[發明專利]用于檢測具有周期圖案的圖像的缺陷的裝置和方法

有效

• 申請號: 201310616218.5
• 申請日: 2013-11-27
• 公開（公告）號: CN103837548A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: P·拉沃勒
• 申請（專利權）人: 樂金顯示有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 呂俊剛;劉久亮

技術領域

本發明涉及缺陷檢測裝置和方法。更具體地，本發明涉及用于檢測具有周期圖案的圖像的缺陷的裝置和方法。

背景技術

圖1和2是示出檢測具有周期圖案的圖像的缺陷的現有技術方法的圖。

如圖1所示，現有技術方法移位用于檢測缺陷的圖像，測量圖像在移位之前和之后的誤差，以及利用在誤差最小化時的移位值來提取圖案周期。

例如，當px指示沿垂直方向移位的值而py指示沿水平方向移位的值時，現有技術方法通過用于提取圖案的重復周期重復步驟而漸進地增加px和py并且移位圖像，分析移位之前和之后的圖像誤差，以計算具有最小誤差的圖像。即，當圖像之間的誤差最小時的px和py被提取為圖案周期。

然而，在現有技術中，因為應當將圖像重復地移位直到測量出最小誤差為止以用于提取圖案周期，所以花費了相當多的計算時間。

而且，當檢測具有周期圖案的圖像的缺陷的現有技術方法被應用至具有如圖2所示復雜形狀圖案的圖像時，測量具有這種復雜圖案的圖像的誤差是不準確的。為此，難以提取足夠準確的圖案周期。

發明內容

因此，本發明致力于提供一種用于檢測具有周期圖案的圖像的缺陷的裝置和方法，其基本上消除了因現有技術的局限性和缺點而造成的一個或更多個問題。

本發明的優點是，提供用于從具有周期圖案的圖像中快速提取圖案周期的缺陷檢測裝置和方法。

本發明的另一方面是，提供這樣一種缺陷檢測裝置和方法，即，其提取具有圖案形成在其中的斜角，并且利用該斜角來移位圖像，由此增強算術運算速度。

本發明的附加優點和特征在下面的描述中將部分地加以闡述，并且對于本領域普通技術人員而言通過下面的審查將部分地變清楚，或者可以根據本發明的具體實踐而獲知。本發明的目的和其它優點可以通過在書面說明書及其權利要求書以及附圖中具體指出的結構來實現和獲得。

為實現這些和其它優點并且根據本發明的目的，如在此具體實施和廣泛描述的，提供了一種缺陷檢測裝置，該缺陷檢測裝置包括：角提取器，所述角提取器被設置成從其中多個圖案按周期間隔形成的原始圖像提取所述圖案的斜角；圖案周期提取器，所述圖案周期提取器被設置成通過利用所述斜角提取所述多個圖案彼此分離的圖案周期；以及圖像移位器，所述圖像移位器被設置成沿與所述斜角垂直的方向將所述原始圖像移位所述圖案周期，以形成移位圖像。

在本發明的另一方面，提供了一種缺陷檢測方法，該缺陷檢測方法包括以下步驟：從其中多個圖案按周期間隔形成的原始圖像提取所述圖案的斜角；通過利用所述斜角提取所述多個圖案彼此分離的圖案周期；以及沿與所述斜角垂直的方向將所述原始圖像移位所述圖案周期，以形成移位圖像。

應當明白，本發明的前述一般描述和下面的詳細描述都是示例性和解釋性的，并且旨在提供對如要求保護的本發明的進一步闡釋。

附圖說明

附圖被包括進來以提供對本發明的進一步理解，并且被并入并構成本申請的一部分，例示了本發明的實施方式，并與描述一起用于說明本發明的原理。在圖中：

圖1和2是示出檢測具有周期圖案的圖像的缺陷的現有技術方法的圖；

圖3是例示根據本發明的缺陷檢測裝置的實施方式的框圖；

圖4是示出在從根據本發明的缺陷檢測裝置獲取的原始圖像中周期性地形成具有特定斜角的圖案的圖像；

圖5是例示根據本發明的缺陷檢測裝置的實施方式中的角提取器的框圖；

圖6是例示根據本發明的缺陷檢測裝置的實施方式中的矢量圖的框圖；

圖7是示出根據本發明的缺陷檢測裝置的實施方式中的根據斜角的累積矢量數的直方圖；

圖8是例示根據本發明的缺陷檢測裝置的實施方式中的圖案周期提取器的框圖；

圖9A和9B例示了在根據本發明的缺陷檢測裝置的實施方式中提取圖案周期；

圖10是示出根據本發明的缺陷檢測裝置的實施方式中的圖像移位器的圖像移位的圖；

圖11是示出根據本發明的缺陷檢測裝置的實施方式中的缺陷檢測器中的所檢測缺陷的圖；以及

圖12是例示根據本發明的缺陷檢測方法的實施方式的流程圖。

具體實施方式

下面，對本發明的示例性實施方式進行詳細說明，其示例在附圖中進行了例示。在可能的情況下，貫穿附圖使用相同標號來指示相同或相似部件。

根據本發明的缺陷檢測裝置刪除用于檢測周期性形成圖案的無定形缺陷的該周期性形成圖案，并且僅提取不規則缺陷。