[發明專利]一種真空鍍膜機

有效

• 申請號: 201310574306.3
• 申請日: 2013-11-15
• 公開（公告）號: CN103590005A
• 公開（公告）日: 2014-02-19
• 發明（設計）人: 王先玉;夏永光
• 申請（專利權）人: 浙江星星瑞金科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 臺州市方圓專利事務所 33107
• 代理人: 蔡正保;朱新穎

1.一種真空鍍膜機，包括真空罩（1）和用于使真空罩（1）內部保持真空狀態的真空系統，所述真空罩（1）內設置有傘架（2）和蒸發源（3），其特征在于，所述傘架（2）包括能夠周向轉動的轉盤（21）和若干個工件架（22），所述工件架（22）分別與轉盤（21）通過各自轉軸一（4）相連，所述工件架（22）沿轉盤（21）周向呈傘狀分布，本真空鍍膜機還包括能使工件架（22）隨著轉盤（21）周向轉動的同時繞轉軸一（4）的中心線轉動的驅動機構。

2.根據權利要求1所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述驅動機構包括錐齒齒盤（5）和驅動電機（6），所述錐齒齒盤（5）與真空罩（1）固定連接，所述驅動電機（6）通過傳動副與轉盤（21）相連，所述轉軸一（4）端部分別設置有與上述錐齒齒盤（5）配合的錐齒輪（7）。

3.根據權利要求1所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述驅動機構包括摩擦軌道（8）和驅動電機（6），所述摩擦軌道（8）周向分布在真空罩（1）內壁，所述驅動電機（6）通過傳動副與轉盤（21）相連，所述工件架（22）另一端設置有與轉軸一（4）中心線位于同一直線上的轉軸二（9），上述轉軸二（9）的端部固連有摩擦輪（10），上述摩擦輪（10）能在所述摩擦軌道（8）內滾動使基板繞轉軸一（4）和轉軸二（9）中心線轉動。

4.根據權利要求1或2或3所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述真空罩（1）還設置有支架（11），上述支架（11）與真空罩（1）軸向和徑向定位并能夠繞所述轉盤（21）中心線轉動，所述工件架（22）的底部分別可拆連接于所述支架（11）上，所述支架（11）與工件架（22）對應的位置具有讓位開口（111）。

5.根據權利要求1或2或3所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述蒸發源（3）包括蒸發舟（31）和電源，所述蒸發舟（31）的舟體兩端分別具有電極（311），上述電極（311）分別與電源的正負極接通，所述舟體上還具有輔助加熱片（312），上述輔助加熱片（312）與舟體形成用于放置蒸發原料的容納空間（313），所述輔助加熱片（312）底部部分或者全部與所述舟體相連，所述舟體和輔助加熱片（312）均采用導電材料制成。

6.根據權利要求1或2或3所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述工件架（22）相對于轉盤（21）的傾斜角度為小于90°。

7.根據權利要求1或2或3所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述工件架（22）的表面呈扇形。

8.根據權利要求1或2或3所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述工件架（22）的表面呈矩形。

9.根據權利要求1或2或3所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述工件架（22）的表面具有低粘度的Pe膜片。

10.根據權利要求1或2或3所述的真空鍍膜機，其特征在于，所述工件架（22）為多面體結構，所述工件架（22）上具有多個用于裝載原料的載料面（221）。