[發(fā)明專利]一種用于研磨拋光的研磨液

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310568471.8
• 申請日: 2013-11-15
• 公開（公告）號: CN103555207A
• 公開（公告）日: 2014-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李東
• 申請（專利權(quán)）人: 北京華進(jìn)創(chuàng)威電子有限公司
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02;C09K3/14
• 代理公司: 北京中創(chuàng)陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11003
• 代理人: 尹振啟

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于研磨拋光的研磨液。

背景技術(shù)

目前國內(nèi)超硬材料研磨液生產(chǎn)較少，且由于技術(shù)、設(shè)備等原因，研磨液中的磨削材料粒徑不均勻，容易對加工件表面產(chǎn)生劃傷等問題。而國外研磨液生產(chǎn)雖然技術(shù)成熟，但價(jià)格較貴，普遍高于國內(nèi)產(chǎn)品3-4倍左右，使得生產(chǎn)成本大大提高。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種成本較低、長效穩(wěn)定的用于研磨拋光的研磨液。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明用于研磨拋光的研磨液，其組分包括研磨微粉、高純水和懸浮劑，按重量計(jì)，其中研磨微粉含量為30-33，高純水含量為2500-2600，懸浮劑含量為100-110。

進(jìn)一步，所述研磨微粉為微米級顆粒。

進(jìn)一步，所述研磨微粉為若干種微粉材料配制而成。

進(jìn)一步，所述研磨微粉為金剛石微粉。

進(jìn)一步，所述高純水的電子級范圍大于16mΩ。

進(jìn)一步，所述懸浮劑為AQ?TTV研磨懸浮分散劑。

進(jìn)一步，所述金剛石微粉含量為30，高純水為2500，懸浮劑為100。

本發(fā)明用于研磨拋光的研磨液是一種簡易的、長效穩(wěn)定的研磨液，其適用于大部分微粉材料的配制，成本較低，配制過程簡單易操作，且在使用過程中沒有發(fā)現(xiàn)加工件損傷等問題。

具體實(shí)施方式

下面，對本發(fā)明進(jìn)行更全面的說明，示出了本發(fā)明的示例性實(shí)施例。然而，本發(fā)明可以體現(xiàn)為多種不同形式，并不應(yīng)理解為局限于這里敘述的示例性實(shí)施例。而是，提供這些實(shí)施例，從而使本發(fā)明全面和完整，并將本發(fā)明的范圍完全地傳達(dá)給本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員。

本發(fā)明公開了一種用于研磨拋光的研磨液適用于大部分硬質(zhì)材料的研磨拋光加工過程，可用于晶體材料、金屬材料等的研磨拋光。在高硬度材料的研磨拋光過程中，必需要選用合適的研磨液進(jìn)行加工，以提高加工效率，提高產(chǎn)品合格率，為此本發(fā)明使用研磨微粉、高純水、懸浮劑等材料，利用合適的配比，制作出了一種長效、穩(wěn)定、成本較低的研磨液。研磨微粉是微米級顆粒，在使用過程中，不能出現(xiàn)比微米級顆粒較大的物質(zhì)或顆粒出現(xiàn)，藥液配比極其重要，必須根據(jù)藥液配比范圍內(nèi)去實(shí)施。才能達(dá)到產(chǎn)品預(yù)期內(nèi)的最佳效果。

本發(fā)明一種用于研磨拋光的研磨液，其組分包括研磨微粉、高純水和懸浮劑，按重量計(jì)，其中研磨微粉含量為30-33，高純水含量為2500-2600，懸浮劑含量為100-110。該配比的范圍不要過大，如果過大會對所加工晶片產(chǎn)生不良因素，如；產(chǎn)生劃傷，粗糙度過大等后果。優(yōu)選配比為：按重量計(jì)，研磨微粉含量為30，高純水含量為2500，懸浮劑含量為100。

其中，高純水的電子級范圍大于16mΩ，懸浮劑為AQ?TTV研磨懸浮分散劑。研磨微粉可根據(jù)使用需求，采用多種微粉材料，研磨微粉可選擇為一種微粉或若干種微粉材料配制而成，本實(shí)施例中，研磨微粉使用金剛石微粉。

如采用金剛石微粉30g、高純水2500g、懸浮劑100g配制成研磨液，采用金剛石微粉33g、高純水2600g、懸浮劑110g配制成研磨液，采用金剛石微粉31g、高純水2550g、懸浮劑105g配制成研磨液等，配好后的研磨液呈乳白色粘稠液體。

金剛石微粉（或其他微粉）為磨削材料。懸浮劑AQ?TTV（研磨懸浮分散劑）水白色、無味，通常是由有效成份、分散劑、增稠劑、抗沉淀劑、消泡劑、防凍劑和水等組成，可使金剛石微粉顆粒比較均勻地分散于水中，形成一種顆粒細(xì)小的高懸浮、能流動的穩(wěn)定的液固態(tài)體系，潤滑液主要作用是為了減少加工件與磨削材料之間的摩擦力，使加工過程能夠流暢進(jìn)行。

本發(fā)明主要利用微粉的物理機(jī)械作用磨削加工件，達(dá)到低成本加工目的。金剛石研磨是一種精密加工，加工環(huán)境要清潔，所用工具及設(shè)備必須專用，不能混用。根據(jù)不同的加工材料，可改變藥液配比去適應(yīng)加工種類。金剛石研磨液是在研磨過程中磨料不間斷的滾動，所產(chǎn)生擠壓和切削作用，把凹凸不平的表面磨平。