[發明專利]一種定量修補裝置及其自動圖像修補方法

在審

• 申請號: 201310558815.7
• 申請日: 2013-11-12
• 公開（公告）號: CN104638204A
• 公開（公告）日: 2015-05-20
• 發明（設計）人: 楊旸;劉洋;胡賢夫;陳寧;施文峰
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H04N7/18
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 程殿軍

技術領域

?本發明有關一種修補裝置及修補方法，特別是指一種能應對多種復雜狀況，如膜層厚度不均，異物尺寸不定等的定量修補裝置及其自動圖像修補方法。

背景技術

與LCD簡單的Layout（布局布線）設計不同，LTPS-AMOLED（Low?Temperature?Poly-silicon-Active?Matrix/Organic?Light?Emitting?Diode，低溫多晶硅技術-有源矩陣有機發光二極管面板）繁復的Over?layer及整板ELA后柵極線路變化會對像素顯示造成極大影響，因此需要進行選擇性修補。

目前實現選擇性修補的方式主要有兩種：第一，納秒級激光向皮秒級激光甚至飛秒級激光發展，通過減小脈沖寬度，降低每個脈沖的能量來實現選擇性修補；第二，通過將一束激光分解成多束激光而降低每一束激光的能量來實現選擇性修補。但是，以上所有方式都是基于減小激光單束能量或每個脈沖的能量實現選擇性修補，只能依靠經驗去判斷和設定能量，無法真正應對多種復雜狀況，如膜層厚度不均，異物尺寸不定等，無法做到高可靠度的選擇性修補。

發明內容

有鑒于此，本發明的主要目的在于提供一種利用灰度的實時監測進行修補的定量修補裝置及其自動圖像修補方法

為達到上述目的，本發明提供一種定量修補裝置，其包括有激光源、衰減器、鏡頭，及比對控制單元，該激光源電連接該比對控制單元，該激光源發出的激光經由該衰減器及鏡頭入射至待測基底表面，該待測基底表面具有異物，該異物具有一定高度，該比對控制單元獲取該異物及異物周圍區域的待測基底表面的圖像，并根據圖像中異物處灰度值與周圍區域灰度值比對后的差值控制該激光源輸出與停止，該激光源輸出激光時對異物進行轟擊以修補該待測基底表面。

所述比對控制單元包括光源、攝像機及與攝像機連接的計算機，該計算機同時連接所述激光源，該光源發出的光束照射到該待測基底表面，經該待測基底表面反射后由該攝像機接收，并獲得異物及異物周圍區域的待測基底表面的圖像，該攝像機將該圖像傳輸給該計算機，由該計算機對該圖像中異物處灰度值與周圍區域灰度值比對并控制該激光源輸出激光與停止。

所述衰減器與鏡頭之間的光路上設有分光鏡，該分光鏡的反射面一側設有自動對焦單元，由所述衰減器出射的激光直接透過該分光鏡入射至待測基底表面，并由待測基底表面反射后再由分光鏡反射至該自動對焦單元。

所述衰減器與所述鏡頭之間的光路上設置有反射鏡，所述激光源與所述衰減器的光軸同該反射鏡的法線呈45°角。

所述反射鏡與所述鏡頭之間的光路上設置有分光鏡，所述反射鏡的鏡面與該分光鏡的鏡面垂直，且由所述反射鏡反射的激光直接由該分光鏡透射至待測基底表面。

本發明還提供一種自動圖像修補方法，該方法包括：

步驟一、獲取待測基底表面的異物及異物周圍區域的待測基底表面的圖像，光源發出的光束照射到待測基底表面，經過待測基底表面反射后由攝像機接收，攝像機將獲取的異物及異物周圍區域的待測基底表面的圖像傳輸給計算機，計算機得到需要加工的區域的圖形；

步驟二、對步驟一中獲取的圖像進行掃描，掃描至灰度值相同的區域，計算機控制激光源不進行激發，該區域為異物周圍待測基底便面的正常區域；當掃描到達灰度值不同的區域，計算機控制激光源輸出激光開始進行轟擊，該轟擊區域為待修補的異物區域；

步驟三、在完成一次掃描后，重復步驟二與步驟三，攝像機重新拍攝圖像并將新的灰度值傳輸到計算機，計算機進行分析并進行第二次掃描轟擊、第三次掃描轟擊直至修補完成，形成自動修補，當修補區域灰度值與正常區域灰度值相同，或修補區域灰度值初次小于正常區域灰度值或修補區域灰度值初次大于正常區域灰度值，或修補區域灰度值初次出現拐點時修補完成。

本發明通過對圖像中異物區域灰度值與正常區域灰度值進行比對并實時反饋，可實現定量自動修補。

附圖說明

圖1為本發明定量修補裝置的結構示意圖；

圖2為本發明中對異物圖像進行掃描的示意圖。

具體實施方式

為便于對本發明的結構及方法以及達到的效果有進一步的了解，現結合附圖并舉較佳實施例詳細說明如下。