[發(fā)明專利]用FIB在AFP樣品上打標(biāo)記定位的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310612744.4
• 申請日: 2013-11-26
• 公開（公告）號: CN103646850A
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 倪亮
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/68
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 竺路玲

1.一種用FIB在AFP樣品上打標(biāo)記定位的方法，所述樣品包括金屬層和接觸層，所述樣品上具有目標(biāo)位置，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

步驟1，在所述樣品上設(shè)定參照點，所述參照點距離所述樣品的目標(biāo)位置若干位移；

步驟2，將所述樣品處理到金屬層，在所述樣品的參照點處通過FIB打標(biāo)記，所述標(biāo)記具有特定形狀；

步驟3，將所述樣品處理到接觸層，通過所述AFP掃描樣品，得出樣品標(biāo)記的位置，并根據(jù)所述若干位移找到所述目標(biāo)單位。

2.如權(quán)利要求1所述的用FIB在AFP樣品上打標(biāo)記定位的方法，其特征在于，所述步驟1中參照點在水平線上距離所述目標(biāo)位置2個bit。

3.如權(quán)利要求1所述的用FIB在AFP樣品上打標(biāo)記定位的方法，其特征在于，步驟2中的所述標(biāo)記為經(jīng)過所述參照點相互垂直的兩條線段。

4.如權(quán)利要求3所述的用FIB在AFP樣品上打標(biāo)記定位的方法，其特征在于，所述樣品采用65/55nm制程。

5.如權(quán)利要求1所述的用FIB在AFP樣品上打標(biāo)記定位的方法，其特征在于，所述標(biāo)記的寬度小于所述AFP的針尖直徑。

6.如權(quán)利要求5所述的用FIB在AFP樣品上打標(biāo)記定位的方法，其特征在于，所述AFP的針尖直徑為130nm。

7.如權(quán)利要求6所述的用FIB在AFP樣品上打標(biāo)記定位的方法，其特征在于，所述步驟2中的標(biāo)記為兩條各長5μm、寬0μm、深1.2μm的線段。

8.如權(quán)利要求1所述的用FIB在AFP樣品上打標(biāo)記定位的方法，其特征在于，所述步驟3通過所述AFP掃描樣品，得出地形圖和電性圖，在圖上找到樣品標(biāo)記的位置。