[發(fā)明專(zhuān)利]一種面向半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)搬運(yùn)系統(tǒng)軟件故障快速恢復(fù)方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310626874.3
• 申請(qǐng)日: 2013-11-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104679710A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-06-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉明哲;徐皚冬;金妮;王晨曦
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G06F15/00
• 分類(lèi)號(hào): G06F15/00
• 代理公司: 沈陽(yáng)科苑專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 周秀梅;許宗富

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種軟件故障快速恢復(fù)方法，尤其是針對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)搬運(yùn)系統(tǒng)調(diào)度控制軟件的故障快速恢復(fù)方法。

背景技術(shù)

在主流的半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠(chǎng)內(nèi)，生產(chǎn)線(xiàn)由很多種工藝加工設(shè)備以晶圓存儲(chǔ)設(shè)備等組成，半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)搬運(yùn)系統(tǒng)在這些設(shè)備間搬運(yùn)晶圓，極大地提高半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)的自動(dòng)化能力。搬運(yùn)系統(tǒng)在半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠(chǎng)起到大動(dòng)脈的作用，如果搬運(yùn)系統(tǒng)出現(xiàn)故障，整個(gè)生產(chǎn)線(xiàn)都要停止生產(chǎn)。所以搬運(yùn)系統(tǒng)運(yùn)行的穩(wěn)定性及故障快速恢復(fù)能力對(duì)整個(gè)生產(chǎn)線(xiàn)產(chǎn)能影響很大?，F(xiàn)行的搬運(yùn)系統(tǒng)在控制軟件出現(xiàn)故障后需人工處理，并且需要自我檢測(cè)或重新啟動(dòng)等很多步驟才能恢復(fù)成故障之前的工作狀態(tài)。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服搬運(yùn)系統(tǒng)控制件故障恢復(fù)時(shí)間慢的不足，本發(fā)明提供一種面向半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)搬運(yùn)系統(tǒng)軟件故障快速恢復(fù)方法，使搬運(yùn)系統(tǒng)軟件在出現(xiàn)故障后可以快速恢復(fù)至故障前的工作狀態(tài)。

本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：一種面向半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)搬運(yùn)系統(tǒng)軟件故障快速恢復(fù)方法，包括以下步驟：將生產(chǎn)線(xiàn)搬運(yùn)系統(tǒng)的控制主機(jī)與從機(jī)連接，分別同時(shí)運(yùn)行相同的搬運(yùn)系統(tǒng)控制軟件并進(jìn)行數(shù)據(jù)同步；當(dāng)主機(jī)發(fā)生故障時(shí)，從機(jī)發(fā)出報(bào)警并接替主機(jī)對(duì)搬運(yùn)系統(tǒng)進(jìn)行控制；主機(jī)故障解除后，從機(jī)進(jìn)入故障等待狀態(tài)。

所述主機(jī)和從機(jī)在同一個(gè)網(wǎng)絡(luò)內(nèi)并可以互相訪(fǎng)問(wèn)。

所述進(jìn)行數(shù)據(jù)同步具體為：主機(jī)處于工作狀態(tài)時(shí)，主機(jī)的控制軟件定期將搬運(yùn)系統(tǒng)的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)存入主機(jī)的數(shù)據(jù)庫(kù)中，并同時(shí)通過(guò)網(wǎng)絡(luò)存入從機(jī)的數(shù)據(jù)庫(kù)中。

所述從機(jī)發(fā)出報(bào)警并接替主機(jī)對(duì)搬運(yùn)系統(tǒng)進(jìn)行控制包括以下步驟：

當(dāng)主機(jī)的控制軟件檢測(cè)到搬運(yùn)系統(tǒng)發(fā)生故障時(shí)，主機(jī)向從機(jī)發(fā)出故障狀態(tài)信息并自動(dòng)切換成故障等待狀態(tài)；從機(jī)接收到故障狀態(tài)信息后，從機(jī)的控制軟件從故障等待狀態(tài)切換成正常工作狀態(tài)，讀取從機(jī)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)，接替主機(jī)對(duì)搬運(yùn)系統(tǒng)進(jìn)行控制；

當(dāng)主機(jī)的控制軟件未檢測(cè)到搬運(yùn)系統(tǒng)故障且從機(jī)在一定時(shí)間內(nèi)沒(méi)有接收到主機(jī)發(fā)來(lái)的狀態(tài)信息時(shí)，從機(jī)從故障等待狀態(tài)切換成正常工作狀態(tài)，讀取從機(jī)數(shù)據(jù)庫(kù)中的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)，接替主機(jī)對(duì)搬運(yùn)系統(tǒng)進(jìn)行控制，并向主機(jī)的監(jiān)控程序發(fā)送重新啟動(dòng)主機(jī)控制軟件指令，強(qiáng)制主機(jī)的控制軟件重新啟動(dòng)；從機(jī)接替主機(jī)的控制工作后進(jìn)行報(bào)警。

