[發(fā)明專利]低溫泵、低溫板結(jié)構(gòu)以及真空排氣方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310567475.4
• 申請(qǐng)日: 2013-11-13
• 公開（公告）號(hào): CN103807140A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高橋走
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 住友重機(jī)械工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): F04B37/08
• 分類號(hào): F04B37/08;F04B37/18;F04B37/14;F04B39/06;F04B39/00
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 溫旭;郝傳鑫

1.一種低溫泵，其特征在于，具備：

放射屏蔽件，該放射屏蔽件具備劃定屏蔽件開口的屏蔽件前端、與所述屏蔽件開口對(duì)置的屏蔽件底部及從所述屏蔽件前端向所述屏蔽件底部延伸的屏蔽件側(cè)部；及

低溫板總成，該低溫板總成被冷卻成比所述放射屏蔽件更低溫，且具備沿著自所述屏蔽件開口朝向所述屏蔽件底部的方向排列的多個(gè)低溫板，

所述多個(gè)低溫板具備：

第1低溫板，該第1低溫板具備第1內(nèi)側(cè)端部及朝向所述屏蔽件側(cè)部的第1外側(cè)端部；及

第2低溫板，該第2低溫板具備第2內(nèi)側(cè)端部及朝向所述屏蔽件側(cè)部的第2外側(cè)端部，

自所述屏蔽件開口到所述第2內(nèi)側(cè)端部的距離比自所述屏蔽件開口到所述第1內(nèi)側(cè)端部的距離長(zhǎng)，自所述屏蔽件開口到所述第2外側(cè)端部的距離比自所述屏蔽件開口到所述第1外側(cè)端部的距離長(zhǎng)，

自所述屏蔽件開口到所述第2外側(cè)端部的距離比自所述屏蔽件開口到所述第1內(nèi)側(cè)端部的距離短。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低溫泵，其特征在于，

所述多個(gè)低溫板還具備第3低溫板，該第3低溫板具備第3內(nèi)側(cè)端部及朝向所述屏蔽件側(cè)部的第3外側(cè)端部，

自所述屏蔽件開口到所述第3內(nèi)側(cè)端部的距離比自所述屏蔽件開口到所述第2內(nèi)側(cè)端部的距離長(zhǎng)，自所述屏蔽件開口到所述第3外側(cè)端部的距離比自所述屏蔽件開口到所述第2外側(cè)端部的距離長(zhǎng)，

自所述屏蔽件開口到所述第3外側(cè)端部的距離比自所述屏蔽件開口到所述第1內(nèi)側(cè)端部的距離短。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的低溫泵，其特征在于，

以從所述第2外側(cè)端部觀察所述第1低溫板時(shí)被所述第1低溫板覆蓋的角度范圍超過90度的方式而相對(duì)于所述第2外側(cè)端部配置所述第1低溫板。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的低溫泵，其特征在于，

所述多個(gè)低溫板各自具備傾斜區(qū)域，該傾斜區(qū)域以在離所述放射屏蔽件的中心軸近的部位遠(yuǎn)離所述屏蔽件開口且在離所述中心軸遠(yuǎn)的部位靠近所述屏蔽件開口的方式傾斜，且自所述中心軸的放射方向上的相應(yīng)低溫板的寬度的至少一半為所述傾斜區(qū)域。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的低溫泵，其特征在于，

基本上整個(gè)所述寬度就是所述傾斜區(qū)域。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的低溫泵，其特征在于，

所述低溫板總成具備用于支承所述多個(gè)低溫板的支承部件，

所述多個(gè)低溫板各自具備用于將相應(yīng)低溫板安裝到所述支承部件上的非傾斜區(qū)域。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的低溫泵，其特征在于，

所述多個(gè)低溫板各自具有倒錐臺(tái)形的形狀。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的低溫泵，其特征在于，

所述多個(gè)低溫板在無(wú)法從低溫泵外部辨識(shí)的部位具備吸附區(qū)域。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的低溫泵，其特征在于，

所述低溫板總成還具備設(shè)置于所述屏蔽件開口與所述多個(gè)低溫板之間的至少1個(gè)低溫板，

所述至少1個(gè)低溫板向所述屏蔽件前端或低溫泵容器前端傾斜。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的低溫泵，其特征在于，

所述至少1個(gè)低溫板具有傾斜角度，且該傾斜角度被調(diào)整為無(wú)法從低溫泵外部辨識(shí)所述至少1個(gè)低溫板的背面。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的低溫泵，其特征在于，

所述低溫板總成還具備設(shè)置于所述屏蔽件開口與所述多個(gè)低溫板之間的至少1個(gè)吸附板，

所述至少1個(gè)吸附板向所述屏蔽件側(cè)部延伸，

所述至少1個(gè)吸附板在背面具備用于吸附被所述多個(gè)低溫板反射的氣體分子的吸附區(qū)域。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的低溫泵，其特征在于，

所述多個(gè)低溫板中的至少1個(gè)低溫板上形成有能夠使氣體分子通過的狹縫。

13.根據(jù)權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的低溫泵，其特征在于，

在所述第1低溫板與所述第2低溫板之間形成的間隙的深度大于該間隙的入口的寬度。