[發明專利]一種雙電離的離子源無效
| 申請號: | 201310617392.1 | 申請日: | 2013-11-27 |
| 公開(公告)號: | CN103594326A | 公開(公告)日: | 2014-02-19 |
| 發明(設計)人: | 唐紫超;史磊;李剛;王興龍;吳小虎;張世宇 | 申請(專利權)人: | 中國科學院大連化學物理研究所 |
| 主分類號: | H01J49/10 | 分類號: | H01J49/10;H01J49/14;H01J49/16 |
| 代理公司: | 沈陽晨創科技專利代理有限責任公司 21001 | 代理人: | 張晨 |
| 地址: | 116023 *** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 電離 離子源 | ||
1.一種雙電離的離子源,其特征在于:該離子源由樣品管,推斥極、電離室、燈絲、紫外燈、引出極、聚焦極、出射極、接地柵板、推斥板組成;
該離子源是以樣品管為起點,依次為推斥極、電離室、燈絲、紫外燈、引出極、聚焦極、出射極、接地柵板及推斥板;其中,燈絲位于電離室的一側,紫外燈位于電離室的上方。
2.按照權利要求1所述雙電離的離子源,其特征在于:該離子源由電子轟擊電離和真空紫外燈電離兩種電離方式組成。
3.按照權利要求1所述雙電離的離子源,其特征在于:所述推斥極電壓為0~30V。
4.按照權利要求1所述雙電離的離子源,其特征在于:所述引出極電壓為0~15V。
5.按照權利要求1所述雙電離的離子源,其特征在于:所述聚焦極電壓為-110~0V。
6.按照權利要求1所述雙電離的離子源,其特征在于:所述出射極電壓為-41~0V。
7.按照權利要求1所述雙電離的離子源,其特征在于:所述燈絲電離能為-70eV。
8.按照權利要求2所述雙電離的離子源,其特征在于:所述真空紫外燈電離能為8~15eV。
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