[發明專利]等離子體天線以及具有該天線的用于產生等離子體的裝置

在審

• 申請號: 201310613417.0
• 申請日: 2013-11-27
• 公開（公告）號: CN103855459A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 具一教;哈魯瓊·米利克揚;成曉星;李守真
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: H01Q1/22
• 分類號: H01Q1/22;H05H1/46
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 楊生平;鐘錦舜

1.一種等離子體天線，其包括：

第一天線，其利用射頻信號感生電磁場；

第二天線，其利用所述射頻信號感生電磁場；以及

電容器，其連接在所述第一天線的輸入端子與所述第二天線的輸入端子之間。

2.根據權利要求1所述的等離子體天線，其中，所述第一天線包括：第一射頻饋送器，其接收所述射頻信號并且具有柱形形狀；以及第一線圈，其連接到所述第一射頻饋送器，并且

所述第二天線包括：第二射頻饋送器，其接收所述射頻信號并且具有圍繞所述第一射頻饋送器的中空柱形形狀；以及第二線圈，其連接到所述第二射頻饋送器。

3.根據權利要求2所述的等離子體天線，其中，所述電容器由所述第一射頻饋送器、所述第二射頻饋送器和布置在所述第一射頻饋送器與所述第二射頻饋送器之間電介質構成。

4.根據權利要求2所述的等離子體天線，其中，所述第一射頻饋送器具有圓柱形形狀，并且

所述第二射頻饋送器具有圍繞所述圓柱形形狀的中空圓柱形形狀。

5.根據權利要求2所述的等離子體天線，其中，所述第一射頻饋送器與所述第二射頻饋送器相對于彼此同軸地布置。

6.根據權利要求3所述的等離子體天線，其中，所述電介質包括聚合物或金屬氧化物。

7.根據權利要求6所述的等離子體天線，其中，所述聚合物包括聚四氟乙烯、聚酰亞胺或聚醚醚酮（PEEK）。

8.根據權利要求6所述的等離子體天線，其中，所述金屬氧化物包括陶瓷。

9.根據權利要求8所述的等離子體天線，其中，所述陶瓷包括Al₂O₃或者ZnO。

10.根據權利要求2所述的等離子體天線，其中，所述等離子體天線包括沿著所述第一射頻饋送器與所述第二射頻饋送器中的每個的縱軸的多個電容器。

11.根據權利要求10所述的等離子體天線，其中，所述多個電容器由所述第一射頻饋送器、所述第二射頻饋送器和布置在所述第一射頻饋送器與所述第二射頻饋送器之間的多個電介質構成。

12.根據權利要求11所述的等離子體天線，其中，所述多個電介質沿著所述縱軸彼此隔開預定距離。

13.根據權利要求11所述的等離子體天線，其中，所述多個電介質的材料是不同的。

14.根據權利要求2所述的等離子體天線，其中，所述電容器包括：

第一傳導件，其具有柱形形狀，所述第一傳導件相對于所述第一射頻饋送器同軸地布置；

第二傳導件，其具有圍繞所述第一傳導件的中空柱形形狀，所述第二傳導件相對于所述第二射頻饋送器同軸地布置。

15.根據權利要求14所述的等離子體天線，其中，所述電容器可附接到所述第一天線與所述第二天線中的至少一個上。

16.一種等離子體產生裝置，其包括：

射頻電源，其提供射頻信號；

等離子體室，氣體注入到其中以產生等離子體；以及

等離子體天線，其布置在所述等離子體室上，所述等離子體接收所述射頻信號以在所述等離子體室中感生電磁場，

其中，所述等離子體天線包括：

第一天線，其利用所述射頻信號感生電磁場；

第二天線，其利用所述射頻信號感生電磁場；以及

電容器，其連接在所述第一天線的輸入端子與所述第二天線的輸入端子之間。

17.根據權利要求16所述的等離子體產生裝置，其中，所述等離子體天線布置在所述等離子體室的上部上。

18.根據權利要求16所述的等離子體產生裝置，其中，所述第一天線與所述第二天線彼此感應耦合。

19.根據權利要求16所述的等離子體產生裝置，其中，所述第一天線與所述第二天線并聯連接到彼此。