[發明專利]高速高精直線驅動并聯XY平臺

無效

• 申請號: 201310597261.1
• 申請日: 2013-11-22
• 公開（公告）號: CN103624191A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 林協源;劉冠峰;陳新
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: B21F15/00
• 分類號: B21F15/00
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

技術領域

本發明涉及超精密定位設備領域，尤其涉及高速高精直線驅動并聯XY平臺。

背景技術

現有用于平面焊線機的XY平臺大體的采用兩個電機串聯的模式組合而成，即兩個電機的運動之間不會相互影響。由于焊線機本身的性能要求，XY平臺需要有較大的加速度、速度和剛度。傳統的XY平臺為了滿足上述要求，通常是一方面增大電機的功率，一方面是減小動平臺及各連接件的質量和慣量。這樣做的缺點主要是在確保高速高精的情況下，平臺的剛度會有所下降，而且平臺的成本也會增加。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術之缺陷，提供了一種結構簡單、剛度高的高速高精直線驅動并聯XY平臺。

本發明是這樣實現的：一種高速高精直線驅動并聯XY平臺，包括平臺基座、分別固定在所述平臺基座上的第一基座、第二基座和第三基座、固定安裝在第一基座上的第一直線電機、固定安裝在所述第二基座上的第二直線電機以及位于所述第三基座上方的動平臺，所述動平臺分別與所述第一直線電機和第二直線電機連接，所述第一直線電機驅動所述動平臺沿X軸向運動，所述第二直線電機驅動所述動平臺沿Y軸向運動，所述動平臺和所述第三基座之間設有氣浮墊,所述氣浮墊與所述動平臺固定安裝。

進一步地，所述第一直線電機動子上連接有一連接件，所述連接件具有兩個側臂和連接部，所述兩個側臂分別與所述第一直線電機動子兩端連接，所述連接部通過兩根連桿與所述動平臺連接。

進一步地，所述兩根連桿通過鉸接的方式分別與所述連接件和所述動平臺連接。

進一步地，所述兩根連桿分別通過鉸鏈銷與所述連接件和所述動平臺連接，所述連桿上下兩面分別設有與所述鉸鏈銷同軸的無油襯套，所述鉸鏈銷末端通過螺母鎖緊。

進一步地，所述第一基座上設有沿X軸向的導軌，所述連接件下端具有與所述導軌配合的第一凹槽，所述連接件通過所述第一凹槽與所述導軌滑動連接。

進一步地，所述導軌為兩個，分別位于所述第一直線電機兩側。

進一步地，所述第一基座上設有讀數頭安裝件，所述讀數頭安裝件上安裝有讀數頭，所述連接件上安裝有與所述讀數頭配合的沿X軸向的光柵尺。

進一步地，所述第二直線電機連接所述動平臺的結構與所述第一直線電機連接所述動平臺的結構相同。

本發明提供一種高速高精直線驅動并聯XY平臺，動平臺在X軸向由第一直線電機驅動，在Y軸向由第二直線電機驅動，在動平臺與其下的第三基座之間設置固定在動平臺上的氣浮墊，該氣浮墊在吹氣的同時增加了一個真空吸附，這使得氣浮墊在滑動的同時會有一個固定的載荷，這個載荷可以使氣浮墊浮起的高度固定在一個恒定值，提高了動平臺的剛度。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發明高速高精直線驅動并聯XY平臺的結構示意圖；

圖2為本發明實施例提供的連桿與連接件連接結構示意圖。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。