[發(fā)明專利]低溫泵、低溫板結(jié)構(gòu)以及真空排氣方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310567475.4
• 申請日: 2013-11-13
• 公開（公告）號: CN103807140A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 高橋走
• 申請（專利權(quán)）人: 住友重機械工業(yè)株式會社
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08;F04B37/18;F04B37/14;F04B39/06;F04B39/00
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 溫旭;郝傳鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本申請主張基于2012年11月13日申請的日本專利申請第2012-249001號的優(yōu)先權(quán)。其申請的全部內(nèi)容通過參考援用于本說明書中。

本發(fā)明涉及一種低溫泵。

背景技術(shù)

低溫泵為通過冷凝或吸附將氣體分子捕捉到被冷卻成超低溫的低溫板上以進行排氣的真空泵。低溫泵一般用作實現(xiàn)半導(dǎo)體電路制造工藝等所要求的清潔的真空環(huán)境。低溫泵的應(yīng)用之一，例如像離子注入工序中，例如氫等非冷凝性氣體有時占應(yīng)排出氣體的一大半。非冷凝性氣體通過吸附在冷卻成超低溫的吸附區(qū)域才能夠被排出。

專利文獻1：日本特表2008-514849號公報

專利文獻2：日本特表昭63-501585號公報

專利文獻3：日本特開平1-92591號公報

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一方式的例示性目的之一在于提供一種用于非冷凝性氣體的高速排氣的低溫泵、低溫板結(jié)構(gòu)及真空排氣方法。

根據(jù)本發(fā)明的一方式提供一種如下低溫泵，該低溫泵，具備：

放射屏蔽件，該放射屏蔽件具備劃定屏蔽件開口的屏蔽件前端、與所述屏蔽件開口對置的屏蔽件底部及從所述屏蔽件前端向所述屏蔽件底部延伸的屏蔽件側(cè)部；及

低溫板總成，該低溫板總成被冷卻成比所述放射屏蔽件更低溫，且具備自所述屏蔽件開口沿朝向所述屏蔽件底部的方向排列的多個低溫板，

所述多個低溫板具備：

第1低溫板，該第1低溫板具備第1內(nèi)側(cè)端部及朝向所述屏蔽件側(cè)部的第1外側(cè)端部；及

第2低溫板，該第2低溫板具備第2內(nèi)側(cè)端部及朝向所述屏蔽件側(cè)部的第2外側(cè)端部，

自所述屏蔽件開口到所述第2內(nèi)側(cè)端部的距離比自所述屏蔽件開口到所述第1內(nèi)側(cè)端部的距離長，自所述屏蔽件開口到所述第2外側(cè)端部的距離比自所述屏蔽件開口到所述第1外側(cè)端部的距離長，

自所述屏蔽件開口到所述第2外側(cè)端部的距離比自所述屏蔽件開口到所述第1內(nèi)側(cè)端部的距離短。

根據(jù)本發(fā)明的一方式提供一種如下低溫板結(jié)構(gòu)，該低溫板結(jié)構(gòu)具備多個低溫吸著板，其中，

所述多個低溫吸著板各自具備在放射方向外側(cè)靠近低溫泵入口且在放射方向內(nèi)側(cè)遠離該入口的傾斜正面，該傾斜正面具備非吸附區(qū)域，

所述多個低溫吸著板以如下方式排列成嵌套狀，即相鄰2個低溫吸著板中接近所述低溫泵入口的一個低溫吸著板越過遠離所述低溫泵入口的另一個低溫吸著板的非吸附區(qū)域而向所述低溫泵入口側(cè)突出。

根據(jù)本發(fā)明的一方式提供一種如下低溫板結(jié)構(gòu)，該低溫板結(jié)構(gòu)具備多個低溫吸著板，其中，

所述多個低溫吸著板各自具備在放射方向外側(cè)靠近低溫泵入口且在放射方向內(nèi)側(cè)遠離該入口的傾斜正面，該傾斜正面具有朝向放射屏蔽件的傾斜角度，

所述多個低溫吸著板以如下方式排列成嵌套狀，即相鄰2個低溫吸著板中接近所述低溫泵入口的一個低溫吸著板越過遠離所述低溫泵入口的另一個低溫吸著板的上端而向所述低溫泵入口側(cè)突出。

根據(jù)本發(fā)明的一方式提供如下方法，即一種通過低溫泵來排出氫氣的真空排氣方法，其中，

所述低溫泵具備低溫板的嵌套狀排列，本方法具備：

通過低溫板反射進入到所述嵌套狀排列的間隙中的氫分子的工序；及

以其他低溫板吸附被反射的氫分子的工序。

另外，任意組合以上構(gòu)成要件或在方法、裝置、系統(tǒng)等之間相互置換本發(fā)明的構(gòu)成要件或表現(xiàn)形式，作為本發(fā)明的方式同樣有效。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，提供一種用于非冷凝性氣體的高速排氣的低溫泵、低溫板以及真空排氣方法。

附圖說明

圖1是示意表示本發(fā)明的一實施方式所涉及的低溫泵的剖視圖。

圖2是示意表示本發(fā)明的一實施方式所涉及的低溫低溫板的側(cè)視圖。

圖3是示意表示本發(fā)明的一實施方式所涉及的低溫板的立體圖。

圖4是用于說明圖2所示的低溫板的排列的圖。

圖5是用于說明氫分子撞到低溫板時的行跡的圖。

圖6是示意表示本發(fā)明的一實施方式所涉及的低溫板的一部分的圖。

圖7是用于說明本發(fā)明的一實施方式所涉及的氫氣的真空排氣方法的圖。

圖8是本發(fā)明的一實施方式所涉及的低溫泵的概略側(cè)視圖。

圖9是本發(fā)明的一實施方式所涉及的低溫泵的概略俯視圖。