[發(fā)明專利]一種基板平面度檢測裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310595776.8 | 申請日： | 2013-11-22 |
| 公開（公告）號： | CN103776397A | 公開（公告）日： | 2014-05-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 安旭 | 申請（專利權(quán)）人： | 大連世佳精工機械有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/30 | 分類號： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 大連智高專利事務(wù)所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人： | 李猛 |
| 地址： | 116600 遼寧省大連市開發(fā)*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 平面 檢測 裝置 | ||
1.一種基板平面度檢測裝置，其特征在于包括：Li-CCD激光位移傳感器、模擬量采集模塊、可編程控制器、條碼掃描傳感器，以太網(wǎng)通信模塊、基板輸送機構(gòu)（1）、待測試基板（3）、輸送機馬達（2）；所述的待測試基板（3）置于基板輸送機構(gòu)（1）上面，待測試基板（3）上方分別設(shè)有Li-CCD激光位移傳感器和條碼掃描傳感器，模擬量采集模塊的輸入端與Li-CCD激光位移傳感器相連，其輸出端與可編程控制器的輸入端相連，所述的可編程控制器的另一輸入端與條碼掃描傳感器相連，其輸出端與輸送機馬達（2）連接，所述的輸送機馬達（2）還與基板輸送機構(gòu)（1）相連，所述的可編程控制器還與以太網(wǎng)通信模塊相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板平面度檢測裝置，其特征在于：該裝置的工作流程為：
當(dāng)待測試基板（3）置于基板輸送機構(gòu)（1）上面時，首先條碼掃描傳感器對其掃碼，并將掃碼數(shù)據(jù)輸送至可編程控制器，待測試基板（3）隨基板輸送機構(gòu)（1）中的輸送帶向前移動，完全經(jīng)過Li-CCD激光位移傳感器后，Li-CCD激光位移傳感器完成位移數(shù)據(jù)采樣，位移數(shù)據(jù)以模擬量的形式傳送給模擬量采集模塊，模擬量采集模塊將其轉(zhuǎn)化為數(shù)字量并傳送給可編程控制器，隨后將掃碼數(shù)據(jù)和位移數(shù)據(jù)經(jīng)由可編程控制器，通過以太網(wǎng)通信模塊發(fā)送至生產(chǎn)管理服務(wù)器，生產(chǎn)管理服務(wù)器將傳送來的數(shù)據(jù)樣本與標(biāo)準(zhǔn)模板進行比對，比對完畢后將結(jié)果通過以太網(wǎng)通信模塊傳送到可編程控制器，如果基板出現(xiàn)變形不良，則可編程控制器控制輸送機馬達（2）停止工作，進而停止基板輸送機構(gòu)（1）工作，并發(fā)出報警信號。
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