[發明專利]高速高精直線驅動并聯XY平臺

無效

• 申請號: 201310597261.1
• 申請日: 2013-11-22
• 公開（公告）號: CN103624191A
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 林協源;劉冠峰;陳新
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: B21F15/00
• 分類號: B21F15/00
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

1.一種高速高精直線驅動并聯XY平臺，其特征在于，包括平臺基座、分別固定在所述平臺基座上的第一基座、第二基座和第三基座、固定安裝在第一基座上的第一直線電機、固定安裝在所述第二基座上的第二直線電機以及位于所述第三基座上方的動平臺，所述動平臺分別與所述第一直線電機和第二直線電機連接，所述第一直線電機驅動所述動平臺沿X軸向運動，所述第二直線電機驅動所述動平臺沿Y軸向運動，所述動平臺和所述第三基座之間設有氣浮墊,所述氣浮墊與所述動平臺固定安裝。

2.如權利要求1所述的高速高精直線驅動并聯XY平臺，其特征在于：所述第一直線電機動子上連接有一連接件，所述連接件具有兩個側臂和連接部，所述兩個側臂分別與所述第一直線電機動子兩端連接，所述連接部通過兩根連桿與所述動平臺連接。

3.如權利要求2所述的高速高精直線驅動并聯XY平臺，其特征在于：所述兩根連桿通過鉸接的方式分別與所述連接件和所述動平臺連接。

4.如權利要求3所述的高速高精直線驅動并聯XY平臺，其特征在于：所述兩根連桿分別通過鉸鏈銷與所述連接件和所述動平臺連接，所述連桿上下兩面分別設有與所述鉸鏈銷同軸的無油襯套，所述鉸鏈銷末端通過螺母鎖緊。

5.如權利要求2所述的高速高精直線驅動并聯XY平臺，其特征在于：所述第一基座上設有沿X軸向的導軌，所述連接件下端具有與所述導軌配合的第一凹槽，所述連接件通過所述第一凹槽與所述導軌滑動連接。

6.如權利要求5所述的高速高精直線驅動并聯XY平臺，其特征在于：所述導軌為兩個，分別位于所述第一直線電機兩側。

7.如權利要求2所述的高速高精直線驅動并聯XY平臺，其特征在于：所述第一基座上設有讀數頭安裝件，所述讀數頭安裝件上安裝有讀數頭，所述連接件上安裝有與所述讀數頭配合的沿X軸向的光柵尺。

8.如權利要求1-7任意一項所述的高速高精直線驅動并聯XY平臺，其特征在于：所述第二直線電機連接所述動平臺的結構與所述第一直線電機連接所述動平臺的結構相同。