[發明專利]一種光刻膠剝離液

有效

• 申請號: 201310561003.8
• 申請日: 2013-11-12
• 公開（公告）號: CN104635438B
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發明（設計）人: 劉兵;何春陽;孫廣勝;黃達輝
• 申請（專利權）人: 安集微電子科技（上海）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 北京大成律師事務所 11352
• 代理人: 李佳銘

1.一種光刻膠剝離液，由季胺氫氧化物，環氧類有機溶劑，以及除所述環氧類有機溶劑以外的其它溶劑組成，且其中所述環氧類有機溶劑是指含有結構式I的環氧有機溶劑：

所述的環氧類有機溶劑為環氧丙烷、1,2-環氧丁烷、縮水甘油、正丁基縮水甘油醚、異丙基縮水甘油醚、苯基縮水甘油醚、萘基縮水甘油醚、烯丙基縮水甘油醚、呋喃甲基縮水甘油醚、乙二醇二縮水甘油醚、1,4-丁二醇二縮水甘油醚、1,6-己二醇二縮水甘油醚、間苯二酚二縮水甘油醚、[(2-甲氧基苯氧基)甲基]環氧乙烷、雙酚A二縮水甘油醚、甘油三(1,2-環氧)丙醚和季戊四醇縮水甘油醚的一種或多種，

所述的季胺氫氧化物為選自四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨、十六烷基三甲基氫氧化銨和芐基三甲基氫氧化銨中的一種或多種。

2.如權利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述的環氧類有機溶劑的含量為質量百分比0.1-30％。

3.如權利要求2所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述的環氧類有機溶劑的含量為質量百分比0.5-20％。

4.如權利要求2所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述的環氧類有機溶劑的含量為質量百分比1％-15％。

5.如權利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述季胺氫氧化物的含量為質量百分比0.1-6％。

6.如權利要求5所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述季胺氫氧化物的含量為質量百分比0.5-3.5％。

7.如權利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述的其它溶劑為亞砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺和醇醚中的一種或多種。

8.如權利要求7所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述的亞砜為二甲基亞砜和甲乙基亞砜中的一種或多種；所述的砜為甲基砜、環丁砜中的一種或多種；所述的咪唑烷酮為2-咪唑烷酮和1,3-二甲基-2-咪唑烷酮中的一種或多種；所述的吡咯烷酮為N-甲基吡咯烷酮和N-環己基吡咯烷酮中的一種或多種；所述的咪唑啉酮為1,3-二甲基-2-咪唑啉酮；所述的酰胺為二甲基甲酰胺和二甲基乙酰胺中的一種或多種；所述的醇醚為二乙二醇單丁醚和二丙二醇單甲醚中的一種或多種。

9.如權利要求1所述的光刻膠剝離液，其特征在于，所述的其它溶劑的含量為質量百分比64-99.8％。

10.一種如權利要求1-9任一項所述的光刻膠剝離液在去除晶圓上的光刻膠及其殘留物的應用。