[發(fā)明專利]真空調(diào)壓系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310562443.5
• 申請(qǐng)日: 2013-11-12
• 公開（公告）號(hào): CN103807483A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 渡邊忠男;平林悠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: SMC株式會(huì)社
• 主分類號(hào): F16K31/04
• 分類號(hào): F16K31/04;F16K31/06;F16K37/00
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 黃永杰

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種真空調(diào)壓系統(tǒng)，其用于在物理化學(xué)機(jī)械等中化學(xué)反應(yīng)用的真空腔的減壓等。

背景技術(shù)

例如，在半導(dǎo)體的制造裝置中，物理化學(xué)處理在真空腔內(nèi)進(jìn)行，此時(shí)，對(duì)于連結(jié)對(duì)真空腔減壓的真空泵和該真空腔的流路的開閉，采用真空調(diào)壓用閥，通常，在真空腔內(nèi)，為抑制顆粒飛濺，通過控制器逐漸開放地控制該閥的開度，從而形成真空調(diào)壓系統(tǒng)。

該真空調(diào)壓用閥例如專利文獻(xiàn)1公開的那樣，閥殼在連結(jié)用于與真空腔和真空泵連接的兩個(gè)主端口的流路中設(shè)置有閥座，在該閥殼內(nèi)具有閥主體部和流體壓驅(qū)動(dòng)部，所述閥主體部具有：閥部件，其與上述閥座接觸分離來開閉上述流路；閥軸，其與該閥部件連結(jié)，貫通閥殼，該閥軸沿其軸線方向延伸并且前端到達(dá)流體壓驅(qū)動(dòng)部；復(fù)位彈簧，其將上述閥部件朝向閥座的關(guān)閉方向施力，所述流體壓驅(qū)動(dòng)部將安裝在上述閥軸的前端的受壓部件設(shè)置在受壓室內(nèi)，并連接有用于向該受壓室給排先導(dǎo)流體的先導(dǎo)端口，上述受壓室向上述閥部件作用有開放其的方向的先導(dǎo)流體壓，通過上述控制器進(jìn)行上述受壓部件的位置控制來調(diào)整上述閥部件的閥開度，以緩慢的速度使真空腔內(nèi)的真空壓力降低地進(jìn)行調(diào)整。

但是，在這種真空調(diào)壓系統(tǒng)中，存在真空腔以外的真空系統(tǒng)中的泄漏或配管的堵塞等的異常的情況下，不能以被控制的規(guī)定的閥開度維持所期望的排氣速度，該情況下，基于檢測真空腔的壓力的壓力傳感器的輸出與來自外部的設(shè)定壓力或其排氣速度變化等的控制指令的信號(hào)之間的比較，在上述控制器中，向進(jìn)一步打開閥開度的方向進(jìn)行反饋控制，但當(dāng)存在上述異常時(shí)，真空腔的壓力不降低，從而陷于如下這種狀態(tài)：通過上述反饋控制，閥開度逐漸達(dá)到最大，即使成為全開狀態(tài)，也不能達(dá)到所期望的排氣速度。而且，該狀態(tài)是只要不將任意的異常檢測構(gòu)件設(shè)置于控制器，就不能早期地檢測系統(tǒng)的異常，若真空調(diào)壓用閥在全開狀態(tài)下通過真空泵持續(xù)吸引來自腔的成為高溫的氣體時(shí)，則配管部損傷，或者進(jìn)而真空泵被破壞，系統(tǒng)的恢復(fù)需要很長的時(shí)間和很大的費(fèi)用。

為避免這樣的問題，在專利文獻(xiàn)2公開的真空壓力控制系統(tǒng)中，閥的開度達(dá)到被設(shè)定的規(guī)定的開度時(shí)，若設(shè)置在真空容器內(nèi)的壓力傳感器的輸出比預(yù)先設(shè)定的規(guī)定值大，則判斷為該真空容器的密閉狀態(tài)發(fā)生異常，能夠早期地檢測系統(tǒng)的異常。

但是，該專利文獻(xiàn)2記載的由真空壓力控制系統(tǒng)進(jìn)行的判斷是閥的開度達(dá)到被設(shè)定的精準(zhǔn)定位的開度時(shí)的正常或異常的判斷，不能判斷排氣是否持續(xù)地正常進(jìn)行。而且，關(guān)于上述精準(zhǔn)定位的開度和與其相關(guān)的壓力值的設(shè)定，大多含有經(jīng)驗(yàn)性的要素，不能簡單地設(shè)定與其相關(guān)的合理值，更不能把握開度隨時(shí)間的變化。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2007-146908號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2006-18767號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的技術(shù)課題是提供一種真空調(diào)壓系統(tǒng)，在控制上述真空調(diào)壓用閥的開度的控制器中，通過逐次檢測真空腔內(nèi)的當(dāng)前壓力值和目標(biāo)壓力值之差來進(jìn)行為避免陷入如下狀態(tài)的異常的檢測：即使上述真空調(diào)壓用閥的閥開度因系統(tǒng)的任何異常而達(dá)到全開狀態(tài)，上述真空腔內(nèi)也沒有達(dá)到所需的排氣速度的狀態(tài)，基于此，在判斷為在所控制的閥開度下所需的排氣速度的維持變得困難的情況下，作為系統(tǒng)存在異常進(jìn)行報(bào)告，能夠容易且可靠地報(bào)告隨時(shí)間進(jìn)行的異常判斷。

另外，在上述專利文獻(xiàn)1公開的真空調(diào)壓系統(tǒng)中，與后述的本發(fā)明的實(shí)施例同樣地，在用于對(duì)開閉操作閥部件15的流體壓驅(qū)動(dòng)部2的活塞16設(shè)定閥部件15的開度的閥開度調(diào)節(jié)部3中，每當(dāng)使調(diào)整部件41的前端與該活塞16相對(duì)或抵接時(shí)，將電動(dòng)馬達(dá)45的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動(dòng)并進(jìn)行該調(diào)整部件41的定位，但此時(shí)，通過作用于活塞16的先導(dǎo)空氣壓抵消復(fù)位彈簧23的作用力或作用于閥部件15的基于真空腔內(nèi)壓力的作用力，以始終大致恒定的力使活塞16和調(diào)整部件41抵接，由此，作為電動(dòng)馬達(dá)能夠使用不具有對(duì)抗上述作用力的驅(qū)動(dòng)力的小型的馬達(dá)。