉單元和傳輸單元連接；所述進料傳感器安裝在進料口的位置；所述出料傳感器安裝在出料口的位置；所述到位傳感器安裝在所述頂面圓盤上。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的旋轉機構，其特征在于，所述旋轉機構還包括護罩，所述護罩包括罩在所述傳輸單元上的上護罩和設置在所述支架四周的下護罩。

9.根據權利要求1至7中任一項所述的旋轉機構，其特征在于，在兩個所述傳輸單元支撐板之間設有頂面支撐板，頂面支撐板橫跨在兩個所述傳輸單元支撐板上，位于所述頂面圓盤的下方。

10.根據權利要求1至7中任一項所述的旋轉機構，其特征在于，所述旋轉機構旋轉的角度為90度。