[發(fā)明專利]可有效減緩賈凡尼效應(yīng)的刻蝕液

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310616738.6
• 申請(qǐng)日: 2013-11-27
• 公開（公告）號(hào): CN104674222A
• 公開（公告）日: 2015-06-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡政穎;廖程楷;徐素斐
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 芝普企業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): C23F1/44
• 分類號(hào): C23F1/44
• 代理公司: 北京中原華和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種可有效減緩賈凡尼效應(yīng)的刻蝕液，其特征在于是應(yīng)用于對(duì)至少包含第一金屬與第二金屬的基板進(jìn)行濕式刻蝕制造過程，該刻蝕液是包括：

刻蝕劑，是溶于一溶劑之中，以形成刻蝕液；以及含氮五元雜環(huán)化合物，是溶于該刻蝕劑之中以作為該濕式刻蝕制造過程之中的有機(jī)護(hù)膜，其中該刻蝕劑在該溶劑之中的含量是介于5g/L至250g/L之間，且該含氮五元雜環(huán)化合物在該溶劑之中的含量是介于0.01g/L至50g/L之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可有效減緩賈凡尼效應(yīng)的刻蝕液，其特征在于其中該溶劑為水。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可有效減緩賈凡尼效應(yīng)的刻蝕液，其特征在于其中該刻蝕劑是選自于下列群組之中的任一者：過氧化氫-硫酸、過氧化氫-磷酸、氯化銅-鹽酸、氯化鐵-鹽酸、鹽酸-硝酸、過硫酸鈉、或者過硫酸鹽復(fù)合物。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可有效減緩賈凡尼效應(yīng)的刻蝕液，其特征在于其中該含氮五元雜環(huán)化合物的化學(xué)結(jié)構(gòu)是如下列化學(xué)式1所示：

[化學(xué)式1]

其中，R1為第一有機(jī)基團(tuán)或是氫，且該第一有機(jī)基團(tuán)是任意選自于下列群組之中的任一者：醚、醇、酸、烷、烯、炔、苯、苯酚、與苯酸；并且，化學(xué)式1所表示的該含氮五元雜環(huán)化合物為一個(gè)3-R1-1，2，4-三氮唑。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可有效減緩賈凡尼效應(yīng)的刻蝕液，其特征在于其中該含氮五元雜環(huán)化合物的化學(xué)結(jié)構(gòu)是如下列化學(xué)式2所示：

[化學(xué)式2]

其中，R1為第一有機(jī)基團(tuán)或是氫，且該第一有機(jī)基團(tuán)是任意選自于下列群組之中的任一者：醚、醇、酸、烷、烯、炔、苯、苯酚、與苯酸；并且，化學(xué)式2所表示的該含氮五元雜環(huán)化合物為一個(gè)1，3，5-R1-1，2，4-三氮唑。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可有效減緩賈凡尼效應(yīng)的刻蝕液，其特征在于其中更能增加一個(gè)或者兩個(gè)第二有機(jī)基團(tuán)或是氫至該1，3，5-R1-1，2，4-三氮唑之中，使得該含氮五元雜環(huán)化合物成為正離子，并借由令該含氮五元雜環(huán)化合物帶有至少一個(gè)負(fù)離子，而使其化學(xué)式達(dá)到電荷平衡；其中，增加有一個(gè)第二有機(jī)基團(tuán)或是氫的該含氮五元雜環(huán)化合物是如下列化學(xué)式3或者化學(xué)式4所表示；并且，增加有兩個(gè)第二有機(jī)基團(tuán)或是氫的該含氮五元雜環(huán)化合物是如下列化學(xué)式5所表示：

[化學(xué)式3]??????????[化學(xué)式4]

[化學(xué)式5]

其中，R2為該第二有機(jī)基團(tuán)或是氫，且該第二有機(jī)基團(tuán)是任意選自于下列群組之中的任一者：醚、醇、酸、烷、烯、炔、苯、苯酚、與苯酸；且該負(fù)離子是選自下列群組之中的任一者：氟離子、氯離子、溴離子、碘離子、四氟化硼離子、硫酸根離子、與硫酸氫根離子。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可有效減緩賈凡尼效應(yīng)的刻蝕液，其特征在于其中該含氮五元雜環(huán)化合物的化學(xué)結(jié)構(gòu)是如下列化學(xué)式6所示：

[化學(xué)式6]

其中，R1為第一有機(jī)基團(tuán)或是氫，且該第一有機(jī)基團(tuán)是選自于下列群組之中的任一者：醚、醇、酸、烷、烯、炔、苯、苯酚、與苯酸；并且，化學(xué)式1所表示的該含氮五元雜環(huán)化合物為一個(gè)4-R1-1，2，3-三氮唑。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可有效減緩賈凡尼效應(yīng)的刻蝕液，其特征在于其中該含氮五元雜環(huán)化合物的化學(xué)結(jié)構(gòu)是如下列化學(xué)式7所示：

[化學(xué)式7]

其中，R1為第一有機(jī)基團(tuán)或是氫，且該有機(jī)基團(tuán)是選自于下列群組之中的任一者：醚、醇、酸、烷、烯、炔、苯、苯酚、與苯酸；并且，化學(xué)式7所表示的該含氮五元雜環(huán)化合物為一個(gè)1，4，5-R1-1，2，3-三氮唑。