[發明專利]大口徑晶體微缺陷修復設備用多可調支撐隔振平臺裝置

有效

• 申請號: 201310626364.6
• 申請日: 2013-11-29
• 公開（公告）號: CN103591210A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 陳明君;肖勇;張文明;蔣琳曦;許喬;王學兵
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: F16F15/02
• 分類號: F16F15/02
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 高媛

技術領域

本發明涉及一種大口徑晶體微缺陷修復設備用支撐隔振平臺裝置。

背景技術

當前，能源問題已經成為世界矚目的焦點，世界各國均投入了大量的人力財力來進行新能源的開發與利用。由氘氚等輕核材料聚變產生的能源，具有既取之不盡而又清潔的特點，成為了未來最為理想的新能源。目前，美、中等大國正在研究利用高能激光慣性約束的方法來實現核聚變的和平利用，美國國家點火裝置、中國神光裝置等均已建設完成。大口徑KDP晶體以其優良的光學性能，作為光學倍頻以及光學開關晶體，在激光核聚變裝置中起到了重要作用。然而，KDP晶體在超精密機械加工以及高能激光打靶過程中，其晶體表面容易產生裂紋、凹坑、燒蝕等尺度為幾十微米到幾百微米的微缺陷。這些初始產生的微缺陷使得KDP晶體的激光損傷閾值急劇下降，在后續的高能激光打靶中，微缺陷的尺寸會快速增長，并最終導致整塊晶體的損壞。因此，及時對這些初始產生的微缺陷采取措施進行必要處理，來延緩其快速增長就非常必要。目前，采用微機械加工的方法對這些微缺陷進行修復是最有效的處理方式。基于微機械修復方法，它是采用高精度高轉速的微小球刀對微缺陷進行修復，修復頭架、微缺陷快速探測與修復質量監控等均需要穩定可靠的安裝平臺，平臺的面形精度高低對微缺陷修復工藝質量有著非常重要影響，因此，亟待有一個與大口徑晶體微缺陷修復設備配套使用，并能夠滿足微缺陷修復后的輪廓精度以及高修復表面質量的支撐隔振平臺裝置。

發明內容

本發明的目的是為了解決截至目前為止，現無與大口徑晶體微缺陷修復設備配套使用，能夠滿足大口徑晶體微缺陷修復后的輪廓精度以及高修復表面質量的支撐隔振平臺裝置的問題，進而提供一種大口徑晶體微缺陷修復設備用多可調支撐隔振平臺裝置。

大口徑KDP晶體表面微缺陷修復設備是一臺高精度的大型設備。為了保證微缺陷修復后的外形以及修復表面質量，該設備對安裝平臺的平面度、平臺的隔振性能要求很高；同時，KDP晶體的氣浮部分在運動過程中對工作臺表面的平面度和表面粗糙度也有很高的要求。為了使大口徑KDP晶體表面微缺陷修復設備達到以上要求，本發明設計了一套多可調支撐隔振平臺裝置。該裝置包含四個主支撐組件和五個可調輔助支撐組件，通過對輔助支撐的調節來減小花崗巖工作平臺由于自重產生的變形，從而提高了工作臺表面的平面度。另外，該裝置還包含了四個空氣隔振墊鐵，通過對隔振墊鐵充氣來調節整個裝置的水平，同時也較好的隔離了外部的振動。該裝置的工作平臺1和四個支撐腿都采用花崗巖材料制成，也能夠起到很好的吸振和隔振的作用。

本發明為解決上述問題，采取的技術方案是：

大口徑晶體微缺陷修復設備用多可調支撐隔振平臺裝置，所述大口徑晶體微缺陷修復設備用多可調支撐隔振平臺裝置包括工作平臺、中間長連接桿、中間短連接桿、四個支撐腿連接桿一、四個支撐腿連接桿二、四個主支撐組件、五個可調輔助支撐組件及三個掛裝連接桿組件；每個主支撐組件包括隔震墊連接件、支撐腿及空氣隔振墊鐵；

空氣隔振墊鐵的上端與隔振墊連接件連接，支撐腿設置在隔振墊連接件上，隔振墊連接件與支撐腿連接，四個支撐腿設置在工作平臺的下端面的四個角部，四個支撐腿與工作平臺連接，相鄰兩個支撐腿之間通過由上至下并列設置的支撐腿連接桿一和支撐腿連接桿二連接，任意兩個相對設置的支撐腿連接桿一之間連接有中間長連接桿，中間長連接桿和與其平行設置的一個支撐腿連接桿一之間連接有中間短連接桿；每個支撐腿連接桿一內及中間長連接桿內分別裝有一個可調輔助支撐組件，可調輔助支撐組件的上端面與工作平臺下端面連接；三個掛裝連接桿組件設置在工作平臺的下方，且三個掛裝連接桿組件的上端與工作平臺連接。

本發明相對于現有技術的有益效果是：

1、該平臺裝置包含四個主支撐組件和五個可調輔助支撐組件，保證了工作平面的平面度，工作平臺尺寸為1800mm×1650mm，其工作平臺平面度可控制到小于5μm范圍內；輔助支撐組件的調節采用輔助支撐螺柱與推力圓柱滾子軸承相配合的結構，使得操作方便可靠。

2、該裝置采用四個空氣隔振墊鐵，能夠有效的隔離外部振動，其隔振頻率小于4Hz，減小了地面振動對修復設備工作的影響；通過充氣來改變空氣隔振墊鐵的高度，從而方便的調節該裝置工作平面的水平。

3、該裝置的主要零件工作平臺和支撐腿均采用花崗巖材料制成，能夠有效的吸收修復設備自身振動，保障了修復設備的加工精度。

4、通過三個掛裝連接桿組件將底部平臺部分與工作平臺相連，該結構使得調節底部平臺部分和該裝置的工作平面相平行變得簡單可靠；同時，底部平臺部分與該裝置的工作面平行不受地面不平的影響。