[發明專利]大口徑晶體微缺陷修復設備用多可調支撐隔振平臺裝置

有效

• 申請號: 201310626364.6
• 申請日: 2013-11-29
• 公開（公告）號: CN103591210A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 陳明君;肖勇;張文明;蔣琳曦;許喬;王學兵
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: F16F15/02
• 分類號: F16F15/02
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 高媛

1.一種大口徑晶體微缺陷修復設備用多可調支撐隔振平臺裝置，其特征在于：所述大口徑晶體微缺陷修復設備用多可調支撐隔振平臺裝置包括工作平臺（1）、中間長連接桿（36）、中間短連接桿（37）、四個支撐腿連接桿一（16）、四個支撐腿連接桿二（17）、四個主支撐組件（101）、五個可調輔助支撐組件（102）及三個掛裝連接桿組件（103）；每個主支撐組件（101）包括隔震墊連接件（6）、支撐腿（7）及空氣隔振墊鐵（8）；

空氣隔振墊鐵（8）的上端與隔振墊連接件（6）連接，支撐腿（7）設置在隔振墊連接件（6）上，隔振墊連接件（6）與支撐腿（7）連接，四個支撐腿（7）設置在工作平臺（1）的下端面的四個角部，四個支撐腿（7）與工作平臺（1）連接，相鄰兩個支撐腿（7）之間通過由上至下并列設置的支撐腿連接桿一（16）和支撐腿連接桿二（17）連接，任意兩個相對設置的支撐腿連接桿一（16）之間連接有中間長連接桿（36），中間長連接桿（36）和與其平行設置的一個支撐腿連接桿一（16）之間連接有中間短連接桿（7）；每個支撐腿連接桿一（16）內及中間長連接桿（36）內分別裝有一個可調輔助支撐組件（102），可調輔助支撐組件（102）的上端面與工作平臺（1）下端面連接；三個掛裝連接桿組件（103）設置在工作平臺（1）的下方，且三個掛裝連接桿組件（103）的上端與工作平臺（1）連接。

2.根據權利要求1所述大口徑晶體微缺陷修復設備用多可調支撐隔振平臺裝置，其特征在于：每個可調輔助支撐組件（102）包括輔助支撐平板（20）、螺紋調節件（21）、平板連接件（22）、推力圓柱滾子軸承（23）、螺母一（25）、輔助支撐螺柱（26）及螺母二（27）；

所述平板連接件（22）和螺紋調節件（21）均設有相通的臺肩孔和螺紋孔，平板連接件（22）設置在螺紋調節件（21）的上端，平板連接件（22）和螺紋調節件（21）的臺肩孔同軸且相對設置，所述每個支撐腿連接桿一（16）內及中間長連接桿（36）內分別裝有一個輔助支撐螺柱（26），輔助支撐螺柱（26）的上端與螺紋調節件（21）的螺紋孔旋接，所述推力圓柱滾子軸承（23）套裝在輔助支撐螺柱（26）上并設置在平板連接件（22）和螺紋調節件（21）的臺肩孔內，平板連接件（22）設置在輔助支撐平板（20）的下端面且二者連接，輔助支撐平板（20）設置在工作平臺（1）的下面，輔助支撐平板（20）的上端面與工作平臺（1）的下端面連接，螺母一（25）和螺母二（27）均與輔助支撐螺柱（26）旋接，螺母一（25）抵靠在螺紋調節件（21）的下端面，螺母二（27）抵靠在支撐腿連接桿一（16）的下端面。

3.根據權利要求1所述大口徑晶體微缺陷修復設備用多可調支撐隔振平臺裝置，其特征在于：相鄰兩個支撐腿（7）的外側面之間固定有一腿部擋板（3）。

4.根據權利要求1、2或3所述大口徑晶體微缺陷修復設備用多可調支撐隔振平臺裝置，其特征在于：所述工作平臺（1）和支撐腿（7）均由花崗巖材料制成。

5.根據權利要求1所述大口徑晶體微缺陷修復設備用多可調支撐隔振平臺裝置，其特征在于：所述工作平臺（1）為長方形，長方形工作平臺（1）的長×寬=1800mm×1650mm，長方形工作平臺（1）整體面形精度小于5μm。

6.根據權利要求1所述大口徑晶體微缺陷修復設備用多可調支撐隔振平臺裝置，其特征在于：所述支撐腿（7）與工作平臺（1）之間通過一個直角形連接件（35）連接。

7.根據權利要求1所述大口徑晶體微缺陷修復設備用多可調支撐隔振平臺裝置，其特征在于：每個掛裝連接桿組件（103）包括底部平臺連接件（34）、螺母三（30）和蓋形螺母（33）；底部平臺連接件（34）的上端和下端分別設有螺紋桿，工作平臺（1）上設有三個螺紋連接孔，每個底部平臺連接件（34）上端螺紋桿與工作平臺（1）上相對應的螺紋連接孔旋接，底部平臺連接件（34）的下端螺紋桿與螺母三（30）旋接，底部平臺連接件（34）的下端與蓋形螺母（33）旋接。

8.根據權利要求7所述大口徑晶體微缺陷修復設備用多可調支撐隔振平臺裝置，其特征在于：所述三個螺紋連接孔的中心位于同一圓周上。