[發(fā)明專利]一種定量修補裝置及其自動圖像修補方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310558815.7
• 申請日: 2013-11-12
• 公開（公告）號: CN104638204A
• 公開（公告）日: 2015-05-20
• 發(fā)明（設計）人: 楊旸;劉洋;胡賢夫;陳寧;施文峰
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H04N7/18
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 程殿軍

1.一種定量修補裝置，其特征在于，其包括有激光源、衰減器、鏡頭，及比對控制單元，該激光源電連接該比對控制單元，該激光源發(fā)出的激光經由該衰減器及鏡頭入射至待測基底表面，該待測基底表面具有異物，該異物具有一定高度，該比對控制單元獲取該異物及異物周圍區(qū)域的待測基底表面的圖像，并根據(jù)圖像中異物處灰度值與周圍區(qū)域灰度值比對后的差值控制該激光源輸出與停止，該激光源輸出激光時對異物進行轟擊以修補該待測基底表面。

2.如權利要求1所述的定量修補裝置，其特征在于，所述比對控制單元包括光源、攝像機及與攝像機連接的計算機，該計算機同時連接所述激光源，該光源發(fā)出的光束照射到該待測基底表面，經該待測基底表面反射后由該攝像機接收，并獲得異物及異物周圍區(qū)域的待測基底表面的圖像，該攝像機將該圖像傳輸給該計算機，由該計算機對該圖像中異物處灰度值與周圍區(qū)域灰度值比對并控制該激光源輸出激光與停止。

3.如權利要求2所述的定量修補裝置，其特征在于，所述衰減器與鏡頭之間的光路上設有分光鏡，該分光鏡的反射面一側設有自動對焦單元，由所述衰減器出射的激光直接透過該分光鏡入射至待測基底表面，并由待測基底表面反射后再由分光鏡反射至該自動對焦單元。

4.如權利要求2所述的定量修補裝置，其特征在于，所述衰減器與所述鏡頭之間的光路上設置有反射鏡，所述激光源與所述衰減器的光軸同該反射鏡的法線呈45°角。

5.如權利要求4所述的定量修補裝置，其特征在于，所述反射鏡與所述鏡頭之間的光路上設置有分光鏡，所述反射鏡的鏡面與該分光鏡的鏡面垂直，且由所述反射鏡反射的激光直接由該分光鏡透射至待測基底表面。

6.一種利用權利要求2-5任意一項所述的定量修補裝置實現(xiàn)的自動圖像修補方法，其特征在于，該方法包括：

步驟一、獲取待測基底表面的異物及異物周圍區(qū)域的待測基底表面的圖像，光源發(fā)出的光束照射到待測基底表面，經過待測基底表面反射后由攝像機接收，攝像機將獲取的異物及異物周圍區(qū)域的待測基底表面的圖像傳輸給計算機，計算機得到需要加工的區(qū)域的圖形；

步驟二、對步驟一中獲取的圖像進行掃描，掃描至灰度值相同的區(qū)域，計算機控制激光源不進行激發(fā)，該區(qū)域為異物周圍待測基底便面的正常區(qū)域；當掃描到達灰度值不同的區(qū)域，計算機控制激光源輸出激光開始進行轟擊，該轟擊區(qū)域為待修補的異物區(qū)域；

步驟三、在完成一次掃描后，重復步驟二與步驟三，攝像機重新拍攝圖像并將新的灰度值傳輸?shù)接嬎銠C，計算機進行分析并進行第二次掃描轟擊、第三次掃描轟擊直至修補完成，形成自動修補，當修補區(qū)域灰度值與正常區(qū)域灰度值相同，或修補區(qū)域灰度值初次小于正常區(qū)域灰度值或修補區(qū)域灰度值初次大于正常區(qū)域灰度值，或修補區(qū)域灰度值初次出現(xiàn)拐點時修補完成。