[發明專利]一種校驗質量流量控制器的裝置及方法

有效

• 申請號: 201310638823.2
• 申請日: 2013-12-03
• 公開（公告）號: CN104678985B
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發明（設計）人: 吳嘯;胡錫峰;毛偉晨
• 申請（專利權）人: 無錫華潤華晶微電子有限公司
• 主分類號: G05B23/02
• 分類號: G05B23/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種校驗質量流量控制器的裝置，其特征在于，包括：標準質量流量控制器組、被校驗質量流量控制器、第一傳感器、第二傳感器、處理器和氣動閥組；

所述標準質量流量控制器組包括至少兩個標準質量流量控制器，各個所述標準質量流量控制器具有不同量程；

所述第一傳感器與所述標準質量流量控制器組連接，用于讀取氣體流經所述標準質量流量控制器的第一參數；

所述第二傳感器與所述被校驗質量流量控制器連接，用于讀取氣體流經所述被校驗質量流量控制器的第二參數；

所述處理器，用于依據所述被校驗質量流量控制器的量程來選擇所述標準質量流量控制器，并根據接收到的所述第一參數和所述第二參數來判斷所述被校驗質量流量控制器是否合格；

所述氣動閥組包括若干個與各個所述標準質量流量控制器相對應的第一氣動閥，各個所述第一氣動閥的一端與進氣口連接，另一端與相對應的所述標準質量流量控制器連接；

所述氣動閥組還包括第二氣動閥和第三氣動閥，所述第二氣動閥的一端連接標準質量流量控制器組，另一端連接所述被校驗質量流量控制器；

所述第三氣動閥的一端連接所述被校驗質量流量控制器，另一端連接排氣端；

第四氣動閥，一端連接所述進氣口，另一端連接所述被校驗質量流量控制器；

第五氣動閥，一端連接氦氣發生裝置，另一端連接釋放口；

第六氣動閥，一端連接所述被校驗質量流量控制器，另一端連接氦氣真空檢漏儀；

封裝所述被校驗質量流量控制器、所述第二氣動閥、所述第三氣動閥、所述第四氣動閥、所述第五氣動閥、所述第六氣動閥和所述第二傳感器的外殼。

2.一種利用權利要求1所述的校驗質量流量控制器的裝置校驗質量流量控制器的方法，其特征在于，包括：

處理器接收輸入的氣體類型指令，依據所述氣體類型指令在標準質量流量控制器組中選擇標準質量流量控制器；

第一傳感器讀取氣體流經所述標準質量流量控制器的第一讀數，并發送給所述處理器；

第二傳感器讀取氣體流經所述被校驗質量流量控制器的第二讀數，并發送給所述處理器；

處理器接收所述第一讀數和所述第二讀數，比較所述第一讀數和所述第二讀數，判斷所述被校驗質量流量控制器是否合格。

3.根據權利要求2所述的校驗質量流量控制器的方法，其特征在于，所述處理器接收所述第一讀數和所述第二讀數，比較所述第一讀數和所述第二讀數，判斷所述被校驗質量流量控制器是否合格，具體為：

處理器接收所述第一讀數和所述第二讀數；

比較所述第一讀數和所述第二讀數，獲得所述第一讀數和所述第二讀數的差值；

獲取預設的差值范圍，比較所述差值和所述預設的差值范圍，當所述差值在所述預設的差值范圍內時，判斷所述被校驗質量流量控制器合格。

4.一種利用權利要求1所述的校驗質量流量控制器的裝置進行校驗質量流量控制器的方法，其特征在于，包括：

關閉第一氣動閥組、第二氣動閥、第三氣動閥、第四氣動閥和第五氣動閥，打開第六氣動閥；

將被校驗質量流量控制器的管道抽成真空；

打開所述第五氣動閥，向外殼內充滿預設濃度的氦氣，在預設時間內以預設的頻率的檢測氦氣檢漏量，當所述氦氣檢漏量小于或等于氦氣檢漏量閾值時，被校驗質量流量控制器合格。

5.一種利用權利要求1所述的校驗質量流量控制器的裝置進行質量流量控制器校驗的方法，其特征在于，包括：

關閉第一氣動閥、第二氣動閥、第三氣動閥、第五氣動閥和第六氣動閥，打開第四氣動閥，將氮氣注入被校驗質量流量控制器的管路內；

關閉第四氣動閥，記錄第二傳感器讀取被校驗質量流量控制器管路內的第一壓力值；

在經過預設保壓時間后，記錄第二傳感器讀取記錄校驗質量流量控制器管路內的第二壓力值；

比較所述第一壓力值和所述第二壓力值，若所述第一壓力值和所述第二壓力值之差小于或等于預設的壓力閾值，則被校驗質量流量控制器合格。