[發明專利]卷對卷濺射方法

有效

• 申請號: 201310641578.0
• 申請日: 2013-12-03
• 公開（公告）號: CN103849851A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 吳定烘;安陣修;林昌默;梁基模;吳商潤
• 申請（專利權）人: 三星康寧精密素材株式會社
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/34;C23C14/08
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 康泉;王珍仙

相關申請的交叉引用

本申請要求于2012年12月3日提交的韓國專利申請10-2012-0138963的優先權，其全部內容為所有的目的通過引用合并于此。

技術領域

本申請涉及卷對卷濺射方法，更具體地涉及通過濺射沉積在柔性基板上形成沉積膜的卷對卷濺射方法。

背景技術

通常，柔性顯示器、有機電致發光(EL)顯示器、電泳墨水（E-ink）等的液晶顯示器中的液晶周圍的柔性基板作為高柔性的聚合物薄膜實現。

通過卷對卷濺射方法，用由氧化銦錫（ITO）、ZnO、SnO₂、In₂O₃、Nb₂O₅、SiO_x等制造的透明導電膜、功能涂層等涂布聚合物薄膜。

圖1為顯示現有技術的卷對卷濺射設備的示意性配置視圖。

參照圖1，現有技術的卷對卷濺射設備包括拆卷機輥10、卷線機輥20、多個導輥10a和20a、冷卻滾筒30和濺鍍機40。

拆卷機輥10和卷線機輥20通過它們之間配合的旋轉解開和卷繞聚合物薄膜。以特定的距離布置多個導輥10a和20a，以便當所述聚合物薄膜被轉動時有助于控制張力。由于拆卷機輥10、卷線機輥20和多個導輥10a和20a的機械協作，聚合物薄膜被連續地轉運到冷卻滾筒30上。此外，濺鍍機40在被轉運到冷卻滾筒30的聚合物薄膜上形成沉積膜。

冷卻滾筒30防止聚合物薄膜在濺射過程中由于加熱而熔化和變形。由于聚合物薄膜具有差的耐熱性，因此冷卻滾筒30是必需的，以在聚合物薄膜上形成沉積膜。

韓國專利公開10-2011-0012182（2011年2月9日）公開了關于卷對卷濺射設備的技術。

由于顯示器和相關信息技術（IT）產業的最近的發展，正在開發使用層壓的玻璃代替作為柔性基板的聚合物薄膜的各種裝置。因此，正在開發和商業地分配具有100μm或更小的厚度的輥類型柔性玻璃產品。在各種熱條件下可用各種涂布材料有利地涂布玻璃，因為與聚合物薄膜相比，它具有強的耐熱性和較好的透濕性。

然而，當使用現有技術的包括冷卻滾筒的卷對卷濺射設備用涂布材料涂布柔性玻璃時，具有較優的耐熱性的柔性玻璃的優點不足以付諸實際的應用，這是有問題的。

尤其地，當在150℃或更高的溫度沉積時，由于提高的結晶度，引起興趣的氧化銦錫（ITO）具有較好的質量。然而，當使用現有技術的卷對卷濺射設備時，不可應用熱涂布工藝。因此，可使用在所述柔性玻璃上沉積由SiO_x等制造的種晶層后用ITO低溫涂布柔性玻璃的方法。然而，這個方法具有缺點，因為它必需用于形成所述種晶層的另外的陰極，并且產生的ITO的電阻率和透射率特性差于在高溫結晶的那些ITO。

發明背景部分中公開的信息僅是為了更好理解本發明的背景而提供，而不應認為是對該信息構成本領域技術人員已知的現有技術的確認或任何形式的暗示。

發明內容

本發明的各個方法提供了可執行熱濺射沉積工藝的卷對卷濺射方法。

本發明的一個方面提供了卷對卷濺射方法，所述方法包括：將在拆卷機輥上卷繞的柔性基板轉運到沉積部分，在所述柔性基板上形成沉積膜，和在卷線機輥上卷繞所述柔性基板。所述沉積部分包括第一沉積部分。所述第一沉積部分包括：第一濺射部分和加熱器，所述第一濺射部分在所述柔性基板的一個表面上沉積第一靶材料，所述加熱器布置在所述柔性基板的另一表面的一側以加熱所述柔性基板。

根據本發明的實施方式，所述沉積部分可進一步包括第二沉積部分。所述第二沉積部分包括：第二濺射部分和冷卻滾筒，所述第二濺射部分在所述柔性基板的一個表面上沉積第二靶材料，所述冷卻滾筒接觸并冷卻所述柔性基板。

所述冷卻滾筒內部可具有流動通道。冷卻水沿所述流動通道流動，以將所述柔性基板保持在預定的溫度。

所述第二濺射部分可包括多個濺射部分。

所述第一沉積部分可包括隔熱部件，所述隔熱部件阻礙所述加熱器產生的熱被轉移到所述第一沉積部分的外部。所述第一沉積部分可進一步包括冷卻裝置，所述冷卻裝置用于防止由所述加熱器產生的熱被轉移到所述第一沉積部分的外部。

所述柔性基板可包括柔性玻璃。

所述加熱器可使在所述柔性基板的一個表面上沉積的第一靶材料結晶。

所述第一濺射部分可包括多個濺射部分。

根據本發明的實施方式，可能通過用所述加熱器加熱所述柔性基板而進行熱濺射。