[發明專利]一種真空鍍膜機

有效

• 申請號: 201310574306.3
• 申請日: 2013-11-15
• 公開（公告）號: CN103590005A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 王先玉;夏永光
• 申請（專利權）人: 浙江星星瑞金科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 臺州市方圓專利事務所 33107
• 代理人: 蔡正保;朱新穎

技術領域

本發明屬于機械技術領域，涉及一種真空鍍膜機。

背景技術

隨著科學技術的發展，電子設備的顯示屏性能不斷提升，并且出現了利用人手直接觸摸控制的觸摸屏。在實際的使用過程中，顯示屏容易沾染外界的灰塵等污物，觸摸屏更容易在觸摸后留下指紋或者產生劃痕。為提高顯示屏的耐磨和耐臟性能，通常采用真空鍍膜的方式在顯示屏表面鍍附一層高耐磨防指紋的涂層。

真空鍍膜是將真空室內材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上，從而形成一層薄膜的技術。現有的真空蒸發鍍膜設備包括真空罩和抽真空裝置，真空罩內具有一個用于蒸發鍍膜材料的蒸發源，待鍍膜的基片定位在蒸發源的前方。鍍膜過程中，真空罩被抽至高真空，蒸發源中的物質蒸發，蒸發物質的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面形成一層薄膜。在鍍膜的過程中，可以采用多個蒸發源或者旋轉基片的方式保證膜層厚度的均勻性。

為了提高鍍膜生產效率，有人提出了使工件架自轉同時相對于蒸發源公轉的鍍膜形式。例如，中國專利【申請號200820028638.6；授權公告號CN?201195744Y】公開的一種真空鍍膜機的工件三維轉動支架，包括有動力輸入軸、公轉盤支撐座、公轉轉動軸承、公轉盤轉動連接盤、公轉盤，在公轉盤上設有工件轉盤支撐桿，工件轉盤支撐桿上方設有上支架，工件桿通過轉動支撐座與上支架連接，工件桿上設置有工件旋轉軸，其特點是在公轉盤上設有工件自轉和工件旋轉機構，公轉盤轉動連接盤與自轉齒輪盤固連。

上述的真空鍍膜機的工件三維轉動支架實現了工件的公轉、自轉、旋轉的動作，提高了鍍膜的生產效率。但是，該結構真空鍍膜機的工件三維轉動支架存在的問題在于：1、轉動支架公轉時還有較大的空間未被充分利用，工件鍍膜的產能還可以進一步提高；2、轉動支架自轉軸線方向的多個工件與蒸發源的距離各不相同，靠近蒸發源的工件擋住遠離蒸發源的工件，需要蒸發源提供更多的鍍膜材料；3、無論是公轉、自轉、旋轉，在轉軸上定位工件，導致轉軸在轉動過程中會出現不同程度的晃動，進而使鍍工件表面的薄膜均勻程度下降。

發明內容

本發明的目的是針對現有的技術存在上述問題，提出了一種真空鍍膜機，本發明解決的技術問題是提高鍍膜機的產能。

本發明的目的可通過下列技術方案來實現：一種真空鍍膜機，包括真空罩和用于使真空罩內部保持真空狀態的真空系統，所述真空罩內設置有傘架和蒸發源，其特征在于，所述傘架包括能夠周向轉動的轉盤和若干個工件架，所述工件架分別與轉盤通過各自轉軸一相連，所述工件架沿轉盤周向呈傘狀分布，本真空鍍膜機還包括能使工件架隨著轉盤周向轉動的同時繞轉軸一的中心線轉動的驅動機構。

本真空鍍膜機的工作原理是：鍍膜加工之前，先將待鍍膜工件定位在工件架上，真空系統將真空罩內部抽真空，并使其保持真空狀態。鍍膜加工開始后，驅動機構帶動工件架隨轉盤周向轉動的同時繞轉軸一的中心線轉動，蒸發源將鍍膜材料加熱蒸發，鍍膜材料蒸發后向上擴散到工件架處，附著在溫度較低的待鍍膜工件上，形成厚薄均勻的薄膜。由于工件架沿轉盤周向呈傘狀分布，減少了傘架占用的空間，增大了工件架對蒸發材料的接受面積；并且，工件架能夠隨著轉盤周向轉動的同時繞轉軸一的中心線轉動，工件架上的正反兩面均能裝載待鍍膜工件，增加了工件架的裝載數量。因此，本真空鍍膜機的產量更高，經濟效益更好。

在上述的真空鍍膜機中，所述驅動機構包括錐齒齒盤和驅動電機，所述錐齒齒盤與真空罩固定連接，所述驅動電機通過傳動副與轉盤相連，所述轉軸一端部分別設置有與上述錐齒齒盤配合的錐齒輪。通過錐齒輪的傳動，使工件架隨著轉盤轉動后能夠到轉軸一準確地轉過相應的角度。

作為另一種方案，在上述的真空鍍膜機中，所述驅動機構包括摩擦軌道和驅動電機，所述摩擦軌道周向分布在真空罩內壁，所述驅動電機通過傳動副與轉盤相連，所述工件架另一端設置有與轉軸一中心線位于同一直線上的轉軸二，上述轉軸二的端部固連有摩擦輪，上述摩擦輪能在所述摩擦軌道內滾動使基板繞轉軸一和轉軸二中心線轉動。工件架隨轉盤轉動的過程中，轉軸二沿著摩擦軌道周向運動，并且固定在轉軸二上的摩擦輪在摩擦力的作用下帶動轉軸二繞自身中心線方向轉動，從而帶動工件架繞轉軸一和轉軸二的中心線方向轉動；工件架通過轉軸一和轉軸二的定位結構簡單，拆裝方便。

作為另一種方案，在上述的真空鍍膜機中，所述驅動機構包括自轉電機和公轉電機，所述公轉電機通過傳動副與轉盤相連，所述自轉電機分別通過傳動副與轉軸一相連。自轉電機和公轉電機分別帶動工件架自轉和公轉，通過自動控制設備能夠實現工件架自轉和公轉的精確控制。