[發(fā)明專利]用于檢測具有周期圖案的圖像的缺陷的裝置和方法

有效

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• 申請日: 2013-11-27
• 公開（公告）號: CN103837548A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發(fā)明（設計）人: P·拉沃勒
• 申請（專利權）人: 樂金顯示有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 呂俊剛;劉久亮

1.一種缺陷檢測裝置，該缺陷檢測裝置包括：

角提取器，所述角提取器被設置成從其中多個圖案按周期間隔形成的原始圖像提取圖案的斜角；

圖案周期提取器，所述圖案周期提取器被設置成通過利用所述斜角提取所述多個圖案彼此分離的圖案周期；以及

圖像移位器，所述圖像移位器被設置成沿與所述斜角垂直的方向將所述原始圖像移位所述圖案周期，以形成移位圖像。

2.根據權利要求1所述的缺陷檢測裝置，所述缺陷檢測裝置還包括缺陷檢測器，所述缺陷檢測器被設置成：組合所述原始圖像和所述移位圖像以去除交疊區(qū)，并且提取非交疊區(qū)以檢測所述非交疊區(qū)作為缺陷。

3.根據權利要求1所述的缺陷檢測裝置，其中，所述角提取器包括矢量圖形成單元，所述矢量圖形成單元被設置成形成斜率矢量圖，所述斜率矢量圖顯示包括所述圖案的所述斜角和尺寸矢量中的至少一個的多個矢量。

4.根據權利要求1所述的缺陷檢測裝置，其中，所述角提取器包括直方圖形成單元，所述直方圖形成單元被設置成：提取通過按照根據斜角的累積矢量數來分析包括所述圖案的所述斜角和尺寸的矢量而獲取的直方圖，并且提取具有最多累積矢量的斜角作為所述圖案的所述斜角。

5.根據權利要求1所述的缺陷檢測裝置，其中，所述圖案周期提取器包括輪廓提取單元，所述輪廓提取單元被設置成在所述原始圖像中提取輪廓，所述輪廓是通過分析沿按所述斜角的方向和與所述斜角垂直的方向通過的多條直線中的至少一條直線的暗度與亮度變化而獲取的。

6.根據權利要求1所述的缺陷檢測裝置，其中，所述圖案周期提取器包括圖案周期計算單元，所述圖案周期計算單元被設置成分析沿按所述斜角的方向和與所述斜角垂直的方向通過的直線的暗度與亮度變化，以計算所述圖案周期。

7.一種缺陷檢測方法，該缺陷檢測方法包括以下步驟：

從其中多個圖案按周期間隔形成的原始圖像提取所述圖案的斜角；

通過利用所述斜角提取所述多個圖案彼此分離的圖案周期；以及

沿與所述斜角垂直的方向將所述原始圖像移位所述圖案周期，以形成移位圖像。

8.根據權利要求7所述的缺陷檢測方法，所述方法還包括以下步驟：從所述原始圖像和所述移位圖像去除交疊區(qū)，以檢測缺陷。

9.根據權利要求7所述的缺陷檢測方法，其中，提取斜角的所述步驟包括：提取包括所述圖案的所述斜角和尺寸的矢量以分析根據斜角的累積矢量數，并且確定具有最多累積矢量的斜率作為所述圖案的所述斜角。

10.根據權利要求7所述的缺陷檢測方法，其中，提取圖案周期的所述步驟包括：分析沿按所述斜角的方向和與所述斜角垂直的方向通過的直線的暗度和亮度變化，以計算所述圖案周期。