[發明專利]一種托盤支撐裝置及等離子體加工設備

有效

• 申請號: 201310595515.6
• 申請日: 2013-11-22
• 公開（公告）號: CN104658844A
• 公開（公告）日: 2015-05-27
• 發明（設計）人: 葉華
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01J37/20;H01J37/244
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種托盤支撐裝置，其特征在于，包括托盤、支撐件、電源和第一檢測裝置，其中，

所述托盤采用導電材料制成，用于承載被加工工件；

所述支撐件采用導電材料制作，用于支撐所述托盤，所述支撐件包括第一支撐件和第二支撐件，所述第一支撐件與電源電連接，所述第二支撐件的數量為一個或多個；

所述第一檢測裝置的數量與所述第二支撐件的數量相對應，且與其一一對應地電連接，所述第一檢測裝置用于檢測與之電連接的第二支撐件是否與所述托盤相接觸；并且

連接所述第一支撐件與所述電源的電路和連接所述第二支撐件與相應的第一檢測裝置的電路之間不導通，且在所述第二支撐件的數量為多個時，各個連接所述第二支撐件與相應的第一檢測裝置的電路之間不導通；或者，連接所述第一支撐件與所述電源的電路和連接所述第二支撐件與相應的第一檢測裝置的電路之間導通，且在所述第二支撐件的數量為多個時，各個連接所述第二支撐件與相應的第一檢測裝置的電路之間相互并聯。

2.根據權利要求1所述的托盤支撐裝置，其特征在于，連接所述第一支撐件與所述電源的電路和連接所述第二支撐件與相應的第一檢測裝置的電路之間不導通，且在所述第二支撐件的數量為多個時，各個連接所述第二支撐件與相應的第一檢測裝置的電路之間不導通；并且

所述第一檢測裝置通過檢測連接其與相應的第二支撐件的電路上電壓或電平的變化，而確定該第二支撐件與所述托盤是否相接觸。

3.根據權利要求1所述的托盤支撐裝置，其特征在于，連接所述第一支撐件與所述電源的電路和連接所述第二支撐件與相應的第一檢測裝置的電路之間導通，且在所述第二支撐件的數量為多個時，各個連接所述第二支撐件與相應的第一檢測裝置的電路之間相互并聯；并且

所述第一檢測裝置通過檢測連接其與相應的第二支撐件之間的電路的電流，而確定該第二支撐件與所述托盤是否相接觸。

4.根據權利要求1所述的托盤支撐裝置，其特征在于，還包括第二檢測裝置，所述第一支撐件與所述第二檢測裝置連接，所述第二檢測裝置用于檢測所述第一支撐件與所述托盤是否相接觸。

5.根據權利要求1所述的托盤支撐裝置，其特征在于，在連接所述第一支撐件與所述電源的電路，以及連接所述第二支撐件與相對應的第一檢測裝置的電路上均設置有通斷開關，用以接通或斷開其所在電路。

6.根據權利要求1所述的托盤支撐裝置，其特征在于，所述第一支撐件和第二支撐件的側表面包覆有絕緣套。

7.根據權利要求1所述的托盤支撐裝置，其特征在于，在所述托盤的下表面上設有環形絕緣件和圓形絕緣件，其中

所述圓形絕緣件的中心與所述托盤的中心重合；

所述環形絕緣件環繞在所述圓形絕緣件的外圍，所述環形絕緣件、圓形絕緣件和所述托盤下表面的位于二者之間的部分形成環形凹槽；并且

所述托盤上與所述第一支撐件和第二支撐件相對應的位置位于所述環形凹槽內。

8.根據權利要求2所述的托盤支撐裝置，其特征在于，所述第一檢測裝置包括PLC或板卡。

9.根據權利要求1所述的托盤支撐裝置，其特征在于，所述支撐件包括頂針或機械爪。

10.一種等離子體加工設備，包括托盤支撐裝置，其特征在于，所述托盤支撐裝置采用權利要求1-9任意一項所述的托盤支撐裝置。