[發明專利]準備柔性基板組件的方法和從其得到的柔性基板組件

無效

• 申請號: 201310576481.6
• 申請日: 2009-12-01
• 公開（公告）號: CN103596370A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: J.?？?/a>;S.阿吉諾;D.E.羅伊;S.奧羅爾克;R.諾喬凱蒂斯
• 申請（專利權）人: 代表亞利桑那大學的亞利桑那校董會
• 主分類號: H05K3/00
• 分類號: H05K3/00;H05K1/03
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王新華

本申請是申請人為代表亞利桑那大學的亞利桑那校董會、申請日為2009年12月1號、申請號為200980155915.7的中國發明專利申請的分案申請。?

相關申請的交叉引用?

本申請要求2008年12月2日提交的美國臨時申請No.61/119217、2009年5月29日提交的美國臨時申請No.61/182464以及2009年7月30日提交的美國臨時申請No.61/230051的權益。美國臨時申請Nos.61/119217、61/182464和61/230051通過引用合并于此。?

關于聯邦贊助的研究或開發的聲明?

美國政府具有本發明的已付費許可和在有限情況下要求專利擁有者基于合理條款許可給其他人的權利，所述合理條款由軍隊研究實驗室（ARL）的授權/合同No.W911NF-04-2-0005的條款規定。?

技術領域

本發明總地涉及處理柔性基板組件，更具體地涉及減小柔性基板的變形的方法以及從其得到的柔性基板組件。?

背景技術

在電子工業中，柔性基板正迅速流行用作電子電路的基底。柔性基板可以包括很多種材料，例如包括無數塑料中的任一種。一旦所需的電子部件、電路或多個電路形成于柔性基板的表面之上，柔性基板就能貼附到最終產品或包括到更進一步的結構中。這樣的產品或結構的典型示例是平板顯示器上的有源矩陣、零售店中各種商業產品上的RFID（射頻標識）標簽、各種傳感器等。?

然而，出現的一個主要問題是在處理期間使柔性基板穩定。例如，在柔?性基板上制造薄膜、薄膜晶體管（TFT）或薄膜晶體管電路（TFT電路）的過程中，進行大量工藝步驟，期間柔性基板可能移動通過若干機械、爐、清潔步驟等。為了移動柔性基板通過這樣的工藝，柔性基板通常臨時安裝到某類承載基板從而柔性基板能夠在工藝步驟之間移動。?

然而，與普通承載基板相比，柔性基板的較高熱膨脹系數（CTE）導致在TFT或TFT電路處理的溫度偏移期間顯著的CTE誘發的應變失配。該現象產生顯著的柔性基板變形且會導致操縱錯誤、光刻對準錯誤以及線/層缺陷。?

因此，在技術上需要開發用于將柔性基板耦接到承載基板的新的合成物和方法以解決前面的限制。?

發明內容

附圖說明

為了便于對實施例的進一步描述，提供以下附圖，附圖中：?

圖1示出根據第一實施例的準備柔性基板組件的方法的流程圖；?

圖2是流程圖，示出根據第一實施例的準備柔性基板的工序；?

圖3示出根據第一實施例的柔性基板的俯視圖；?

圖4示出根據第一實施例在將圖3的柔性基板貼附到保護模板之后柔性基板組件的局部剖視圖；?

圖5示出根據第一實施例在將承載基板耦接到柔性基板組件之后圖4的柔性基板組件的局部剖視圖；?

圖6是流程圖，示出根據第一實施例處理圖4的柔性基板組件的工序；?

圖7示出根據第一實施例在切割柔性基板組件之后圖4的柔性基板組件的剖視圖；?

圖8示出根據第一實施例在去除對準突片（tab）之后圖4的柔性基板組件的剖視圖；?

圖9示出根據第一實施例在從柔性基板組件去除保護材料之后圖4的柔性基板組件的剖視圖；?

圖10示出根據第一實施例在柔性基板上制作一個或更多電部件之后圖4的柔性基板組件的剖視圖；?

圖11示出根據第一實施例在從承載基板去除塑料基板之后圖4的柔性基板組件的剖視圖。?

為了圖示的簡單和清楚，附圖示出構造的一般方式，對公知特征和技術的描述和細節可被省略以避免不必要地模糊本發明。此外，附圖中的元件不是必須按比例繪制。例如，附圖中一些元件的尺寸可以相對于其它元件被夸大以有助于提高對本發明的實施例的理解。不同附圖中的相同附圖標記指示相同的元件。?

如果有的話，說明書和權利要求書中的術語“第一”、“第二”、“第三”、“第四”等用于類似元件之間的區分，不一定描述特定順序或時間次序。將理解，這樣使用的術語在適當的情形下可互換，從而這里描述的實施例例如能夠以所示順序之外的順序或與這里描述的順序不同的順序操作。此外，術語“包括”和“具有”以及它們的任何變型旨在涵蓋非排他性的包括，從而包括一系列組元的工藝、方法、系統、物件、器件或裝置不一定限于那些組元，而是可包括未明確列出的或這些工藝、方法、系統、物件、器件或裝置固有的其它組元。?