[發明專利]等離子體天線以及具有該天線的用于產生等離子體的裝置

在審

• 申請號: 201310613417.0
• 申請日: 2013-11-27
• 公開（公告）號: CN103855459A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 具一教;哈魯瓊·米利克揚;成曉星;李守真
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: H01Q1/22
• 分類號: H01Q1/22;H05H1/46
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 楊生平;鐘錦舜

背景技術

這里公開的本發明涉及一種等離子體天線以及具有所述等離子體天線的用于產生等離子體的裝置。

技術領域

用于制造半導體、顯示器、太陽能電池等的過程包括利用等離子體處理基板的過程。例如，在半導體制造過程中，用于干燥蝕刻處理的蝕刻設備以及用于灰化處理的灰化設備可以包括用于產生等離子體的室。可以利用等離子體蝕刻或灰化基板。

通常地，等離子體產生裝置可以將時變電流（time-varying?current）施加到安裝在室中的天線上以感生電場并且然后通過利用感生的電場將注入到室中的氣體轉換成等離子體狀態，由此產生等離子體。

發明內容

本發明提供了一種用于使構成雙天線的兩個天線彼此電耦合的等離子體天線以及一種包括所述等離子天線的等離子體產生裝置。

本發明還提供了一種用于使流入兩個天線的電流保持平衡的等離子體天線以及包括所述等離子體天線的等離子體產生裝置。

本發明的實施方式提供了等離子天線，其包括：第一天線，其利用射頻信號感生電磁場；第二天線，其利用射頻信號感生電磁場；以及電容器，其連接在第一天線的輸入端子與第二天線的輸入端子之間。

在一些實施方式中，第一天線可以包括：第一射頻饋送器（RF?feed），其接收射頻信號并且具有柱形形狀；以及第一線圈，其連接到第一射頻饋送器，并且第二天線可以包括：第二射頻饋送器，其接收射頻信號并且具有圍繞第一射頻饋送器的中空柱形形狀；以及第二線圈，其連接到第二射頻饋送器。

在其它實施方式中，電容器可以由第一射頻饋送器、第二射頻饋送器和布置在第一射頻饋送器與第二射頻饋送器之間的電介質構成。

在此外其它實施方式中，第一射頻饋送器可以具有圓柱形形狀，并且第二射頻饋送器可以具有圍繞圓柱形形狀的中空圓柱形形狀。

在此外其它實施方式中，第一射頻饋送器和第二射頻饋送器可以相對于彼此同軸地布置。

在此外其它實施方式中，電介質可以包括聚合物或金屬氧化物。

在其它實施方式中，聚合物可以包括聚四氟乙烯、聚酰亞胺或聚醚醚酮（PEEK）。

在此外其它實施方式中，金屬氧化物可以包括陶瓷。

在此外其它實施方式中，陶瓷可以包括Al₂O₃或ZnO。

在此外其它實施方式中，等離子體天線包括沿著第一射頻饋送器與第二射頻饋送器中的每個的縱軸的多個電容器。

在多個其它實施方式中，多個電容器可以由第一射頻饋送器、第二射頻饋送器和布置在第一射頻饋送器與第二射頻饋送器之間的多個電介質構成。

在此外多個其它實施方式中，多個電介質可以沿著縱軸彼此隔開預定距離。

在此外多個其它實施方式中，多個電介質的材料可以不同。

在此外多個其它實施方式中，電容器可以包括：第一傳導件，其具有柱形形狀，第一傳導件相對于第一射頻饋送器同軸地布置；第二傳導件，其具有圍繞第一傳導件的中空柱形形狀，第二傳導件相對于第二射頻饋送器同軸地布置。

在此外多個其它實施方式中，電容器可附接到第一天線與第二天線中的至少一個上。

在本發明的其它實施方式中，等離子體產生裝置包括：射頻電源，其提供射頻信號；等離子體室，氣體注入到其中以產生等離子體；以及等離子體天線，其布置在等離子體室上，等離子體接收射頻信號以在等離子體室中感生電磁場，其中等離子體天線包括：第一天線，其利用射頻信號感生電磁場；第二天線，其利用射頻信號感生電磁場；以及電容器，其連接在第一天線的輸入端子與第二天線的輸入端子之間。

在一些實施方式中，等離子體天線可以布置在等離子體室的上部上。

在其它實施方式中，第一天線與第二天線可以彼此感應耦合。

在此外其它實施方式中，第一天線與第二天線可以并聯連接到彼此。

在此外其它實施方式中，第一天線可以包括：第一射頻饋送器，其接收射頻信號并且具有柱形形狀；以及第一線圈，其連接到第一射頻饋送器，并且第二天線可以包括：第二射頻饋送器，其接收射頻信號并且具有圍繞第一射頻饋送器的中空柱形形狀；以及第二線圈，其連接到第二射頻饋送器。

在此外其它實施方式中，電容器可以由第一射頻饋送器、第二射頻饋送器和布置在第一射頻饋送器與第二射頻饋送器之間的電介質構成。

在其它實施方式中，電介質可以包括聚合物或金屬氧化物。

在此外其它實施方式中，聚合物可以包括聚四氟乙烯、聚酰亞胺或聚醚醚酮（PEEK）。