[發(fā)明專(zhuān)利]基板輸送用機(jī)械手以及基板輸送方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310565625.8
• 申請(qǐng)日: 2013-11-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103802120A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 立山優(yōu)貴;伊藤泰則
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 旭硝子株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): B25J15/08
• 分類(lèi)號(hào): B25J15/08
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

1.一種基板輸送用機(jī)械手，其中，

該基板輸送用機(jī)械手包括：

第1對(duì)基板支承構(gòu)件，它們平行配置；

驅(qū)動(dòng)部，其用于使上述第1對(duì)基板支承構(gòu)件向相互接近的方向以及相互遠(yuǎn)離的方向平行移動(dòng)；

第2對(duì)基板支承構(gòu)件，它們?cè)谂c上述第1對(duì)基板支承構(gòu)件的縱長(zhǎng)方向垂直的方向上平行配置；

平行連桿構(gòu)件，其用于將上述第1對(duì)基板支承構(gòu)件與上述第2對(duì)基板支承構(gòu)件連結(jié)起來(lái)，并且該平行連桿構(gòu)件與上述第1對(duì)基板支承構(gòu)件在上述相互接近的方向上的平行移動(dòng)聯(lián)動(dòng)而使上述第2對(duì)基板支承構(gòu)件向相互接近的方向平行移動(dòng)，且該平行連桿構(gòu)件與上述第1對(duì)基板支承構(gòu)件在上述相互遠(yuǎn)離的方向上的平行移動(dòng)聯(lián)動(dòng)而使上述第2對(duì)基板支承構(gòu)件向相互遠(yuǎn)離的方向平行移動(dòng)；

第1保持部，其沿著上述第1對(duì)基板支承構(gòu)件的縱長(zhǎng)方向設(shè)置多個(gè)，并用于保持基板的下表面的緣部；以及

第2保持部，其沿著上述第2對(duì)基板支承構(gòu)件的縱長(zhǎng)方向設(shè)置多個(gè)，并用于保持基板的下表面的緣部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送用機(jī)械手，其中，

上述驅(qū)動(dòng)部包括：

引導(dǎo)構(gòu)件，其用于引導(dǎo)上述第1對(duì)基板支承構(gòu)件而使上述第1對(duì)基板支承構(gòu)件向相互接近的方向以及相互遠(yuǎn)離的方向自由移動(dòng)；

驅(qū)動(dòng)源，其用于向上述第1對(duì)基板支承構(gòu)件傳遞動(dòng)力而使上述第1對(duì)基板支承構(gòu)件向上述相互接近的方向以及上述相互遠(yuǎn)離的方向平行移動(dòng)；以及

支承構(gòu)件，上述引導(dǎo)構(gòu)件以及上述驅(qū)動(dòng)源安裝于該支承構(gòu)件。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板輸送用機(jī)械手，其中，

在上述驅(qū)動(dòng)部連結(jié)有用于使上述基板輸送用機(jī)械手從上述基板的接收位置移動(dòng)至交付位置的輸送部件。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的基板輸送用機(jī)械手，其中

在上述第1保持部以及上述第2保持部設(shè)有用于吸附保持上述基板的吸附構(gòu)件。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的基板輸送用機(jī)械手，其中，

在上述基板的上表面涂敷有樹(shù)脂液，上述基板的下表面的緣部由上述第1保持部以及上述第2保持部保持。

6.根據(jù)權(quán)利要求3～5中任一項(xiàng)所述的基板輸送用機(jī)械手，其中，

在上述驅(qū)動(dòng)部設(shè)有用于與上述基板的下表面抵接的抵接構(gòu)件。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板輸送用機(jī)械手，其中，

上述抵接構(gòu)件包括從上述驅(qū)動(dòng)部延伸出來(lái)的臂構(gòu)件和設(shè)于上述臂構(gòu)件并且用于與上述基板的下表面抵接的銷(xiāo)狀構(gòu)件。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板輸送用機(jī)械手，其中，

上述銷(xiāo)狀構(gòu)件以利用升降部件相對(duì)于上述臂構(gòu)件自由升降的方式設(shè)置于上述臂構(gòu)件。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板輸送用機(jī)械手，其中，

上述臂構(gòu)件以利用升降部件相對(duì)于上述驅(qū)動(dòng)部自由升降的方式設(shè)置于上述驅(qū)動(dòng)部。

10.一種基板輸送方法，其中，

該基板輸送方法使用權(quán)利要求3～9中任一項(xiàng)所述的基板輸送用機(jī)械手將基板從用于在上述基板的上表面涂敷樹(shù)脂的涂敷部輸送至用于使涂敷于上述基板的上表面的上述樹(shù)脂干燥的干燥部。