[發明專利]基板輸送用機械手以及基板輸送方法

有效

• 申請號: 201310565625.8
• 申請日: 2013-11-13
• 公開（公告）號: CN103802120A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 立山優貴;伊藤泰則
• 申請（專利權）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: B25J15/08
• 分類號: B25J15/08
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

技術領域

本發明涉及基板輸送用機械手以及基板輸送方法。

背景技術

在專利文獻1中公開有用于支承玻璃基板的下表面的4個邊的緣部而輸送玻璃基板的基板輸送用機械手。

上述基板輸送用機械手借助機械手安裝用板安裝于自動輸送裝置的機械手安裝部。另外，基板輸送用機械手的臂部由以在玻璃基板的邊部的外側附近與各自的邊部平行且適合玻璃基板的尺寸的方式接合起來的多根構件構成。上述構件兼具輕量化以及高剛性化，由中空的方管材構成。另外，在上述構件上設有用于支承玻璃基板的下表面的緣部的基板把持部。

專利文獻：日本特開平11-254374號公報

發明內容

發明要解決的問題

然而，專利文獻1中公開的基板輸送用機械手的臂部由于是將多個構件接合起來構成的，因此不能夠變更尺寸（由多個構件繪成的俯視呈矩形的空間）。因此，產生不能夠利用專利文獻1的吸附襯墊處理與能夠支承的尺寸不同的尺寸的玻璃基板這樣的問題。

為了利用1臺基板輸送用機械手處理尺寸不同的玻璃基板，需要設置多個驅動部，該多個驅動部將構成臂部的多個構件分別支承為可自由移動，并使各構件獨立地移動。然而，若對每一個構件均設有將上述構件支承為自由移動的引導構件、設有多個驅動部，那么會產生基板輸送用機械手成為重型物且呈大型化這樣的問題。

本發明是鑒于這樣的情況而作出的，其目的在于提供能夠與基板的尺寸相對應地變更自身的尺寸并且小型且輕量的基板輸送用機械手以及基板輸送方法。

用于解決問題的方案

本發明的一技術方案為了達到上述目的，提供一種基板輸送用機械手，該基板輸送用機械手包括：第1對基板支承構件，它們平行配置；驅動部，其用于使上述第1對基板支承構件向相互接近的方向以及相互遠離的方向平行移動；第2對基板支承構件，它們在與上述第1對基板支承構件的縱長方向垂直的方向上平行配置；平行連桿構件，其用于將上述第1對基板支承構件與上述第2對基板支承構件連結起來，并且該平行連桿構件與上述第1對基板支承構件在上述相互接近的方向上的平行移動聯動而使上述第2對基板支承構件向相互接近的方向平行移動，且該平行連桿構件與上述第1對基板支承構件在上述相互遠離的方向上的平行移動聯動而使上述第2對基板支承構件向相互遠離的方向平行移動；第1保持部，其沿著上述第1對基板支承構件的縱長方向設置多個，并用于保持基板的下表面的緣部；以及第2保持部，其沿著上述第2對基板支承構件的縱長方向設置多個，并用于保持基板的下表面的緣部。

采用本發明的一技術方案，當利用驅動部使第1對基板支承構件向相互接近的方向水平地平行移動時，第2對基板支承構件借助平行連桿構件與該動作聯動地向相互接近的方向水平地平行移動。與該動作相反地，當利用驅動部使第1對基板支承構件向相互遠離的方向水平地平行移動時，第2對基板支承構件借助平行連桿構件與該動作聯動地向相互遠離的方向水平地平行移動。

即，采用本發明的一技術方案，由第1對基板支承構件與第2對基板支承構件繪成的矩形空間的尺寸、即用于保持基板的矩形空間的尺寸能夠從最大尺寸起到最小尺寸為止進行無級調整。因此，采用本發明的一技術方案的基板輸送用機械手，能夠與基板的尺寸相對應地變更該基板輸送用機械手的尺寸。另外，對于驅動部，由于只需設置1臺用于驅動第1對基板支承構件的驅動部即可，因此能夠提供小型且輕量的基板輸送用機械手。

基板由已調整為該基板的尺寸的基板輸送用機械手的第1保持部以及第2保持部保持。

本發明的一技術方案優選的是，上述驅動部包括：引導構件，其用于引導上述第1對基板支承構件而使上述第1對基板支承構件向相互接近的方向以及相互遠離的方向自由移動；驅動源，其用于向上述第1對基板支承構件傳遞動力而使上述第1對基板支承構件向上述相互接近的方向以及上述相互遠離的方向平行移動；以及支承構件，上述引導構件以及上述驅動源安裝于該支承構件。