[發(fā)明專利]透光設(shè)備及具有所述透光設(shè)備的退火設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310560178.7
• 申請日: 2013-11-12
• 公開（公告）號: CN103801821A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁相熙;李基雄;權(quán)五成;金圣進(jìn)
• 申請（專利權(quán)）人: AP系統(tǒng)股份有限公司;三星顯示有限公司
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/08;H01L21/324
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明;張洋

1.一種透光設(shè)備，其特征在于，包括：

光可穿透的透射窗；

提供于所述透射窗的邊緣上的框架；以及

多個(gè)夾鉗，其用于將壓力施加到所述框架以緊密地固定所述透射窗，

其中所述夾鉗包括本體、插入于所述本體中的彈性部件及經(jīng)由所述彈性部件穿過所述本體且從所述本體的下端突出的緊固件部件，且

所述彈性部件將由所述緊固件部件所施加的壓力控制在所要范圍內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的透光設(shè)備，其特征在于，所述框架包括提供于所述透射窗的下部部分中的下部框架，以及提供于所述透射窗的上部部分中的上部框架。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的透光設(shè)備，其特征在于，至少一緩沖部件進(jìn)一步提供于所述下部框架與所述透射窗之間以及所述上部框架與所述透射窗之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的透光設(shè)備，其特征在于，所述夾鉗進(jìn)一步包括從所述本體的上部部分的部分延伸且與所述上部框架接觸的延伸部分。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的透光設(shè)備，其特征在于，外殼經(jīng)進(jìn)一步提供以容納所述透射窗及所述框架于其中，且所述夾鉗提供于所述外殼上以插入并耦合到所述外殼上的孔中。

6.一種退火設(shè)備，包括：

具有內(nèi)部空間的腔室；

襯底移動單元，其提供于所述腔室的內(nèi)部下部部分中以使襯底在所要方向上移動；以及

透光單元，其提供于所述腔室的外部上部部分中以透射從外部輻照的光，使得所述光輻照于所述襯底上，

其中所述透光單元包括多個(gè)夾鉗，所述夾鉗用于將壓力施加到提供于光可穿透的透射窗的邊緣上的框架以緊密地固定所述透射窗，

所述夾鉗包括本體、插入于所述本體中的彈性部件及經(jīng)由所述彈性部件穿過所述本體且從所述本體的下端突出的緊固件部件，且

所述彈性部件將由所述緊固件部件所施加的壓力控制在所要范圍內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的退火設(shè)備，其特征在于，所述襯底移動單元還包括：

第一平臺，其配置于所述腔室中且經(jīng)配置以在一個(gè)水平方向上往復(fù)運(yùn)動；

第二平臺，其提供于所述第一平臺上且經(jīng)配置以在正交于所述一個(gè)水平方向的另一水平方向上往復(fù)運(yùn)動；以及

支撐板，其配置于所述第二平臺上且經(jīng)配置以將經(jīng)受熱處理的襯底安置于其頂部表面上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的退火設(shè)備，其特征在于，水平旋轉(zhuǎn)的第三平臺及垂直移動的第四平臺中的至少一者進(jìn)一步提供于所述第二平臺與所述支撐板之間。