[發(fā)明專利]MEMS麥克風(fēng)的制造方法

有效

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• 申請日: 2013-11-19
• 公開（公告）號: CN103607688A
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李欣亮;王順;劉瑞寶
• 申請（專利權(quán)）人: 歌爾聲學(xué)股份有限公司
• 主分類號: H04R31/00
• 分類號: H04R31/00
• 代理公司: 濰坊正信專利事務(wù)所 37216
• 代理人: 王秀芝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及聲電技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種MEMS麥克風(fēng)的制造方法。

背景技術(shù)

MEMS麥克風(fēng)是將聲音信號轉(zhuǎn)換為電信號的能量轉(zhuǎn)換器，近年來隨著電子技術(shù)的飛速發(fā)展，MEMS麥克風(fēng)在便攜式電子設(shè)備中也得到了廣泛的應(yīng)用。

目前，MEMS麥克風(fēng)主要有兩種結(jié)構(gòu)：一種是利用一個金屬外殼和一個線路板組成的外部封裝結(jié)構(gòu)；另一種是純線路板的封裝結(jié)構(gòu)，此種封裝結(jié)構(gòu)是由上下兩塊線路板和中間帶聲腔的線路板包圍而成，此種結(jié)構(gòu)稱為三層線路板封裝結(jié)構(gòu)。對于三層線路板封裝結(jié)構(gòu)，在進(jìn)行組裝的時候，需要將三層線路板分別一一進(jìn)行組裝，生產(chǎn)加工工藝較為繁瑣，MEMS麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)也較復(fù)雜，不但組裝工人的工作強度大，生產(chǎn)效率也低。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種MEMS麥克風(fēng)的制造方法，此MEMS麥克風(fēng)的制造方法工藝步驟簡便，降低了工人的勞動強度，同時提高了生產(chǎn)效率。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：

一種MEMS麥克風(fēng)的制造方法，包括以下步驟：S1、提供第一塊線路板，在所述第一塊線路板上挖設(shè)至少一個凹槽；S2、提供第二塊線路板，所述第二塊線路板的形狀和尺寸與所述第一塊線路板相適配；S3、在所述第一塊線路板的每一個所述凹槽內(nèi)或所述第二塊線路板上對應(yīng)每一個所述凹槽的位置上設(shè)置MEMS芯片；S4、在所述第一塊線路板設(shè)有所述凹槽的一側(cè)端面上涂設(shè)導(dǎo)電固定材料；S5、將所述第一塊線路板與所述第二塊線路板通過所述導(dǎo)電固定材料封裝為一體，每一片所述MEMS芯片均位于相對應(yīng)的所述凹槽與所述第二塊線路板圍成的聲腔內(nèi)，從而形成一個封裝體。

作為一種實施方式，在所述第一塊線路板上挖設(shè)一個凹槽。

其中，在所述步驟S2或所述步驟S3之前還包括在所述凹槽的表面或所述第一塊線路板的外表面設(shè)置屏蔽層的步驟。

作為另一種實施方式，在所述第一塊線路板上挖設(shè)至少兩個凹槽；還包括：S6、對所述封裝體進(jìn)行分割，將所述封裝體分割為與所述凹槽數(shù)量相等的單個封裝體。

作為另一種實施方式，在所述步驟S2或所述步驟S3之前還包括在每一個所述凹槽的表面設(shè)置屏蔽層的步驟。

其中，所述凹槽由銑床加工而成。

其中，所述導(dǎo)電固定材料為導(dǎo)電膠、焊錫膏、銀漿或銅膏中的一種。

采用了上述技術(shù)方案后，本發(fā)明的有益效果是：

由于本發(fā)明MEMS麥克風(fēng)的制造方法是在第一塊線路板上挖設(shè)凹槽，并將第一塊線路板與第二塊線路板結(jié)合，使得凹槽與第二塊線路板之間形成了MEMS麥克風(fēng)的聲腔。故本發(fā)明僅用兩層線路板就實現(xiàn)了現(xiàn)有技術(shù)中的三層線路板結(jié)構(gòu)，少了一層線路板自然簡化了組裝工序，工人組裝時只需要將兩層線路板封裝為一體即可，從而減少了工人的工作量，降低了工人的勞動強度，同時也提高了工人的工作效率，進(jìn)而提高了MEMS麥克風(fēng)的生產(chǎn)效率。

由于在凹槽表面或第一塊線路板的外表面設(shè)置了屏蔽層，對外部的電磁信號起到了屏蔽作用，減少了外部電磁信號對MEMS麥克風(fēng)的干擾，從而提高了雙層線路板結(jié)構(gòu)的MEMS麥克風(fēng)的聲學(xué)性能。

綜上所述，本發(fā)明MEMS麥克風(fēng)的制造方法解決了現(xiàn)有技術(shù)中線路板結(jié)構(gòu)的MEMS麥克風(fēng)組裝工藝繁瑣的技術(shù)問題。本發(fā)明簡化了MEMS麥克風(fēng)的組裝工藝，有效的提高了線路板結(jié)構(gòu)的MEMS麥克風(fēng)的生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1是根據(jù)本發(fā)明MEMS麥克風(fēng)的制造方法制造的第一種MEMS麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是圖1中的第一電路板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是根據(jù)本發(fā)明MEMS麥克風(fēng)的制造方法制造的第二種MEMS麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是根據(jù)本發(fā)明MEMS麥克風(fēng)的制造方法制造的第三種MEMS麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5是根據(jù)本發(fā)明MEMS麥克風(fēng)的制造方法制造的第四種MEMS麥克風(fēng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

其中：10a、第一線路板，10b、第一線路板，12a、第二線路板，12b、第二線路板，20、MEMS芯片，30a、屏蔽層，30b、屏蔽層，30c、屏蔽層，30d、屏蔽層，40、焊盤，50、導(dǎo)電固定材料，60a、聲孔，60b、聲孔，70、凹槽，80、導(dǎo)電結(jié)構(gòu)。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例，進(jìn)一步闡述本發(fā)明。

實施例一：

一種MEMS麥克風(fēng)的制造方法，包括以下步驟：