[發明專利]透光設備及具有所述透光設備的退火設備

有效

• 申請號: 201310560178.7
• 申請日: 2013-11-12
• 公開（公告）號: CN103801821A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 梁相熙;李基雄;權五成;金圣進
• 申請（專利權）人: AP系統股份有限公司;三星顯示有限公司
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/08;H01L21/324
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明;張洋

技術領域

本發明涉及一種退火設備。尤其涉及一種透光(light?penetration)設備及具有所述透光設備的退火設備，在所述透光設備中，激光束可穿透的透射窗(transmission?window)可固定而無破損。

背景技術

薄膜晶體管(TFT)被用作用于獨立地驅動顯示裝置中的像素中的每一者的電路，顯示裝置例如液晶顯示器(LCD)或有機電致發光(Electro?Luminescence；EL)。此薄膜晶體管包括柵極電極、主動層(active?layer)、源極電極及柵極絕緣膜。

在此薄膜晶體管中，主動層充當柵極電極與源極/漏極電極之間的通道。已使用非晶硅或結晶硅來形成此主動層。然而，非晶硅在制造大屏幕液晶顯示器時具有許多限制，這是因為非晶硅具有低的電子遷移率。因此，近來的研究注重于開發出使用結晶硅來形成主動層的方法。直接氣相沉積結晶硅以及氣相沉積非晶硅之后接著結晶化被用作形成結晶硅的方法。

順序橫向凝固(sequential?lateral?solidification；SLS)及準分子激光退火(excimer?laser?annealing；ELA)被用作使非晶硅結晶的方法。在SLS方法中，晶體可通過派生橫向生長(deriving?lateral?growth)經形成為大致單晶體，且電子遷移率變大。SLS方法的劣勢在于：經輻照激光束具有高能源依存性而減小工藝裕度(process?margin)，且工藝很大程度上受平臺(stage)的精度影響，襯底安置(seat)在所述平臺上而在整個襯底上得到非均勻結果。在ELA方法中，準分子激光經瞬間輻照，使得非晶硅被加熱到約1400℃以派生結晶及垂直生長。ELA方法與SLS方法相比較具有不良的結晶性質，但可獲得襯底上的均勻結果。因此，作為用于大量生產的方法而積極地研究ELA。此外，在第10-0908325號KR專利中例示了激光加工方法。

為了使用ELA方法使非晶硅結晶，從提供于腔室之外的激光輻照裝置將激光輻照于腔室內的襯底上。即，襯底置于腔室內，腔室在其上部部分上具有開口，透光設備緊密地耦合到所述開口，且從外部經由透光設備將激光輻照于腔室內。并且，透光設備具有提供于透射窗上的框架，且框架使用多個夾鉗(clamps)將壓力施加到多個區域以固定透射窗。

然而，因為常規夾鉗使用螺栓(bolts)施加壓力，所以無法控制透射窗的緊固強度，即螺栓的夾緊強度。因此，透射窗可能受到損壞。即，歸因于螺栓的夾緊力，框架將過度高于擰緊強度的壓力施加到透射窗，從而導致對應區域中的透射窗的破損。

發明內容

技術問題

本發明的目標為提供一種能夠防止由夾鉗造成透射窗破損的透光設備，以及一種具有所述透光設備的退火設備。

本發明的目標為提供一種能夠通過抑制夾鉗的過度夾緊而防止透射窗破損的透光設備，以及一種具有所述透光設備的退火設備。

技術解決方案

根據一個方面，一種透光設備包括：光可穿透的透射窗(transmission?window?transparent?to?light)；提供于所述透射窗的邊緣上的框架；以及多個夾鉗，其用于將壓力施加到所述框架以緊密地固定所述透射窗；其中所述夾鉗包括本體、插入于所述本體中的彈性部件及經由所述彈性部件穿過所述本體且從所述本體的下端突出的緊固件部件，且所述彈性部件將由所述緊固件部件所施加的壓力控制在所要范圍內。

所述框架包括提供于所述透射窗的下部部分中的下部框架，以及提供于所述透射窗的上部部分中的上部框架。

至少一緩沖部件進一步提供于所述下部框架及上部框架與所述透射窗之間。

所述夾鉗進一步包括從所述本體的上部部分的部分延伸且與所述上部框架接觸的延伸部分。

外殼經進一步提供以容納所述框架及所述透射窗于其中，且所述夾鉗提供于所述外殼上以插入并耦合到所述外殼上的孔中。

根據另一方面，一種退火設備包括：具有內部空間的腔室；襯底移動單元，其提供于所述腔室的內部下部部分中以使襯底在所要方向上移動；以及透光單元，其提供于所述腔室的外部上部部分中以透射從外部輻照的光，使得所述光輻照于所述襯底上；其中所述透光單元包括多個夾鉗，所述夾鉗用于將壓力施加到提供于光可穿透的透射窗的邊緣上的框架以緊密地固定所述透射窗，所述夾鉗包括本體、插入于所述本體中的彈性部件及經由所述彈性部件穿過所述本體且從所述本體的下端突出的緊固件部件，且所述彈性部件將由所述緊固件部件所施加的壓力控制在所要范圍內。