[發明專利]一種提高透射電子顯微鏡照射樣品成功率的方法無效
| 申請號： | 201310597909.5 | 申請日： | 2013-11-22 |
| 公開（公告）號： | CN103645204A | 公開（公告）日： | 2014-03-19 |
| 發明（設計）人： | 高林;唐涌耀;陳強;高金德 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01N23/225 | 分類號： | G01N23/225 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 提高 透射 電子顯微鏡 照射 樣品 成功率 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種提高透射電子顯微鏡照射樣品成功率的方法，其特征在于，包括以下步驟：
提供一碳膜銅網和一樣品，所述碳膜銅網包括碳膜和銅網；
將所述樣品放置在所述碳膜上表面；
在所述樣品的放置過程中，當所述碳膜破損、所述樣品扭曲時，將扭曲的樣品連同破損的碳膜重新提取起來，并放置在所述碳膜上表面完好的區域；
用透射電子顯微鏡對所述樣品進行拍照。
2.如權利要求1所述的一種改善透射電子顯微鏡照射樣品的流程方法，其特種在于，采用取樣系統提取所述扭曲的樣品連同破損的碳膜，所述取樣系統中設有玻璃針，所述玻璃針通過靜電吸附力吸附所述扭曲的樣品及所述破損的碳膜。
3.如權利要求2所述的一種改善透射電子顯微鏡照射樣品的流程方法，其特種在于，所述玻璃針的針頭直徑為0.2-0.5納米。
4.如權利要求1所述的一種改善透射電子顯微鏡照射樣品的流程方法，其特種在于，所述碳膜銅網的直徑為3毫米，所述碳膜覆蓋在銅網任意一面。
5.如權利要求1所述的一種改善透射電子顯微鏡照射樣品的流程方法，其特種在于，所述碳膜通過金屬鑷子進行夾取。
6.如權利要求1所述的一種改善透射電子顯微鏡照射樣品的流程方法，其特種在于，所述樣品平整擺放在所述碳膜上表面，所述透射電子顯微鏡的電子束垂直入射所述樣品進行拍照。
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