[發明專利]半導體擴散設備中石英反應管的裝卸裝置及其裝卸方法

有效

• 申請號: 201310628388.5
• 申請日: 2013-11-29
• 公開（公告）號: CN103661527A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 林欣家;郝琪;董金衛
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: B62B3/04
• 分類號: B62B3/04
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;陶金龍

技術領域

本發明涉及半導體器件及加工制造領域，更具體地說，涉及一種將石英反應管安裝和拆卸出半導體擴散設備反應腔室的裝置及其裝卸方法。

背景技術

半導體擴散設備是集成電路制造的重要工藝設備，是一種要求能長時間連續工作，具有優異的控溫精度及良好的可靠性、穩定性的自動控制設備，適用于集成電路制造過程中各種氧化、退火和薄膜生長等工藝。

為保持半導體擴散設備較佳的工作狀態，半導體擴散設備定期維護保養（PREVENTIVE?MAINTENANCE，簡稱PM），例如：定期檢修、上油、潤滑、更換消耗材等顯得十分重要，只有這樣才能發揮高的設備運轉效率。在上述過程中，半導體設備內部部件的安裝和拆卸工具設計顯得十分重要。

石英反應管是半導體擴散設備中的重要內部部件，其在反應管初次安裝、反應管的O-ring或反應管的更換或清洗，即每天、每周、每月或每季等的設備保養過程中和半導體擴散設備正常運轉期間停機中，需要從半導體擴散設備中卸載下來，完成后，又需要裝載上去。

本領域技術人員清楚，半導體擴散設備的整體結構緊湊，安裝反應腔室石英反應管的空間較小，反應管的體積較大，怎樣使石英反應管能準確平穩地與石英反應管升降裝置對接，是目前業界面臨的一個瓶頸問題；尤其是石英反應管容易破損，安裝和拆卸中的平穩性更是一個難題。

目前，國內半導體擴散設備，尚處于起步階段，相應的技術設備水平相對較低，尚沒有專門為半導體設備內部部件的安裝和拆卸設計的相應裝置。同時，由于設備功能、型號和整體結構的差異，裝置必須根據設備設計，通用性較差。雖然，國外相關的半導體設備廠商，例如：東京毅力科創株式會社（TEL）和株式會社日立國際電氣（KE）等半導體設備廠家，它們設備擁有相應的安裝和拆卸裝置，但是，通用性較差，很難做到一種安裝和裝卸過程均適用的設備工具。

發明內容

本發明的目的在于提供一種適應國內外多種半導體擴散設備、操作方便、安全性高的石英反應管裝卸裝置及裝卸方法。

為實現上述目的，本發明的技術方案如下：

一種半導體擴散設備中石英反應管的裝卸裝置，與所述石英反應管的升降裝置配合使用，所述升降裝置包括與所述反應管相接觸的接口法蘭；該裝卸裝置包括平移驅動結構、安裝在所述上支撐板上的直線導軌、設于所述直線導軌上的支撐臂、以及輔助支撐結構；平移驅動結構包括上下兩塊層疊支撐板的支撐平臺和與所述支撐平臺相連接的把手，其中，所述下支撐板與可調節高度的一組滾輪固接；輔助支撐結構與所述支撐臂相配合，用于可分離地固定石英反應管，其包括于所述支撐結構相接觸的第一接口單元，以及與所述石英反應管底部總裝相連接的第二接口單元；其中，在裝載過程中，所述平移驅動結構前端與半導體擴散設備門框通過固定結構對接，以及所述支撐臂沿直線導軌將所述石英反應管平移到所述升降裝置接口法蘭相對接。

優選地，所述石英反應管包括內管和外管；所述第二接口單元包括至少一種內管接口單元和/或至少一種外管接口單元；所述內管接口單元和與所述石英反應內管底部總裝相卡接，所述外管接口單元與所述石英反應外管底部總裝相卡接。

優選地，所述支撐臂包括半環形支撐面,所述上支撐面上具有多個定位銷；所述外管第二接口單元包括空心圓柱、位于所述圓柱外圍且與所述第一接口單元相臨接的環形裙邊、位于所述裙邊上的多個定位孔和多個分布在所述裙邊外圍的半圓形缺口，所述定位孔與所述上支撐面上的定位銷相對接。所述半圓形缺口的數量和位置與石英反應管底部總裝上的螺紋通孔相對應。

優選地，所述支撐臂包括半環形支撐面,所述上支撐面上具有多個定位銷；所述內管第二接口單元包括空心圓柱、位于所述圓柱外圍且與所述第一接口單元相臨接的環形裙邊和位于所述裙邊上的多個定位孔，所述定位孔與所述上支撐面上的定位銷相對接；其中，所述空心圓柱遠離所述裙邊端具有環形凸起。

優選地，所述上下兩塊層疊支撐板間的間距通過間距調節單元控制。

優選地，所述間距調節單元為旋轉升降機構，所述旋轉升降機構包括旋轉拉手。

優選地，所述把手為升降把手,所述把手與所述支撐平臺可拆卸固接。

優選地，所述平移驅動結構前端與所述半導體擴散設備門框通過定位塊和定位銷對接。

優選地，所述下支撐平臺具有多個直線導向柱與所述上支撐平臺上的通孔相穿接。

為實現上述目的，本發明還提供一種半導體擴散設備中石英反應管的裝卸方法，包括安裝步驟和卸載步驟；所述安裝步驟具體包括如下步驟：