[發明專利]一種離子束減速裝置有效
| 申請號： | 201310557475.6 | 申請日： | 2013-11-08 |
| 公開（公告）號： | CN103779164A | 公開（公告）日： | 2014-05-07 |
| 發明（設計）人： | 馬國宇 | 申請（專利權）人： | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01J37/04 |
| 代理公司： | 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113 | 代理人： | 馬強 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 離子束 減速 裝置 | ||
1.一種離子束減速裝置，離子束減速裝置主要用于低能大束流離子注入機離子束的一級減速，該裝置包括過渡連接塊(1)，連接塊(2)，減速電極防護板(3)，減速電極基板(4)，終端電極(5)，終端電極側板(6)，絕緣陶瓷(7)，聚集電極側板(8)，聚集電極(9)，聚集電極安裝板(10)，抑制電極(11)，地電極(12)，地電極安裝板(13)，抑制電極安裝板(14)，抑制電極安裝條(15)，聚集電極安裝條(16)，抑制電極短接條(17)，接線柱(18)，聚焦電極短接條(19)，其特征在于對離子束進行減速，用以獲得低能的離子束流。?
2.如權利要求1所述的一種離子束減速裝置，其特征在于：其中終端電極(5)與地電極(12)加載電壓后產生的電場對離子束減速。?
3.如權利要求1所述的一種離子束減速裝置，其特征在于：聚集電極(9)與抑制電極(11)加載電壓后產生的電場調節離子束水平與垂直方向的聚集與擴散。?
4.如權利要求1所述的一種離子束減速裝置，其特征在于：終端電極(5)與抑制電極(11)加載電壓后產生的電場抑制離子束流中二次電子的產生，同時抑制電極與聚集電極形成的電場調節離子束水平與垂直方向的聚集與擴散。?
5.如權利要求1所述的一種離子束減速裝置，其特征在于：減速電極防護板(3)可以限制離子束流高度方向的尺寸，它的材質為石墨，不會對離子束產生金屬污染。?
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