[發明專利]真空調壓系統

有效

• 申請號: 201310562443.5
• 申請日: 2013-11-12
• 公開（公告）號: CN103807483A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 渡邊忠男;平林悠
• 申請（專利權）人: SMC株式會社
• 主分類號: F16K31/04
• 分類號: F16K31/04;F16K31/06;F16K37/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 黃永杰

1.一種真空調壓系統，

通過在閥殼內具有閥主體部和流體壓驅動部而構成真空調壓用閥，上述閥殼在用于連接真空腔和真空泵之間的流路中設置有閥座，所述閥主體部具有：閥部件，其與上述閥座接觸分離來開閉上述流路；閥軸，其與該閥部件連結，貫通上述閥殼，該閥軸沿其軸線方向延伸并且前端到達流體壓驅動部；和復位彈簧，其將上述閥部件朝向閥座的關閉方向施力，所述流體壓驅動部將安裝在上述閥軸的前端的受壓部件設置在受壓室中，并在該受壓室中設置有用于給排先導流體的先導端口，上述受壓室作用有開放上述閥部件的方向的流體壓，

在上述真空調壓用閥上連接有向受壓室的先導端口給排先導流體的電磁閥裝置，并且附加設置有控制器，該控制器基于檢測上述閥部件的位置的位置傳感器的輸出信號、由真空腔的壓力傳感器檢測的真空壓力的輸出信號、以及從外部輸入的控制指令，控制上述電磁閥裝置的驅動，

該真空調壓系統的特征在于，

在上述控制器中保存有通過上述真空泵進行排氣的真空腔的壓力設定值及抽真空的速度信息，

使該控制器具有以下功能：在排氣控制的各控制周期中，通過上述受壓部件的位置控制對閥部件的開度進行反饋控制，以使得上述真空腔成為基于上述壓力設定值及抽真空的速度信息所得到的目標壓力，并且

賦予該控制器以下功能：在上述各控制周期中，檢測由上述壓力傳感器得到的真空腔內的當前壓力值和目標壓力值之差，將其脫離對于該目標壓力值設定的允許范圍的情況作為異常進行報告。

2.如權利要求1所述的真空調壓系統，其特征在于，使上述控制器具有以下方式進行控制的功能：在對通過真空腔的抽真空使該真空腔產生壓力變化的情況進行確認的監視時間經過之后，開始上述排氣控制的周期性工作。

3.如權利要求1或2所述的真空調壓系統，其特征在于，使上述控制器具有以下方式進行控制的控制功能：作為上述真空泵的抽真空的速度信息，保存有設定速度和設定加速度，在排氣控制的周期性工作開始之后，通過上述設定加速度使各控制周期中的真空壓力的變化的速度緩慢地增加，經過真空腔的抽真空工作平穩地開始的加速度控制區域，真空壓力的變化速度達到上述設定速度之后，維持該設定速度。

4.如權利要求1或2所述的真空調壓系統，其特征在于，

在上述真空調壓用閥中具有閥開度調節部，該閥開度調節部具有：調整部件，其與受壓部件的背后抵接并進行該受壓部件的停止位置的定位；和電動馬達，其將該調整部件通過旋轉-直線運動轉換機構無級地前進后退驅動到任意的位置，

使上述控制器具有以下功能：控制上述電動馬達及上述電磁閥裝置的驅動，進行上述調整部件的位置控制，以便基于上述控制指令向電動馬達供給所需的驅動電流，使通過檢測上述電動馬達的旋轉量的編碼器的輸出而被賦予的調整部件的位置成為指定的位置。

5.如權利要求4所述的真空調壓系統，其特征在于，

在上述電動馬達上附加設置檢測其旋轉負荷的負荷檢測構件，

每當上述控制器進行上述調整部件的位置控制時，檢測通過該負荷檢測構件的輸出而被賦予的、與上述調整部件和受壓部件的推壓力相應的電動馬達的旋轉負荷是否處于被設定的上限值和下限值之間，在其脫離該上下限值之間的情況下，進行將控制信號向電磁閥裝置輸出的先導流體壓控制，以向上述受壓室供給用于以該上下限值之間的力推壓受壓部件和調整部件的先導流體壓，由此，對上述控制器賦予以下功能：在以上述上下限值之間的力推壓上述受壓部件和調整部件的狀態下使電動馬達工作。

6.如權利要求5所述的真空調壓系統，其特征在于，在上述先導流體壓控制下產生的先導流體壓被設定成產生與所述復位彈簧的作用力、作用于閥部件的基于真空腔內壓力的作用力、以及始終作用在上述調整部件和受壓部件之間的偏壓量的力之和相當的推壓力。

7.如權利要求4所述的真空調壓系統，其特征在于，

將預先求出的所述復位彈簧的作用力、作用于閥部件的基于真空腔內壓力的作用力、以及始終作用在調整部件和受壓部件之間的偏壓量的力根據與上述受壓部件的位置的關聯性進行函數化，并預保存在上述控制器中，

使上述控制器具有以下功能：每當進行上述調整部件的位置控制時，對該電磁閥裝置輸出控制信號，以從電磁閥裝置向上述流體壓驅動部的受壓室作為先導流體壓輸出與基于上述函數化的情況所得到的受壓部件的位置相應的流體壓。