[發(fā)明專利]一種制備CIGS太陽能電池吸收層的硒化爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310627444.3
• 申請日: 2013-11-29
• 公開（公告）號: CN103594563A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發(fā)明（設計）人: 伍祥武;陳進中;莫經耀;吳伯增;林東東;甘振英
• 申請（專利權）人: 柳州百韌特先進材料有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C23C14/58
• 代理公司: 廣州凱東知識產權代理有限公司 44259
• 代理人: 姚迎新

1.一種制備CIGS太陽能電池吸收層的硒化爐，包括硒化CIGS太陽能電池襯底的爐膛和穿過該爐膛兩端傳送襯底的輸送帶，爐膛整個外壁包覆有溫控加熱裝置，其特征在于：所述爐膛通過四對上、下擋板依次分隔為噴涂區(qū)、反應區(qū)和進氣區(qū)，上、下擋板之間留有供輸送帶移動的間隙，所述噴涂區(qū)內安裝有向移動的所述襯底噴射硒蒸氣的噴射裝置；在爐膛反應區(qū)一端設有惰性氣體進氣孔，爐膛另一端設有排氣孔，所述噴涂區(qū)與反應區(qū)之間、反應區(qū)和進氣區(qū)之間均設有氣體通孔。

2.根據權利要求1所述的硒化爐，其特征在于：所述進氣孔、通孔、排氣孔交錯設置于對應的上、下擋板上。

3.根據權利要求2所述的硒化爐，其特征在于：所述進氣孔設置于爐膛所述一端的下擋板上。

4.根據權利要求3所述的硒化爐，其特征在于：所述噴涂區(qū)下側設有支撐輸送帶的透氣墊。

5.根據權利要求1至4中任意一項所述的硒化爐，其特征在于：所述噴射裝置包括數個噴嘴，數個噴嘴分布成與輸送帶運動方向垂直的一列。

6.根據權利要求1至4中任意一項所述的硒化爐，其特征在于：所述噴射裝置包括一硒蒸氣管，該硒蒸氣管上開具有至少一排噴射孔，每一排噴射孔與輸送帶運動方向垂直。