[發(fā)明專利]一種校驗質(zhì)量流量控制器的裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310638823.2
• 申請日: 2013-12-03
• 公開（公告）號: CN104678985B
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳嘯;胡錫峰;毛偉晨
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫華潤華晶微電子有限公司
• 主分類號: G05B23/02
• 分類號: G05B23/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本發(fā)明公開了一種校驗質(zhì)量流量控制器的裝置及方法，所述裝置包括：標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器組、被校驗質(zhì)量流量控制器、第一傳感器、第二傳感器、處理器和氣動閥組；標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器組包括至少兩個標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，第一傳感器讀取氣體流經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的第一參數(shù)；第二傳感器讀取氣體流經(jīng)被校驗質(zhì)量流量控制器的第二參數(shù)；處理器選擇標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，并判斷被校驗質(zhì)量流量控制器是否合格；氣動閥組包括第一氣動閥，還包括第二氣動閥和第三氣動閥。通過本發(fā)明公開的裝置及方法，能夠依據(jù)被校驗質(zhì)量流量控制器的量程自動選擇與之相對應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，不再需要頻繁的拆裝標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，提高了校準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種校驗質(zhì)量流量控制器裝置及方法。

背景技術(shù)

質(zhì)量流量控制器(MASS FLOW CONTROLLER，MFC)在廣泛應(yīng)用于各類工藝氣體流量的精密控制，具有反應(yīng)速度快和控制精度高等優(yōu)點。在使用一段時間后質(zhì)量流量傳感器可能會發(fā)生零點漂移，一旦發(fā)生零點漂移就會引起產(chǎn)品工藝質(zhì)量波動。因此需要對質(zhì)量流量控制器進(jìn)行定期校驗。而且質(zhì)量流量控制器用于腐蝕性、有毒、易燃易爆場合，經(jīng)過長時間使用，質(zhì)量流量控制器會老化而發(fā)生泄漏，產(chǎn)生嚴(yán)重的安全事故，因此也需要定期對質(zhì)量流量控制器進(jìn)行泄露檢測。

現(xiàn)有技術(shù)中，依據(jù)被檢測的質(zhì)量流量控制器檢測的氣體的種類選擇合適量程的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，將被檢測的質(zhì)量流量控制器和標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器串接后，通入氣體，傳感器讀取氣體通過被檢測的質(zhì)量流量控制器的讀數(shù)和檢測通過標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的讀數(shù)，比較兩者的讀數(shù)差值是否在預(yù)設(shè)的范圍內(nèi)，來判斷被檢測的質(zhì)量流量控制器是否能夠正常使用。

由于使用的氣體種類多，在校驗過程中，需要頻繁拆裝更換相應(yīng)量程的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器進(jìn)行MFC(MASS FLOW CONTROLLER，質(zhì)量流量控制器)性能檢測。頻繁地人工拆裝，費時費力且難以完成長時間重復(fù)性檢測，不能準(zhǔn)確反映被校驗質(zhì)量流量控制器的性能。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明實施例提供了一種校驗質(zhì)量流量控制器的裝置及方法，以解決上述技術(shù)問題。

本發(fā)明實施例提供了一種校驗質(zhì)量流量控制器的裝置，包括：

標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器組、被校驗質(zhì)量流量控制器、第一傳感器、第二傳感器、處理器和氣動閥組；

所述標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器組包括至少兩個標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，各個所述標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器具有不同量程；

所述第一傳感器與所述標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器組連接，用于讀取氣體流經(jīng)所述標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的第一參數(shù)；

所述第二傳感器與所述被校驗質(zhì)量流量控制器連接，用于讀取氣體流經(jīng)所述被校驗質(zhì)量流量控制器的第二參數(shù)；

所述處理器，用于依據(jù)所述被校驗質(zhì)量流量控制器的量程來選擇所述標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器，并根據(jù)接收到的所述第一參數(shù)和所述第二參數(shù)來判斷所述被校驗質(zhì)量流量控制器是否合格；

所述氣動閥組包括若干個與各個所述標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器相對應(yīng)的第一氣動閥，各個所述第一氣動閥的一端與進(jìn)氣口連接，另一端與相對應(yīng)的所述標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器連接；

所述氣動閥組還包括第二氣動閥和第三氣動閥，所述第二氣動閥的一端連接標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器組，另一端連接所述被校驗質(zhì)量流量控制器；

所述第三氣動閥的一端連接所述被校驗質(zhì)量流量控制器，另一端連接排氣端。

優(yōu)選地，所述氣動閥組還包括：

第四氣動閥，一端連接所述進(jìn)氣口，另一端連接所述被校驗質(zhì)量流量控制器。

優(yōu)選地，所述的校驗質(zhì)量流量控制器的裝置還包括：