[發(fā)明專利]一種相位延遲測量裝置及方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310636822.4
• 申請日: 2013-11-29
• 公開（公告）號: CN103604776A
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馮國進(jìn)
• 申請（專利權(quán)）人: 中國計量科學(xué)研究院
• 主分類號: G01N21/41
• 分類號: G01N21/41
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 李相雨

1.一種相位延遲測量裝置，其特征在于，包括單色偏振光源、分束計、第一探測器、第二探測器、第一轉(zhuǎn)臺、格蘭泰勒棱鏡，所述第一轉(zhuǎn)臺用于承載待檢測樣品沿水平軸轉(zhuǎn)動，且單色偏振光經(jīng)分束計分光后，其中一束光束一照射到第一探測器，另一束光束二經(jīng)過待檢測樣品照射到格蘭泰勒棱鏡上，并在經(jīng)過格蘭泰勒棱鏡后照射到第二探測器上。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述單色偏振光源包括：超連續(xù)光譜光源，分光系統(tǒng)，光闌；

其中，所述分光系統(tǒng)滿足如下條件：經(jīng)所述分光系統(tǒng)出射的光束的消光比大于55dB。

3.如權(quán)利要求1所述的裝置，還包括：恒溫箱，測量時所述待檢測樣品位于所述恒溫箱內(nèi)。

4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括：光陷阱，用于吸收經(jīng)第一探測器和/或第二探測器反射的光束。

5.一種利用如權(quán)利要求1-4任一項所述的裝置實現(xiàn)相位延遲測量的方法，其特征在于，包括：

以光束二為軸按照預(yù)設(shè)步長旋轉(zhuǎn)所述待檢測樣品，并記錄所述第一探測器探測到的電流I₁和所述第二探測器探測到的電流I₂；

根據(jù)所述電流I₁和I₂計算所述待檢測樣品的相位延遲值。

6.如權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，當(dāng)所述裝置中包含恒溫箱時，所述以光束二為軸按照預(yù)設(shè)步長旋轉(zhuǎn)所述待檢測樣品之前，所述方法還包括：將所述恒溫箱調(diào)節(jié)到所述預(yù)設(shè)的溫度。

7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)所述電流I₁和I₂計算所述待檢測樣品的相位延遲值，具體為：利用如下公式計算待檢測樣品的相位延遲值σ:

δ=2arcsin(Imax-Imin)/(Imax+Imintan2θ2);]]>

其中I=I₁/I₂，I_max和I_max分別為I的最大取值和最小取值，θ為所述格蘭泰勒棱鏡起偏方向與所述單色偏振光的光路偏振面之間的夾角。