本發(fā)明具有以下有益效果及優(yōu)點(diǎn)：

1.本發(fā)明方法使軌道搬運(yùn)系統(tǒng)軟件在發(fā)生故障時(shí)，能夠快速的恢復(fù)并繼續(xù)工作。

2.由于該方法分為主機(jī)和從機(jī)，主機(jī)如果出現(xiàn)了某些嚴(yán)重的問(wèn)題，導(dǎo)致短期內(nèi)無(wú)法工作，從機(jī)可代替主機(jī)進(jìn)行一切工作，從而極大的提高了生產(chǎn)效率，也給技術(shù)人員充足的時(shí)間來(lái)解決問(wèn)題。

3.由于采用了數(shù)據(jù)同步機(jī)制，從機(jī)可以將主機(jī)的工作狀態(tài)數(shù)據(jù)進(jìn)行及時(shí)的備份，避免由于主機(jī)故障而導(dǎo)致數(shù)據(jù)丟失，增強(qiáng)系統(tǒng)的安全性。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖；

圖2是軟件故障處理流程圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。

一種面向半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)搬運(yùn)系統(tǒng)軟件故障快速恢復(fù)方法，具體步驟如下：

主機(jī)與從機(jī)分別同時(shí)運(yùn)行相同的搬運(yùn)系統(tǒng)控制軟件并擁有數(shù)據(jù)同步功能。當(dāng)主機(jī)發(fā)生故障時(shí)，從機(jī)發(fā)出報(bào)警，并接替主機(jī)進(jìn)行控制操作。主機(jī)故障解除后，從機(jī)進(jìn)入故障等待狀態(tài)。

所述主機(jī)與從機(jī)，是指兩臺(tái)相同配置的計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)中安裝完全相同的搬運(yùn)系統(tǒng)控制軟件、軟件監(jiān)控程序和數(shù)據(jù)庫(kù)軟件，兩臺(tái)計(jì)算機(jī)在同一個(gè)網(wǎng)絡(luò)內(nèi)，可以互相訪(fǎng)問(wèn)。

所述數(shù)據(jù)同步功能，是指主機(jī)處于工作狀態(tài)時(shí)，主機(jī)的控制軟件會(huì)將工作狀態(tài)數(shù)據(jù)存入數(shù)據(jù)庫(kù)中，主機(jī)數(shù)據(jù)庫(kù)與從機(jī)數(shù)據(jù)庫(kù)中的數(shù)據(jù)利用網(wǎng)絡(luò)通訊實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)同步的功能。

工作狀態(tài)數(shù)據(jù)包括軟件工作狀態(tài)數(shù)據(jù)和硬件工作狀態(tài)數(shù)據(jù)；

其中軟件工作狀態(tài)數(shù)據(jù)包括調(diào)度模塊狀態(tài)、天車(chē)模塊狀態(tài)、倉(cāng)儲(chǔ)模塊狀態(tài)。各個(gè)模塊的狀態(tài)是指各個(gè)模塊在運(yùn)行過(guò)程中，模塊內(nèi)部的用于表示模塊狀態(tài)的各個(gè)參數(shù)的參數(shù)值。這三個(gè)模塊分別利用控制軟件，將模塊狀態(tài)參數(shù)的參數(shù)值存入數(shù)據(jù)庫(kù)中。

調(diào)度模塊狀態(tài)參數(shù)包括調(diào)度模塊的總體狀態(tài)（正常、繁忙、錯(cuò)誤），調(diào)度模塊的當(dāng)前所執(zhí)行的指令，調(diào)度模塊當(dāng)前控制的設(shè)備列表等；

天車(chē)模塊狀態(tài)參數(shù)包括天車(chē)模塊的總體狀態(tài)（正常、繁忙、錯(cuò)誤），天車(chē)模塊的當(dāng)前所執(zhí)行的指令，天車(chē)的運(yùn)行速度，天車(chē)裝載的晶圓數(shù)量等；

倉(cāng)儲(chǔ)模塊狀態(tài)參數(shù)包括倉(cāng)儲(chǔ)模塊的總體狀態(tài)（正常、繁忙、錯(cuò)誤），倉(cāng)儲(chǔ)模塊的當(dāng)前所執(zhí)行的指令，倉(cāng)庫(kù)所存儲(chǔ)的晶圓數(shù)量、倉(cāng)庫(kù)可容納的晶圓數(shù)量等。