[發明專利]噴墨印刷裝置以及形成該噴墨印刷裝置的噴嘴的方法有效

申請號：	201310591456.5	申請日：	2013-11-21
公開（公告）號：	CN103847233A	公開（公告）日：	2014-06-11
發明（設計）人：	姜城圭;洪英基	申請（專利權）人：	三星電子株式會社
主分類號：	B41J2/14	分類號：	B41J2/14;B41J2/16
代理公司：	北京市柳沈律師事務所 11105	代理人：	王新華
地址：	韓國***	國省代碼：	韓國;KR
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摘要：
搜索關鍵詞：	噴墨印刷裝置以及形成噴嘴方法
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【說明書】：

技術領域

本公開涉及噴墨印刷裝置以及形成噴嘴的方法，更具體地，涉及經由微小的噴嘴噴射墨滴的噴墨印刷裝置以及形成該噴嘴的方法。

背景技術

噴墨印刷裝置通過在印刷介質的期望區域上噴射微小的墨滴而印刷預定圖像。

噴墨印刷裝置可以根據噴墨方法而分為壓電型噴墨印刷裝置和靜電型噴墨印刷裝置。壓電型噴墨印刷裝置經由壓電變形來噴墨，靜電型噴墨印刷裝置經由靜電力來噴墨。靜電型噴墨印刷裝置可以采用通過靜電感應噴射墨滴的方法或者采用在積聚帶電的顏料之后經由靜電力噴射墨滴的方法。

發明內容

本發明提供了能夠噴射均一的微小墨滴的噴墨印刷裝置以及形成該噴墨印刷裝置的噴嘴的方法。

本發明提供了包括具有均一形狀和均一直徑的孔的噴嘴的噴墨印刷裝置以及形成該噴嘴的方法。

額外的方面將在以下的描述中被部分地闡述，并將部分地從該描述而變得明顯或者可以通過實踐給出的實施方式而掌握。

根據本發明的一方面，一種噴墨印刷裝置包括噴嘴和致動器，致動器提供驅動力以經由噴嘴噴墨。噴嘴包括：第一噴嘴部，形成為錐形；第二噴嘴部，從第一噴嘴部延伸；以及第三噴嘴部，形成為從第二噴嘴部延伸的錐形。

第二噴嘴部可以形成為與噴嘴延伸的方向成一銳角的錐形。

第二噴嘴部的錐角可以小于第一噴嘴部和第三噴嘴部的錐角。

第一噴嘴部和第三噴嘴部的錐角可以相同。

該裝置還可以包括位于噴嘴周圍的溝槽。

溝槽可以形成在整個噴嘴周圍。

溝槽可以沿第一方向延伸并在垂直于第一方向的第二方向上位于噴嘴的兩側。

噴嘴的出口可以在溝槽里面延伸。

噴嘴可以形成為多棱錐形狀。

噴嘴可以形成在單晶硅基板中。

噴嘴可以形成為四角錐形狀。

該裝置還可以包括壓力室，致動器可以包括壓電致動器，該壓電致動器提供變化的壓力以噴射壓力室中的墨水。

致動器可以包括向噴嘴中的墨水提供靜電驅動力的靜電致動器。

根據本發明的另一方面，一種形成噴墨印刷裝置的噴嘴的方法包括：通過從第一表面將基板蝕刻為錐形而形成第一凹部；通過從基板的與第一表面相反的第二表面蝕刻而形成貫穿部（penetration?part）以連接到第一凹部的頂點；通過蝕刻第一凹部和貫穿部，在第一凹部和貫穿部之間的邊界處形成第二凹部以具有與第一凹部不同的錐角，以及在貫穿部上形成第三凹部以具有與第二凹部不同的錐角。

第一凹部、第二凹部和第三凹部可以通過濕法蝕刻工藝形成。

貫穿部可以通過干法蝕刻工藝形成。

第二凹部的錐角可以小于第一凹部的錐角和第三凹部的錐角。

第一凹部的錐角和第三凹部的錐角可以相同。

該方法還可以包括通過從第二表面蝕刻基板而形成在第三凹部周圍從第二表面朝向第一表面下凹的溝槽。

溝槽可以形成在整個噴嘴的周圍。

溝槽可以沿第一方向延伸并在垂直于第一方向的第二方向上位于噴嘴的兩側。

形成溝槽可以通過濕法蝕刻工藝執行。

該方法還可以包括：在執行形成溝槽之前，在第一凹部、第二凹部和第三凹部上形成保護層。

基板可以是單晶基板。

基板可以是單晶硅基板。

濕法蝕刻工藝可以是各向異性濕法蝕刻工藝。