[發(fā)明專利]襯底支撐模塊

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310560032.2
• 申請(qǐng)日: 2013-11-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103806085A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金賢中;李基雄;金圣進(jìn);車恩熙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: AP系統(tǒng)股份有限公司;三星顯示有限公司
• 主分類號(hào): C30B1/02
• 分類號(hào): C30B1/02;C30B29/06
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種襯底支撐模塊(module)，尤其涉及一種能防止一個(gè)裝載和卸載襯底用的支撐物受到損壞并且能夠延長(zhǎng)支撐物的使用壽命的襯底支撐模塊。

背景技術(shù)

總體上，一種用于對(duì)襯底進(jìn)行退火的準(zhǔn)分子激光退火(Excimer?Laser?Annealing，ELA)設(shè)備包括：腔室；襯底支撐模塊，所述襯底支撐模塊放置在所述腔室內(nèi)部并且襯底安放并支撐在所述襯底支撐模塊上面；激光產(chǎn)生器，所述激光產(chǎn)生器放置在所述腔室外部并且產(chǎn)生激光束；透射窗口，所述透射窗口被提供在所述腔室的一個(gè)側(cè)壁上，例如被提供在上壁上，并且供激光束穿過(guò)；以及反射器，所述反射器被提供在激光產(chǎn)生器與透射窗口之間，在所述腔室外部。此外，所述襯底支撐模塊包括：平臺(tái)(stage)，襯底安放在所述平臺(tái)上；提升桿(lift?bar)，所述提升桿穿過(guò)(through)所述平臺(tái)垂直地安裝，并且經(jīng)配置以裝載或卸載所述襯底；以及抬升板(elevation?plate)，所述抬升板用于升高和降低所述提升桿?？傮w上，所述提升桿是由金屬制成的。

此外，在執(zhí)行升高或降低操作時(shí)，所述襯底受到提升銷的支撐，以便在平臺(tái)上裝載襯底或者卸載被安放在平臺(tái)上的襯底。但是，有一個(gè)問(wèn)題是，當(dāng)裝載襯底的金屬提升杠被升高或降低時(shí)，這些提升杠會(huì)在襯底上造成刮擦。

為了避免這個(gè)問(wèn)題，整個(gè)提升桿都由聚合樹(shù)脂(polymer?resin)制成。但是，當(dāng)使用聚合樹(shù)脂制成的提升桿升高或降低襯底時(shí)，提升桿會(huì)彎曲，并且與平臺(tái)發(fā)生摩擦。因此，提升杠必須定期更換，這是一項(xiàng)麻煩的工作。

此外，支撐襯底的提升杠總體上被穩(wěn)固地固定住，不會(huì)發(fā)生移動(dòng)。在升高或降低提升杠以便裝載襯底的過(guò)程中，提升杠會(huì)受到襯底負(fù)荷或外力在左右方向上的力或沖擊，并且因此提升杠可能會(huì)彎曲。

KR專利公開(kāi)案No.10-2004-0115542揭示了一些由一個(gè)主體形成的提升杠，這個(gè)主體穿過(guò)基座(susceptor)使上部頂端升高和降低。在這份專利中，如上文所描述，因?yàn)樗鎏嵘鼙环€(wěn)固地固定住，不會(huì)發(fā)生移動(dòng)，所以提升杠會(huì)受到襯底負(fù)荷或外力在左右方向上的力或沖擊，并且提升杠因此可能會(huì)彎曲。

現(xiàn)有技術(shù)

韓國(guó)專利公開(kāi)案No.10-2004-0115542

發(fā)明內(nèi)容

技術(shù)難題

本發(fā)明提供一種能防止一個(gè)裝載和卸載襯底用的支撐物受到損壞并且能夠延長(zhǎng)支撐物的使用壽命的襯底支撐模塊。

此外，本發(fā)明提供一種可以可移動(dòng)地支撐一個(gè)支撐物的襯底支撐模塊。

技術(shù)解決方案

根據(jù)本發(fā)明，一種襯底支撐模塊包括：平臺(tái)，所述平臺(tái)用于將襯底安放在上面；支撐物，所述支撐物被安裝成使得支撐物的至少一部分垂直地穿過(guò)所述平臺(tái)，并且所述支撐物經(jīng)配置以通過(guò)升高和降低運(yùn)動(dòng)將襯底裝載到平臺(tái)上和從平臺(tái)上卸載襯底；下部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述下部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)放置在所述平臺(tái)內(nèi)部，并且具有第一下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第二下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，第一下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第二下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件面向彼此安裝，支撐物安置在中央，并且第一下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第二下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件經(jīng)配置以抵靠所述支撐物旋轉(zhuǎn)；以及第一上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述第一上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)放置在所述平臺(tái)內(nèi)部的下部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上方，并且具有第一上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第二上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，第一上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第二上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件面向彼此安裝，支撐物安置在中央，并且第一上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第二上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件經(jīng)配置以抵靠所述支撐物旋轉(zhuǎn)；其中所述支撐物包括由金屬制成的下部主體和耦合到所述下部主體的上部部分并且用于支撐所述襯底的上部主體，并且其中所述上部主體由聚合物制成。

所述襯底支撐模塊進(jìn)一步包括：第二上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述第二上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)放置在所述平臺(tái)內(nèi)部的下部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與第一上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)之間，并且具有第三上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第四上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，第三上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第四上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件面向彼此安裝，支撐物安置在中央，并且第三上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第四上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件經(jīng)配置以抵靠所述支撐物旋轉(zhuǎn)。

第一上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的第一上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第二上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件中的每一者以及第二上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的第三旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第四旋轉(zhuǎn)構(gòu)件中的每一者的尺寸小于下部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的第一下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第二下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的尺寸。

下部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的第一下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第二下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件中的每一者、第一上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的第一上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第二上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件中的每一者以及第二上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的第三旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第四旋轉(zhuǎn)構(gòu)件中的每一者均為軸承。