[發明專利]一種單電機驅動雙擺臂轉動的裝置

有效

• 申請號: 201310553873.0
• 申請日: 2013-11-06
• 公開（公告）號: CN104637835B
• 公開（公告）日: 2017-02-22
• 發明（設計）人: 王一;谷德君
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;F16H7/02
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司21002
• 代理人: 白振宇

1.一種單電機驅動雙擺臂轉動的裝置，其特征在于：包括電機（14）、單元固定板（15）、減速器（13）及擺臂單元，其中電機（14）通過單元固定板（15）安裝在晶圓處理單元底座上，所述電機（14）的輸出端連接有減速器（13），在減速器（13）的輸出端連接有第二同步帶輪（12），該第二同步帶輪（12）的圓周上設有齒；所述電機（14）的兩側對稱設置有結構相同的擺臂單元，該擺臂單元包括帶輪軸（17）、第一同步帶輪（11）、同步傳動機構、擺臂軸（8）及擺臂（1），所述帶輪軸（17）及擺臂軸（8）分別轉動安裝在所述單元固定板（15）上，在帶輪軸（17）上連接有與所述第二同步帶輪（12）相嚙合的第一同步帶輪（11），所述第一同步帶輪（11）通過同步傳動機構與擺臂軸（8）的一端相連，擺臂軸（8）的另一端連接有擺臂（1）；所述電機（14）兩側的擺臂（1）通過電機（14）驅動分別擺動，完成對晶圓（18）的噴灑后復位。

2.按權利要求1所述單電機驅動雙擺臂轉動的裝置，其特征在于：所述同步傳動機構包括過渡同步帶輪（9）、同步帶（7）及擺臂軸同步帶輪（6），所述過渡同步帶輪（9）與第一同步帶輪（11）同軸相連，擺臂軸同步帶輪（6）連接于所述擺臂軸（8）的一端，所述過渡同步帶輪（9）與擺臂軸同步帶輪（6）之間通過同步帶（7）相連。

3.按權利要求1所述單電機驅動雙擺臂轉動的裝置，其特征在于：所述過渡同步帶輪（9）位于第一同步帶輪（11）的下方，并套接在帶輪軸（17）上，該過渡同步帶輪（9）通過同步帶轉接塊（10）與所述第一同步帶輪（11）連動。

4.按權利要求1所述單電機驅動雙擺臂轉動的裝置，其特征在于：所述擺臂軸同步帶輪（6）通過齒輪軸轉接塊（5）與擺臂軸（8）連接，并帶動擺臂軸（8）轉動。

5.按權利要求1或2所述單電機驅動雙擺臂轉動的裝置，其特征在于：所述第二同步帶輪（12）的四分之一圓周設有齒，所述電機（14）驅動兩側的擺臂（1）在90°范圍內擺動。

6.按權利要求1或2所述單電機驅動雙擺臂轉動的裝置，其特征在于：所述電機（14）的兩側對稱設有分別安裝在單元固定板（15）上的接近開關傳感器（3），每個擺臂軸（8）上均設有與所述接近開關傳感器（3）相對應的傳感器擋片（4）。

7.按權利要求1或2所述單電機驅動雙擺臂轉動的裝置，其特征在于：所述電機（14）與減速器（13）同軸鍵合，在所述單元固定板（15）上安裝有腔體底板（16），所述電機（14）容置于該腔體底板（16）上的腔體內。

8.按權利要求1或2所述單電機驅動雙擺臂轉動的裝置，其特征在于：所述擺臂（1）的一端與擺臂軸（8）的另一端相連，擺臂（1）的另一端設有噴嘴；所述擺臂（1）通過電機（14）的驅動在所述晶圓（18）的上方做往復變速掃描運動。