[發明專利]可變溫度幕狀顯影裝置

在審

• 申請號: 201310554878.5
• 申請日: 2013-11-07
• 公開（公告）號: CN104635436A
• 公開（公告）日: 2015-05-20
• 發明（設計）人: 魏猛;胡延兵
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 何麗英

1.一種可變溫度幕狀顯影裝置，其特征在于：包括幕狀噴嘴(1)、半導體溫控模塊(2)、循環水散熱片(3)、溫度傳感器及溫控器，其中半導體溫控模塊(2)設置于幕狀噴嘴(1)的外側、并與設置于幕狀噴嘴(1)外部的溫控器連接，所述循環水散熱片(3)設置于半導體溫控模塊(2)上，所述溫度傳感器設置于幕狀噴嘴(1)的內部、并與溫控器連接。

2.按權利要求1所述的可變溫度幕狀顯影裝置，其特征在于：所述幕狀噴嘴(1)包括噴嘴本體(101)和噴嘴蓋(102)，其中噴嘴蓋(102)設置于噴嘴本體(101)的上方，所述噴嘴本體(101)和噴嘴蓋(102)之間設有形成幕狀噴灑的斷面結構和噴嘴口(4)，所述噴嘴口(4)與斷面結構連通，所述噴嘴蓋(102)上設有與所述斷面結構連通的進水接頭(7)。

3.按權利要求2所述的可變溫度幕狀顯影裝置，其特征在于：所述斷面結構包括水槽和溢流部分(107)，其中水槽設置于噴嘴本體(101)的上表面上、并與噴嘴蓋(102)上的進水接頭(7)連通，所述噴嘴本體(101)的上表面一側設有一斜坡，該斜坡與所述噴嘴蓋(102)之間留有縫隙，形成所述溢流部分(107)，所述溢流部分(107)的兩端分別與水槽和所述噴嘴口(4)連通。

4.按權利要求3所述的可變溫度幕狀顯影裝置，其特征在于：所述水槽內設有隔水擋板(103)，所述隔水擋板(103)將水槽分割成兩個腔室，其中與噴嘴蓋(102)上的進水接頭(7)連通的腔室為進水緩沖部分(105)，另一個腔室為蓄水部分(106)，所述隔水擋板(103)的底部設有將進水緩沖部分(105)和蓄水部分(106)連通的導通結構。

5.按權利要求3或4所述的可變溫度幕狀顯影裝置，其特征在于：所述水槽為U型槽。

6.按權利要求2或3所述的可變溫度幕狀顯影裝置，其特征在于：所述噴嘴口(4)為直線微口。

7.按權利要求6所述的可變溫度幕狀顯影裝置，其特征在于：所述噴嘴口(4)所噴出的顯影液的有效噴灑寬度為大于或等于晶圓的直徑，顯影噴嘴的行走路徑為幕狀水幕與晶圓邊緣切線的垂直方向掃描行進，掃描范圍為大于晶圓的直徑。

8.按權利要求1所述的可變溫度幕狀顯影裝置，其特征在于：所述循環水散熱片(3)的進水口(5)和出水口(6)設置于循環水散熱片(3)的同一側。