[發(fā)明專利]襯底支撐模塊

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310560032.2
• 申請(qǐng)日: 2013-11-12
• 公開（公告）號(hào): CN103806085A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金賢中;李基雄;金圣進(jìn);車恩熙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: AP系統(tǒng)股份有限公司;三星顯示有限公司
• 主分類號(hào): C30B1/02
• 分類號(hào): C30B1/02;C30B29/06
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

1.一種襯底支撐模塊，包括：

平臺(tái)，用于在上面安放襯底；

支撐物，經(jīng)安裝從而使得所述支撐物的至少一部分垂直地穿過(guò)所述平臺(tái)，并且所述支撐物經(jīng)配置以通過(guò)升高和降低運(yùn)動(dòng)在所述平臺(tái)上裝載和卸載所述襯底；

下部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，放置在所述平臺(tái)內(nèi)部，并且具有第一下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第二下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，所述第一下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和所述第二下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件面向彼此安裝，所述支撐物安置在中央，并且所述第一下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第二下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件經(jīng)配置以抵靠所述支撐物旋轉(zhuǎn)；以及

第一上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，放置在所述平臺(tái)內(nèi)部的所述下部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上方，并且具有第一上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第二上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，所述第一上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和所述第二上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件面向彼此安裝，所述支撐物安置在中央，并且所述第一上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和所述第二上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件經(jīng)配置以抵靠所述支撐物旋轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底支撐模塊，其特征在于，所述支撐物包括下部主體和上部主體，所述下部主體由金屬制成，所述上部主體耦合到所述下部主體的上部部分并且經(jīng)配置以支撐所述襯底，并且所述上部主體由聚合物制成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的襯底支撐模塊，還包括：第二上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，放置在所述平臺(tái)內(nèi)部的所述下部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與所述第一上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)之間，并且具有第三上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和第四上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件，所述第三上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和所述第四上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件面向彼此安裝，所述支撐物安置在中央，并且所述第三上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和所述第四上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件經(jīng)配置以抵靠所述支撐物旋轉(zhuǎn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的襯底支撐模塊，其特征在于，所述第一上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的所述第一上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和所述第二上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件中的每一者以及所述第二上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的所述第三旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和所述第四旋轉(zhuǎn)構(gòu)件中的每一者的尺寸小于所述下部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的所述第一下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和所述第二下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件的尺寸。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的襯底支撐模塊，其特征在于，所述下部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的所述第一下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和所述第二下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件中的每一者、所述第一上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的所述第一上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和所述第二上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件中的每一者以及所述第二上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的所述第三旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和所述第四旋轉(zhuǎn)構(gòu)件中的每一者均為軸承。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底支撐模塊，還包括第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)的一個(gè)末端耦合到所述第一下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和所述第二下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件中的任一者，以便為所述第一下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和所述第二下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件中的所述任一者提供間隙以容許移動(dòng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的襯底支撐模塊，其特征在于，所述第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括彈簧，其中所述彈簧的一個(gè)末端耦合到所述第一下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件和所述第二下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件中的任一者。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的襯底支撐模塊，其特征在于，所述下部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的所述第一下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件、所述第一上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的所述第一上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件以及所述第二上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的所述第三上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件在與所述支撐物的一側(cè)接觸的同時(shí)旋轉(zhuǎn)，而所述下部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的所述第二下部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件、所述第一上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的所述第二上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件以及所述第二上部旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的所述第四上部旋轉(zhuǎn)構(gòu)件在與所述支撐物的另一側(cè)接觸的同時(shí)旋轉(zhuǎn)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底支撐模塊，還包括第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)，其中所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)耦合到所述支撐物的下部部分，以便支撐所述支撐物，并且所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)為所述支撐物提供間隙以容許移動(dòng)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的襯底支撐模塊，其特征在于，所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括：固定塊體，所述支撐物的所述下部部分插入到所述固定塊體中；以及可移動(dòng)構(gòu)件，所述可移動(dòng)構(gòu)件耦合到所述固定塊體的下部部分從而容許所述固定塊體移動(dòng)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的襯底支撐模塊，其特征在于，所述固定塊體包括：第一塊體，所述第一塊體被安裝成與所述支撐物的所述下部部分的一側(cè)接觸；以及第二塊體，所述第二塊體面向所述第一塊體，并且被安裝成與所述支撐物的另一側(cè)接觸，并且所述可移動(dòng)構(gòu)件耦合到所述第一塊體和所述第二塊體中的任一者的下部部分。

12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的襯底支撐模塊，其特征在于，所述第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)的所述可移動(dòng)構(gòu)件插入到所述固定塊體的所述下部部分中，并且包括一個(gè)球珠，所述球珠被安裝成使得所述球珠的至少一部分從所述固定塊體的下端突出。