[發明專利]堆垛機、自動化物料輸送系統及平臺

有效

• 申請號: 201310631554.7
• 申請日: 2013-11-29
• 公開（公告）號: CN103600997B
• 公開（公告）日: 2017-12-15
• 發明（設計）人: 王毅博
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: B65G57/03
• 分類號: B65G57/03
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙)31275
• 代理人: 吳世華,林彥之

技術領域

本發明屬于物料輸送領域，具體地說，涉及一種堆垛機、自動化物料輸送系統及平臺。

背景技術

隨著半導體技術的發展，300mm的硅片已經取代200mm的硅片成為主流，每個裝載了硅片的容器重量由原來的約4公斤變成了約9公斤。因此，如果借助于人力來在各個制造模塊之間來進行輸送的話，會導致效率比較低，同時還可能導致人員被傷害的危險。而由于可以有效提高廠房利用率、縮短產品的生產周期，自動化物料輸送系統(Automated Material Handling Systems，以下簡稱：AMHS)相對于人力化的物料輸送來說，成為在300mm硅片制造過程中各個制造模塊之間來進行輸送硅片的主要紐帶。

現有技術中，自動化物料輸送系統包括存儲單元STOCKER和升降機子系統。其中，存儲單元中放置有盒式容器，在盒式容器存放有物料(Work In Product，以下簡稱WIP)如硅片。升降機子系統包括設置在存儲單元STOCKER外圍的懸空軌道，以及可在懸空軌道上行駛的輸送車。每個輸送車還連接有一機械臂，通過該機械臂來拾取或者卸載盒式容器，再控制輸送車沿著懸空軌道行駛，從而使得硅片在制造區域的各個制造模塊之間輸送。而機械臂的動作常常需要配合堆垛機的動作進行。

圖5為現有技術中堆垛機與機械臂的關系示意圖。如前所述，機械臂532設置在堆垛機504上，并在堆垛機504的帶動作用下上下移動。為了對準被存取的物料，機械臂532需要水平調整自身位置，而現有技術中則借助堆垛機的水平移動而實現。但是，現有技術中，堆垛機504在水平運動過程中，與存儲設備的頂部支架(圖中未示出)接觸面積較大，導致阻力較大；同時，在調整機械臂532水平位置，堆垛機504的水平推動效率有待進一步提高，從而整體上提高堆垛機的穩定性。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種堆垛機、自動化物料輸送系統及平臺，以克服或者緩解現有技術中的問題。

為解決上述技術問題，本發明提供了一種堆垛機，其可以包括：堆垛機主體、助力結構，所述助力結構設置在所述堆垛機主體的頂部，當調整機械臂的水平位置時，用于減小所述堆垛機與存儲設備頂部支架之間的摩擦力，同時向所述堆垛機提供一助推力，增加堆垛機帶動機械臂水平移動的穩定性。

優選地，在本發明的一實施例中，所述助力結構由滾輪組成。優選地，

在本發明的一實施例中，所述助力結構包括第一滾輪組件以及第二滾輪組件，所述第一滾輪組件和所述第二滾輪組件分設在所述堆垛機主體的頂部兩側，所述第一滾輪組件用于減小所述堆垛機與存儲設備頂部支架之間的摩擦力，所述第二滾輪組件用于向所述堆垛機提供一助推力，增加堆垛機帶動機械臂水平移動的穩定性。

優選地，在本發明的一實施例中，所述第一滾輪組件和第二滾輪組件均包括三個滾輪，第二滾輪組件還包括一組彈性部件，每個所述彈性部件與第二滾輪組件的每個滾輪連接，用于通過所述彈性部件伸縮推動所述第二滾輪組件的滾輪，增加堆垛機帶動機械臂水平移動的穩定性。

優選地，在本發明的一實施例中，所述堆垛機還包括一垂直偵測器，用于配合氣泵控制所述彈性部件的伸縮狀態，沿著垂直方向推動所述第二滾輪組件的滾輪，向所述堆垛機施加垂直方向的所述助推力，增加堆垛機帶動機械臂水平移動的穩定性。

為解決上述問題，本發明還提供了一種自動化物料輸送系統，其可以包括：

存儲設備，包括至少兩個存儲單元，每個所述存儲單元中分層存儲有物料；

支路導軌，與所述物料的生產區域的主導軌一體，并設置在所述存儲設備中每相鄰兩個所述存儲單元之間；

機械臂，用于從所述存儲設備中進出和存取所述物料，并沿著所述支路導軌駛入所述主導軌，輸送存取的所述物料；

堆垛機，包括：堆垛機主體、助力結構，所述助力結構設置在所述堆垛機主體的頂部，當調整機械臂的水平位置時，用于減小所述堆垛機與存儲設備頂部支架之間的摩擦力，同時向所述堆垛機提供一助推力，增加堆垛機帶動機械臂水平移動的穩定性。

為解決上述問題，本發明又提供了一種自動化物料輸送臺，其可以包括：

支路導軌，與所述物料的生產區域的主導軌一體，并設置在所述存儲設備中每相鄰兩個所述存儲單元之間；

機械臂，用于從所述存儲設備中進出和存取所述物料，并沿著所述支路導軌駛入所述主導軌以輸送存取的所述物料；